许谊
- 作品数:5 被引量:39H指数:3
- 供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:机械工程自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
- 图像处理技术在形貌测量中的应用被引量:16
- 2001年
- 本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例 ,分析影响精度的各种因素 ,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术 ,对改善二维、三维图像质量 。
- 许谊徐毓娴蔡昕
- 关键词:图像处理形貌滤波
- 图像处理技术在形貌测量中的应用
- 本文以微分干涉显微法测量表面形貌为例,分析影响精度的各种因素,重点介绍图像处理技术在测量中应用的原理、实现方法及实际效果。证明应用图像处理技术,对改善二维、三维图像质量,提高检测精度的可行性。
- 许谊徐毓娴蔡昕
- 关键词:图像处理形貌滤波
- 文献传递
- 微分干涉显微系统测量表面微观形貌的实验研究
- 该文对相移干涉测量表面形貌技术,在理论与实验方面开展了一定的研究工作,为透射式测量有机晶体打下基础.工作的重点在于对微分相衬干涉显微镜系统的系统构建、系统的定量调试和用图像处理的方法完成微观样品三维形貌重构等几方面的工作...
- 许谊
- 关键词:显微镜系统图像处理
- 微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌被引量:18
- 2001年
- 改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统 ,对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差 β 的消零工作提出了一种新的方法 ,实验证明是有效可靠的 ,并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究。
- 许谊徐毓娴惠梅蔡昕
- 关键词:干涉显微镜相衬显微镜
- 表面微观形貌测量中数字图象处理的应用被引量:6
- 2001年
- 应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时 ,由于各种因素的影响 ,表面形貌的测量会产生失真的现象 .本文采用数字信号滤波与平滑技术消除了测量过程中系统误差引起的波纹度及系统噪音 ,去除了在图象的数字化和传输过程中产生的高频噪音和假轮廓 。
- 惠梅牛憨笨许谊徐毓娴李庆祥
- 关键词:表面微观形貌相移干涉术数字图象处理