刘军汉
- 作品数:12 被引量:12H指数:2
- 供职机构:华中光电技术研究所更多>>
- 发文基金:工业与信息化部高技术船舶科研项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信金属学及工艺机械工程医药卫生更多>>
- 超声振动打孔对微晶玻璃表面质量的影响
- 2022年
- 在超声振动打孔时,微晶玻璃最大切深决定了孔壁表面质量。基于脆性断裂材料去除机理,建立了简单实用的超声打孔材料去除率理论关系式,得出影响表面质量的主要工艺参数为:金刚石粒径、刀具转速和进给速度。通过正交实验方法,得到了微晶玻璃超声打孔的最佳工艺参数,金刚石粒径650#、刀具转速12000 rpm和进给速度5 mm/min。通过工艺参数优化后,微晶玻璃打孔质量得到明显提升,孔壁经过化学抛光处理后,表面粗糙度Ra达到0.0551μm,能有效提升激光陀螺腔体的真空特性和激光陀螺的性能。
- 刘军汉熊长新周杨刘彦清
- 关键词:超声振动微晶玻璃表面粗糙度
- 高精度玻璃打孔技术被引量:4
- 2009年
- 光学零件制造领域中,用传统的方法在微晶玻璃上加工高精度内孔存在很多困难,如钻孔时常出现椭圆、中心偏、锥形、爆边等问题。为了解决这些问题,利用简单的钻床和万能外圆磨床设备,在微晶玻璃上完成钻孔、扩孔、磨边加工后,得到了内孔尺寸精度为0.01mm、内孔与外圆同轴度为0.01mm的高精度圆孔。生产实践表明:该工艺重复性良好,加工性能稳定。不仅解决了玻璃钻孔常见问题,而且得到了高精度玻璃内孔。
- 刘军汉闫德全周杨
- 关键词:微晶玻璃钻孔内孔同轴度
- 高精度中小口径非球面修抛技术研究被引量:1
- 2010年
- 为实现高精度中小口径非球面的加工,介绍了一种非球面修抛技术。基于Preston假设,将抛光过程描述成一个线性方程,计算得到材料的去除量与抛光时间、抛光压力和零件转速之间的函数关系。设计了整体修抛法和环带修抛法两种方法,在数控抛光的基础上,对口径为Φ117mm的凹抛物面和口径为Φ17 mm凸双曲面进行修抛,修抛后非球面的面形精度PV值为0.184μm,RMS均小于0.032μm,达到了工程化应用要求,实现了中小口径非球面的高精度加工。
- 刘军汉熊长新闫德全周杨
- 关键词:非球面面形精度
- 高Q值半球谐振子精密加工技术研究
- 2023年
- 半球谐振子的机械能量损耗包括材料本征损耗、空气阻尼损耗、支撑损耗、热弹性损耗和表面损耗等,直接影响了半球谐振子Q值。通过分析这些能量损耗的数学模型,总结出半球谐振子的关键技术指标是材料性能、形位精度和表面粗糙度。综合考虑半球谐振子的精度和工程化应用,提出了一套高精度半球谐振子加工工艺,经过精密磨削、精密抛光和化学抛光后,加工得到的谐振子球面圆度小于0.25μm,表面粗糙度小于15 nm,品质因数大于5.2×107。对高精度半球谐振子加工和半球谐振陀螺制造工程化具有重要的指导意义。
- 刘军汉熊长新曲天良张熙王潺赵明强
- 关键词:能量损耗圆度表面粗糙度品质因数
- 脉冲放电驱动磨料流辅助磨削单晶碳化硅研究
- 2024年
