黄国俊
- 作品数：16 被引量：49H指数：5
- 供职机构：武汉军械士官学校更多>>
- 发文基金：国家部委预研基金国家高技术研究发展计划国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
- 激光沉积掺锗类金刚石膜实验研究
- 采用准分子激光沉积出高红外透过率、高硬度的纯DLC膜,但该膜的内应力较大,在锗等衬底上易脱落,限制了其工程应用。为解决此难题,将锗片粘在石墨靶材表面组成复合石墨靶材,在国际上首次采用准分子激光聚焦烧蚀真空中的复合靶材,在...
- 郭延龙陆益敏吴杰黄国俊王淑云程勇王会升万强
- 激光沉积大面积均匀类金刚石膜的设计改进及实验被引量：5
- 2017年
- 针对激光等离子体的边缘粒子对激光沉积类金刚石膜性能的不利影响,改进自转衬底一维变速平移技术的大面积均匀镀膜机构。利用开孔的挡板滤除等离子体边缘的粒子,同时在原有膜厚分布数学模型中加入相应的模块;通过优化模型中的机构运动参数,指导实验获得了直径200 mm的大面积均匀类金刚石膜。测试结果表明:该类金刚石膜的不均匀性为±4.5%,且膜厚分布特征与理论优化结果相同,同时纳米硬度和红外透过率较改进前显著提高;相对于改进前的大面积均匀镀膜技术,改进后的机构具有更实际的应用价值。
- 陆益敏黄国俊郭延龙丁方正陈霞韦尚方米朝伟
- 关键词：机械制造工艺与设备光学薄膜脉冲激光沉积类金刚石膜
- 光学薄膜抗激光损伤研究发展被引量：5
- 2016年
- 随着大能量/高功率激光器的发展需求日益突出,光学薄膜的激光损伤阈值逐步成为激光器发展的瓶颈,受到国内外高能激光器研究领域的广泛关注。阐述了光学薄膜激光的损伤机理、激光损伤阈值测试平台及方法,结合自身研究成果,综述性分析了国内外光学薄膜抗激光损伤技术与手段研究的发展情况,主要包括离子束预处理、离子束与退火后处理、虚设保护层等;重点提出了磁过滤结合激光沉积的复合沉积技术,并建议加速推动无缺陷沉积的原子层沉积技术,为大幅提高光学薄膜抗激光损伤能力、满足当前需求提供了理论基础。
- 程勇陆益敏唐璜郭延龙黄国俊刘旭
- 关键词：激光损伤光学薄膜类金刚石膜损伤阈值
- 沉积角度对激光沉积类金刚石膜的影响被引量：4
- 2014年
- 在光学级双面抛光硅衬底上,采用准分子KrF激光,保持激光单脉冲能量700 mJ和激光功率密度8.27×108W/cm2不变,通过倾斜衬底的方法,在沉积角度(等离子体中粒子的飞行方向与衬底表面法线的夹角)分别为0°,20°和40°三种条件下沉积出三个类金刚石(DLC)膜样品。测试分析了不同沉积角度下DLC膜样品的红外透过率、纳米硬度、弹性模量及拉曼光谱。发现沉积角度从0°增加到40°的过程中,沉积角度越大,DLC膜的透过率越低,光学吸收越大,纳米硬度和弹性模量也越小,拉曼光谱的分峰结果中D峰与G峰的积分强度比ID/IG逐渐变大,G峰半高宽变小,说明膜中金刚石相(sp3键)含量逐渐减小。利用"浅注入"理论分析了沉积角度对DLC膜性能的影响机理,从而揭示了激光沉积大面积平面及球面DLC膜时衬底不同位置DLC膜性能不一致的机理。
- 郭延龙程勇陆益敏孙斌王淑云黄国俊
- 关键词：类金刚石膜激光沉积KRF激光
- 激光沉积大面积均匀薄膜数学模型与实验被引量：2
- 2015年
- 由于激光烧蚀靶材产生的等离子体呈高斯分布,其中所包含粒子密度及性能的空间分布极不均匀,因此脉冲激光沉积法难以制备性能与膜厚均匀的大面积薄膜。提出并构建了衬底自转与一维变速平移机构,衬底匀速自转的同时,进行一维平移,越靠近等离子体中心平移速率越大、反之越小,达到均匀镀膜的目的;在此基础上建立了机构运动参数对膜厚影响的数学模型,通过仿真模拟分析关键参数对膜厚分布的影响;通过运动参数优化指导实验,最终获得了直径为200mm、不均匀性不超过±4%的大面积类金刚石膜,与仿真优化结果吻合。
