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颜海霞

作品数：40 被引量：0H指数：0
供职机构：杭州电子科技大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 40篇中文专利

领域

  • 12篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 23篇感器
  • 23篇传感
  • 23篇传感器
  • 19篇锚点
  • 10篇支撑梁
  • 10篇衬底
  • 9篇振子
  • 9篇成品率
  • 8篇玻璃衬底
  • 7篇硅片
  • 6篇电极
  • 6篇电容
  • 6篇量程
  • 6篇敏感器
  • 6篇传感器结构
  • 5篇电磁驱动
  • 5篇键合
  • 5篇触觉传感
  • 5篇触觉传感器
  • 4篇电流

机构

  • 40篇杭州电子科技...

作者

  • 40篇颜海霞
  • 40篇董林玺
  • 5篇孙玲玲
  • 3篇李永杰
  • 1篇高宇

年份

  • 4篇2024
  • 4篇2023
  • 3篇2022
  • 3篇2021
  • 2篇2020
  • 2篇2018
  • 1篇2012
  • 4篇2011
  • 11篇2010
  • 5篇2009
  • 1篇2008
共 40 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种嵌入横向可动电极的微惯性传感器及其制作方法
本发明一种嵌入横向可动电极的微惯性传感器及其制作方法。现有的传感器的噪声大、稳定性差，量程和带宽小。本发明的传感器中敏感器栅质量块的两侧边对称设置有敏感器可横向移动质量块，两端对称设置敏感器锚点，敏感器质量块内有栅形电极...
董林玺颜海霞
一种基于FR4印制电路板的三轴减振结构
本发明公开了一种基于FR4印制电路板的三轴减振结构。本发明包括处于同一平面的矩形板、第一回形板和第二回形板，其中矩形板用于放置MEMS惯性测量系统中的惯性传感器及系统电路，矩形板位于第一回形板内，通过四个减振连接器与第一...
董林玺方祥颜海霞
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一种磁驱动增大检测电容的微惯性传感器及其制作方法
本发明涉及一种磁驱动增大检测电容的微惯性传感器及其制作方法。现有产品限制了传感器振子的质量增加和极板间距的减小。本发明中敏感器质量块为刻蚀有栅形条的矩形硅片，两端通过硅支撑梁与锚点连接，两侧边分别设置硅条，驱动器质量块中...
董林玺颜海霞
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一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器
本发明公开了一种具有针状结构的高灵敏度阵列式触觉传感器。本发明包括金属电极、敏感单元、硅梁、压敏电阻和芯片框架；本发明采用具有支撑结构的质量块连接接触器顶部与微梁结构达到检测和分离垂直作用力与横向作用力的效果。采用微梁结...
董林玺钟妤馨黄一马刘超然颜海霞杨伟煌
一种抗环境干扰的多集成MEMS触觉传感器及其制作方法
本发明提供一种可抗干扰的多集成MEMS触觉传感器及其制作方法。本发明包括基板，所述基板为硅制成的晶片；温度传感器，位于所述基板上，压力传感器，位于所述基板上；热电红外探测器，位于所述基板上；导热传感器，位于所述基板上，所...
董林玺武家澍刘超然颜海霞杨伟煌
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一种集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置及制备方法
本发明公开了一种集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置及制备方法。该集成MEMS压力传感器的柔性超声血压测量装置，通过MEMS压力传感器实现压力的精确测量，可以根据压力值对血压测量进行实时补偿，使得测量结果更加准确...
董林玺岳晨曦颜海霞
一种大检测电容的微惯性传感器
本实用新型涉及一种大检测电容的微惯性传感器。现有产品限制了传感器振子的质量增加和极板间距的减小。本实用新型中敏感器质量块为刻蚀有栅条形井的矩形硅片，两对应端通过硅支撑梁与锚点连接，另两个对应端分别设置有数量相同、位置对应...
董林玺颜海霞
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带惯性环境补偿功能的机器人用触觉传感器及其制作方法
本发明公开了一种具有提高复杂运动环境下检测效果的触觉传感器结构。本发明包括力检测单元和加速度检测单元。所述力检测单元是三轴触觉传感单元，包括力传导部分与力检测部分；所述加速度检测单元是实现了三轴加速度检测的常用结构，用于...
董林玺李辽颜海霞
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一种可变间距电容的微惯性传感器及其制作方法
本发明涉及一种可变间距电容的微惯性传感器及其制作方法。现有产品限制了传感器振子的质量增加和极板间距的减小。本发明中敏感器质量块为刻蚀有与栅形条的矩形硅片，两对应端通过硅支撑梁与锚点连接，另两个对应端分别设置有数量相同、位...
董林玺颜海霞孙玲玲
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一种基于微电磁驱动的便携式血压传感器固定装置
本发明公开一种基于微电磁驱动的便携式血压传感器固定装置，包括悬臂梁式驱动片、永磁铁、垫片、平面线圈层、支撑层，悬臂梁式驱动片包括内层和外层，内层为方形体，外层为方形框体，内层外尺寸小于外层内尺寸，内层和外层通过四个双L型...
董林玺刘文静杨伟煌刘超然颜海霞
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