- 单晶碳化硅作为半导体材料,其被加工表面及亚表面质量直接影响到电、磁、光等工作性能,但在高精度的机械加工中,纳米切深的不可控和高速主轴转动的刀具端跳会产生不稳定的切削力,导致表面微毛刺和改性层以及亚表面残余应力和损伤。因此,在单晶碳化硅的金刚石磨削中,利用砂轮与工件间的脉冲放电驱动游离磨料流动,抵消机械作用对其表面及亚表面的影响,探究机械加工、磨料流抛光和热化学去除的复合加工对表面完整性的作用机制。首先建立复合加工表面成型与脉冲放电和流体动压的关系模型,然后分析脉冲放电对材料去除率以及磨粒损耗率的影响,最后讨论去毛刺效果、表面残余应力及亚表面损伤等。结果表明:在固结磨粒切削与轮廓复制过程中工件与磨粒界面形成了复合加工链,脉冲放电可驱动游离磨粒并对表面进行热化学改性,游离磨粒获得去除力去消除表面二氧化硅并重新暴露出Si-C键。降低脉冲放电能量和流体动压会促进脆性破坏转变为高表面质量的塑性去除。即使较大切深和较大主轴端跳产生的机械振动,脉冲放电驱动的热化学改性及游离磨粒抛光与金刚石磨削复合可以将残余压应力、表面微毛刺和亚表面损伤层厚度分别减少93%、73%和50%。
- 陈钊杰谢晋刘军汉熊长新李迪帆
- 关键词:残余应力脉冲放电磨料流加工
- 超高Q值mm级晶体回音壁微腔加工
- 2023年
- 回音壁微腔具有超高Q值和极小的模式体积,在微波光子系统、非线性光学和量子光学等领域中具有广阔的应用前景。通过分析mm级氟化镁(MgF_(2))晶体回音壁微腔的损耗因素,确认了影响回音壁微腔品质因数的主要指标为材料等级和表面粗糙度。设计了mm级MgF_(2)晶体回音壁微腔的结构形式,使用DUV级MgF_(2)晶体,如果回音壁微腔表面粗糙度小于0.7 nm,则MgF_(2)晶体回音壁微腔的极限损耗理论计算值为4.781×10^(-11),对应的极限Q值为2.09×10^(10)。通过对MgF_(2)晶体回音壁微腔进行粗成型、精密车削、精密抛光,实现了高品质因数的微腔制造。测试结果表明,回音壁微腔的表面粗糙度Ra值为0.669 nm、微观形貌PV值为6.767 nm、品质因数为2.054×10^(9)@1550 nm。
- 刘军汉曲天良张铉刘彦清熊长新
- 关键词:晶体表面粗糙度品质因数损耗
- 大曲率半径光学元件检测技术研究
- 超光滑大曲率半径光学元件的曲率半径和面形误差的检测结果直接影响到光学零件的表面质量,介绍了一种利用平面干涉仪对超光滑大曲率半径光学元件的非接触式检测方法。通过检测光学零件表面轮廓,与标准平面轮廓对比得到球面的失高,计算出...
- 刘军汉罗劲峰张泉周杨
- 关键词:超光滑面形误差
- 文献传递
- 一种方体零件表面加工工装
- 本实用新型公开了一种方体零件表面加工工装,包括中部开槽的底板以及嵌入底板上表面的零件底板护板,底板底部设置有调节螺钉,调节螺钉穿过底板后与底板护板抵靠,所述底板的前后左右四个侧面分别通过侧板固定螺钉固定有侧板,所述的侧板...
- 王玄洋刘军汉陈超人郝艳丽
- 利用薄膜转移工艺的传感器制造技术
- 钽酸锂(LiTaO<,3>,LT)晶体具有良好的热释电性能,在制造红外热释电探测器阵列过程中,需要利用超薄钽酸锂晶片作为红外热释电探测器件的敏感层。
通过理论计算获得了钽酸锂晶片的电压响应度及噪声电压同探测器单...
- 刘军汉
- 关键词:红外探测器介电损耗热释电系数
- 文献传递
- 半球谐振子外球面加工原理误差分析及实验研究被引量:2
- 2022年
- 通过对“范成法”加工半球谐振子外球面的机理分析,推导出外球面曲率半径的计算公式,分析出影响谐振子外球面形状误差的主要因素为砂轮的形状误差、机床的轴系定位偏差和机床旋转轴的跳动。砂轮形状误差包括砂轮中径误差和砂轮刃口半径误差,机床轴系定位偏差包括X、Y和B轴定位偏差,机床旋转轴跳动包括径向跳动和轴向跳动。通过优化外球面加工工艺参数,加工得到的谐振子外球面圆度小于0.25μm,同心度小于0.4μm,表面粗糙度小于0.02μm,谐振子品质因数大于2.6×10^(7)。
- 刘军汉熊长新曲天良车驰骋
- 关键词:球面圆度表面粗糙度品质因数