陈津平
- 作品数：79 被引量：162H指数：8
- 供职机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：机械工程自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>
- 采用变速白光扫描干涉术测量大尺度台阶结构被引量：4
- 2012年
- 针对传统白光扫描干涉术在对一些垂直尺度较大器件的测试中,存在测量时间长、信号利用率低等问题,本文提出了应用于白光扫描干涉测量的变速扫描策略,并开发了基于预定义模式的变速扫描和基于自动对焦模式的变速扫描两种具体的实现方式。本文方法能够控制测量系统仅在有干涉条纹存在的空间区域采集图像,而在其它区域加速运行,从而提高了测试效率。测量过程中,通过编写的测量软件控制纳米测量机(NMM),并利用NMM的高精度定位能力实现变速扫描。实验测试了一个100μm台阶结构,相对传统固定步长扫描法,变速扫描在保持高精度的基础上提高了测量效率。
- 郭彤章英李峰陈津平傅星胡小唐
- 关键词：自动对焦
- 利用AFM电场诱导氧化实现纳米结构被引量：3
- 2001年
- 利用导电原子力显微镜 (AFM)在硅、其它半导体和金属表面的电场诱导氧化加工是实现纳米器件的有效方法 .大气状态下样品表面吸附的水膜在电场诱导氧化加工中的必要性被证实 ,实验给出了相对湿度与氧化线宽度的关系 .在氢钝化硅表面成功地制备出纳米尺度的线和图形结构 ,最小的线宽为 2 2
- 胡晓东胡小唐陈津平
- 关键词：偏置电压相对湿度
- 基于变焦测量的圆弧刃车刀几何参数三维检测系统及方法
- 基于变焦测量的圆弧刃车刀几何参数三维检测系统及方法，载物台上方由下至上沿光路依次设置有物镜、线性位移台、分光棱镜、第二透镜和CCD相机，分光棱镜的入射光路上由内向外设置有第一透镜和单色光光源，物镜的外侧套有环形光源，CC...
- 郭彤袁琳边琰仇中军陈津平傅星胡小唐
- 文献传递
- 微机电系统动态特性的光学检测方法被引量：3
- 2006年
- 微机电系统(MEMS)的动态表征是为可动MEMS器件的设计和加工过程提供可靠的实验数据反馈。文中构建了一个MEMS动态测试系统,它采用了光学检测方法,具有非接触、快速、高精度等优点。系统分别采用光流技术和显微干涉技术,结合频闪照明的方法,对MEMS器件的面内和离面运动特性进行了测量。通过对一个微加工水平谐振器的运动特性测量实验说明了系统具有的功能。
- 陈津平郭彤胡小唐
- 关键词：微机电系统光学检测动态特性显微干涉
- 显微CT转轴运动误差校正方法
- 本发明涉及数控加工与测量设备应用领域，为提高显微CT重建结果的三维空间分辨力，测量方法简单、实用、可靠，为此，本发明采用的技术方案是，显微CT转轴运动误差校正方法，包括以下步骤：（1）在显微CT中的旋转样品台上加装位移传...
- 胡晓东邹晶须颖赵耕砚陈津平胡小唐
- 文献传递
- 基于相移干涉图像序列解析的微结构三维信息获取方法
- 本发明公开了一种可应用于相移干涉系统的基于相移干涉图像解析的微结构三维信息提取方法。其特征在于对相移干涉图像序列进行线性叠加直接提取出无干涉条纹的微结构平面图像，用于平面几何参数的测试，对上述平面图像进行边缘提取和二值化...
- 胡晓东栗大超郭彤陈津平胡小唐
- 文献传递
- 基于步进电机的量块自动检定装置
- 本发明公开一种基于步进电机的量块自动检定装置，包括，处理电路与计算机相连接，步进电机单元的输入端连接处理电路，输出端连接测量工作台用于驱动测量工作台，激光干涉仪和电感测头分别夹持在测量工作台上，用于对被测量块的检测，其中...
- 郭彤陈津平高顺民傅星胡小唐
- 文献传递
- 基于FPGA的实时数据采集系统设计被引量：8
- 2013年
- 基于Windows操作系统的计算机,难以满足长时间、大数据量的实时稳定测量与控制要求。针对该问题,在反射差分光谱仪的电子控制部分,提出基于现场可编程门阵列(FPGA)的实时控制与数据采集系统设计方案。采用硬件描述语言和NiosII软核处理器系统相结合的设计方式,实现FPGA与计算机、探测器的高速USB通信,与角度编码器的同步串行通信,以及探测器和角度编码器之间的精确同步控制等功能,完成角度数据和光谱数据的实时采集。实验结果表明,该系统的同步控制和数据采集性能较好,仪器的实时性能提升显著。
- 夏祥龙陈津平胡春光
- 关键词：现场可编程门阵列实时数据采集USB通信同步控制硬件描述语言NIOSII软核处理器
- 基于新型音叉探针的双频原子力测试系统与方法
- 本发明涉及形貌和机械特性同时测量的测试系统，为获取样品高度值和以频移量表征的表面机械特性信息，本发明采取的技术方案是，基于新型音叉探针的双频原子力测试系统，包括：音叉探针、前置放大器、信号发生器、信号合成电路、包含低通和...
- 郭彤武志超陶然陈津平胡小唐
- 文献传递
- 外界振动对SPM测量结果的影响被引量：3
- 2003年
- 探讨了外界激振对扫描探针显微镜(SPM)扫描图像的影响.针对DI扫描探针显微镜MultiModeTMSPM,以Tektronix任意波形发生器AWG2021驱动PC扬声器作为激振源,以SIOS微型激光干涉测振仪SP S为测振系统,研究了0～7kHz频带内SPM机体的简谐迫振对扫描图像的影响.实验表明,针尖 样品副所受激振影响不同于SPM机体;0～1kHz频带内的激振影响显著,再高频段则影响甚微;外界激振与SPM扫描的综合作用影响成像的结果;针尖 样品副的粘弹性模型是SPM振动影响研究的指导理论.
- 胡小唐陈津平胡晓东郭彤陈峰
- 关键词：扫描探针显微镜粘弹性模型
