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郭创然
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
沈阳大学机械工程学院
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
白东哲
沈阳大学机械工程学院
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1篇
2009
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超声波精密直线位移机构的设计
被引量:1
2009年
阐述了由纵弯振子驱动的超精密直线位移实验平台,在实验平台上安装了微动机构,其位移通过高精密的传感器进行检测。通过纵弯振子直线型超声波电动机的驱动原理及结构特点,分析了预压力和激振频率对其性能的影响。提出了通过控制微型滑块的运动实现更高精度定位的方法。
白东哲
郭创然
关键词:
超精密
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