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- 关键词：脉冲激光沉积类金刚石膜
- PLD法制备半球面均匀DLC膜的装置、仿真与实验被引量：1
- 2016年
- 由于激光烧蚀靶材形成的等离子体羽辉呈高斯分布,导致沉积的大面积薄膜尤其是球面衬底上的薄膜极不均匀,严重限制了脉冲激光沉积法的应用。设计构建了旋转与变速摆动相结合的三维衬底机构,实现对半球面不同区域的连续沉积,保证了膜层的均匀性;建立膜厚分布的数学模型,模拟分析了运动参数对膜厚分布的影响;首次利用脉冲激光沉积技术制备出口径200 mm大尺寸半球面衬底上的均匀类金刚石膜,顶角80°范围内膜厚不均匀性≤±5%。脉冲激光沉积法在大口径半球面衬底上制备均匀类金刚石膜在空间观测等领域均具有巨大的应用前景。
- 程勇陆益敏郭延龙黄国俊王淑云刘旭曹海源初华杨雪
- 关键词：脉冲激光沉积类金刚石膜
- 战术激光武器的发展动向被引量：14
- 2016年
- 机载、星载、舰载、车载等不同平台应用的战术激光武器发展现状表明,尽管现有系列试验都只能在较近射程上打击火箭弹、无人机等目标,但却体现了战术激光武器的实战前景。战术激光武器的关键技术主要有高能脉冲或脉冲/连续复合固体激光器技术、合束技术等。激光武器的发展趋势已由超高功率战略威慑转向中低功率战术应用;舰载激光武器有望成为最先实战装备;天基激光武器由于其具有极高的战略价值、无大气影响的绝佳的太空工作环境,以及无需太高的激光功率等优点,成为激光武器研究的重要方向之一。激光武器在不久的将来会成为改变现有战争形态的一种颠覆性武器。
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- 关键词：激光光学激光武器天基激光武器
- 碳化硼薄膜的激光法制备及性能被引量：3
- 2013年
- 采用KrF准分子激光器,在Si,Ge光学衬底上制备了碳化硼薄膜,研究了不同激光能量、靶材与衬底距离、衬底负偏压等条件对薄膜性能的影响。利用傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和纳米压痕仪,并依据光学薄膜测试的通用标准,对样品的光学透过率、纳米硬度及膜层与衬底的结合性能进行了测试。结果表明:Si,Ge衬底单面镀碳化硼薄膜后最高透过率提高10%以上,纳米硬度提高到未镀膜的3倍以上,且膜层与衬底有较好的结合性能,表明制备的碳化硼薄膜可对光学材料起到较好的增透保护作用。
- 王淑云陆益敏刘旭黄国俊郭延龙万强田方涛
- 关键词：激光沉积透过率增透膜
- 光学薄膜抗激光损伤研究发展
- 随着大能量/高功率激光器、尤其是激光武器和可控核聚变激光器的发展需求日益突出,光学薄膜的激光损伤阈值逐步成为激光器发展的瓶颈,受到国内外高能激光器研究领域的广泛关注。阐述了光学薄膜激光的损伤机理、激光损伤阈值测试平台及方...
- 程勇陆益敏唐璜郭延龙黄国俊刘旭
- 关键词：激光损伤光学薄膜类金刚石膜损伤阈值
- 文献传递
- 激光沉积红外窗口高性能类金刚石膜技术
- 2012年
- 类金刚石（DLC）膜具有宽光谱高透射率、高硬度、高热传导及高稳定性等优点，是红外窗口增透保护膜的优选，但现有方法制备的类金刚石膜难以满足高马赫数或海上盐雾等恶劣条件下的应用。激光法相比其他制备方法具有诸多优点，介绍了激光法制备DLC膜的原理及特点，并分析了实现工程应用的难题及关键技术。采用激光沉积法制备出综合性能优异的类金刚石膜，纳米硬度高达44GPa、内应力仅0．8GPa、临界刮擦载荷附着力为59．1mN。正面镀DLC膜，背面镀普通增透膜的硫化锌、硅、锗等红外窗口的平均透射率达82％～91％。实现了≠150mm基片的激光法大尺寸均匀薄膜，膜厚不均匀性≤±2％。制备的DLC膜红外窗口通过军标环境适应性试验，并已实现工程化应用。
- 程勇王淑云郭延龙黄国俊陆益敏万强刘旭
- 关键词：类金刚石膜激光沉积
