袁春晓
- 作品数：10 被引量：14H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：上海市“科技创新行动计划”更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 用于频域OCT系统的光谱仪
- 一种用于频域OCT系统的光谱仪，其结构包括单模光纤、消色差透镜、闪耀光栅、光电探测器和光谱仪底板，单模光纤、消色差透镜、闪耀光栅和光电探测器均固定在光谱仪底板上。OCT系统的干涉光输入至单模光纤，单模光纤的输出光经消色差...
- 李中梁王向朝袁春晓南楠
- 文献传递
- 光刻机照明系统匀光单元光学设计与仿真被引量：4
- 2023年
- 针对光刻机照明系统矩形光场的均匀照明需求,提出了一种基于单排平凸微柱面镜阵列与小长宽比积分棒相结合的匀光单元方案。分析了小长宽比积分棒输入光场的角度分布特性和宽度对照明均匀性的影响。使用单排平凸微柱面镜阵列进行预匀光可以满足积分棒输入光场需求。采用光线方向余弦的分布偏差表征照明均匀性,构造了匀光单元透镜组的均匀性评价函数,并以KrF光刻机匀光单元为对象,利用CODE V软件对平凸微柱面镜和聚光镜组进行了自动优化设计。在LightTools中对该匀光单元进行仿真验证,结果表明,在不同部分相干因子的传统照明模式和环形照明模式下输出光场的积分非均匀性均小于0.43%,优于基于弥散斑均方根评价函数优化设计的对照组结果,对相关工程设计有一定参考意义。
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- 关键词：光学设计光刻照明系统
- 用于频域OCT系统的光谱仪
- 一种用于频域OCT系统的光谱仪，其结构包括单模光纤、消色差透镜、闪耀光栅、光电探测器和光谱仪底板，单模光纤、消色差透镜、闪耀光栅和光电探测器均固定在光谱仪底板上。OCT系统的干涉光输入至单模光纤，单模光纤的输出光经消色差...
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- 文献传递
- 用于视频成像的显微物镜光学系统
- 一种用于视频显示成像的显微物镜光学系统，由第一透镜组、第二透镜组、分光棱镜、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、第六透镜组、第七透镜组、第八透镜组、第九透镜组沿光轴自左向右顺序排列，第一透镜组和第二透镜组构成系统的前置物...
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- 文献传递
- 用于微针经皮给药成像的扫频OCT系统被引量：10
- 2018年
- 微针经皮给药结合了注射和经皮给药两者的优势,可提高大分子药物的经皮吸收量,对皮肤几乎无损害,因此具有良好的应用前景。然而,此技术仍处于发展阶段,需要利用成像手段对微针刺入皮肤的深度、药物颗粒的吸收/释放行为等进行研究。利用圆环达曼光栅产生的贝塞尔光束照射样品,搭建了一套扫频光学相干层析成像(OCT)系统。该系统能够在更长的焦深范围内保持高的横向分辨率,实测系统的有效焦深为1.68 mm,共焦位置附近的横向分辨率为3.61μm,满足微针经皮给药的成像要求。利用搭建的系统对可溶性微针刺入皮肤前后进行成像,能够清晰地看到微针的边缘、刺入深度和在皮肤上留下的微通道,并观察到了微针在皮肤内的溶解过程。
- 宋思雨李中梁李中梁余俊杰南楠高云华余俊杰南楠
- 关键词：医用光学贝塞尔光束
- 可注视的激光扫描检眼镜
- 一种可注视的激光扫描检眼镜,特点在于其构成是从人眼至注视屏依次是共光轴的第一透镜组、第二透镜组、分光片、第三透镜和注视屏，所述的分光片与所述的光轴成45°，所述的第一透镜组和第二透镜组共焦，第三透镜位于所述的第二透镜组的...
- 袁春晓王向朝李中梁
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- 极紫外光刻照明系统光瞳整形技术研究
- 2024年
- 照明系统是极紫外(EUV)光刻机的核心分系统,其主要作用是在掩模面实现均匀照明并在光瞳面实现多种照明模式。EUV光刻照明系统采用柯勒照明,并基于反射式双复眼镜的光瞳整形技术实现多种照明模式,如何获得双复眼镜的对位关系是实现光瞳整形的核心问题。针对该问题开展光瞳整形技术研究,提出一种可快速获得复眼对位关系的算法。首先利用基于回溯法和禁忌搜索思想的复眼分组算法减小复眼对位复杂度,之后采用改进人工蜂群算法(IABC)进行复眼匹配,可快速得到满足掩模照明均匀性的匹配结果,通过复眼分组和匹配可得到不同照明模式的复眼对位关系。为了验证本文算法的有效性,在LightTools中进行建模和仿真,结果表明,该算法可在光瞳面实现多种照明模式并在掩模(共轭面)处实现高均匀性照明。
- 王鑫李中梁李中梁
- 关键词：极紫外光刻人工蜂群算法
- 用于频域OCT系统的光谱仪
- 一种用于频域OCT系统的光谱仪，其结构包括单模光纤、消色差透镜、闪耀光栅、光电探测器和光谱仪底板，单模光纤、消色差透镜、闪耀光栅和光电探测器均固定在光谱仪底板上。OCT系统的干涉光输入至单模光纤，单模光纤的输出光经消色差...
- 李中梁王向朝袁春晓南楠
- 文献传递
- 一种降低激光相干性的装置及方法
- 一种降低激光相干性的装置，包括激光器、运动执行机构、第一电机驱动器、第二电机驱动器、运动控制器、上位机、第一透镜、透镜固定座、散射体材料、电机、第二透镜、分光镜、双缝板、相机；上位机分别与所述的运动控制器、相机通信连接；...
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- 照明主光线共光路的手持式眼底照相机
- 一种照明主光线共光路的手持式眼底照相机，包括：主机和镜头；所述的镜头包括目镜、光源模块、成像透镜模块、镜头卡环、镜筒，所述的光源模块由光源组件和光源切换机构组成；所述的光源组件在瞄准眼底的时候红外光照亮眼底，拍照的时候切...
- 范李立李中梁王向朝袁春晓袁丰华
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