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等离子体诊断用18.2nm Schwarzschild显微镜被引量：5: 2011年; 研制了用于超快激光等离子体诊断的Schwarzschild型正入射显微镜,该显微镜工作波长为18.2 nm,数值孔径为0.1,放大倍数为10。根据诊断要求设计了Schwarzschild物镜的光学结构,计算了物镜的光学传递函数,结果显示,设计的物镜在±1 mm视场范围内像方空间分辨力可达125 lp/mm。根据系统工作波长和光线在镜面的入射角度设计了Mo/Si周期多层膜反射镜,制作了Schwarzschild显微镜光学元件,镀制的膜系周期厚度为9.509 nm,周期数为30,对18.2 nm波长的反射率约31.1%。利用激光等离子体光源对24 lp/mm网格进行了成像实验,实验结果表明:系统在中心视场的分辨力为3μm,600μm内视场的分辨力为5μm。; 王新穆宝忠黄怡翟梓融伊圣振蒋励朱京涛王占山刘红杰曹磊峰谷渝秋; 关键词：激光等离子体 MO/SI多层膜

40~90 nm波段极紫外多层膜研究进展: 2024年; 极紫外多层膜反射镜在许多科学与技术领域,如极紫外光刻、天体物理学、等离子体诊断、阿秒物理和自由电子激光等方面有重要应用。多层膜使极紫外波段反射镜在正入射条件下具有高反射率和窄带宽成为可能。多层膜反射镜是极紫外成像和光谱应用的重要器件,多层膜构成的极紫外成像系统已成功完成多个太阳单一谱线的成像观测。本文综述了40~90 nm波段最有前景的多层膜的研究进展。首先简要介绍了多层膜的基本原理,叙述了40~90 nm波段材料光学常数的测量,总结了Mg基、Sc基和镧系材料以及其他材料组成多层膜的进展,给出了目前达到的最佳反射率和带宽,阐明了多层膜的时间稳定性,从而为40~90 nm波段多层膜制备提供了技术指导。; 来搏蒋励齐润泽王占山; 关键词：光学薄膜极紫外多层膜窄带

一种校准光学表面轮廓仪有效空间分辨率的方法: 本发明涉及一种校准光学表面轮廓仪实际有效空间分辨率的方法。分形表面的功率谱密度曲线在对数坐标下是斜率为-n的直线。利用这一规律，采用原子力显微镜对符合分形表面的样品在不同范围内(10μm×10μm、5μm×5μm、2μm...; 王占山马爽陈晟昊蒋励沈正祥; 文献传递

用于平面靶X射线诊断的1维KBA显微镜被引量：6: 2012年; 对用于神光Ⅱ装置4.75keV能点平面靶成像诊断的1维KBA显微镜进行了实验研究。基于空间分辨力和工作环境要求,设计了1维KBA显微镜的光学结构,并与传统KB显微镜的成像性能进行了对比分析。设计和制备了可同时工作于8keV和4.75keV能点的双能点多层膜KBA物镜,解决了系统装调问题。利用神光Ⅱ装置第九路激光打击Ti靶产生的X射线作为背光源照射1 500目金网,进行了4.75keV网格成像实验,结果表明:在整个背光源照明区域内,系统的实际分辨力约为4μm,系统的有效视场受背光源大小的限制。; 伊圣振穆宝忠王新蒋励朱京涛王占山方智恒王伟傅思祖; 关键词：瑞利-泰勒不稳定性 X射线诊断

一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法: 本发明涉及一种同步辐射等光束线站用反射镜的二维面形修正方法，该方法包括以下步骤：步骤1：利用离子束一维修形设备根据待修正光学元件的二维面形特征设计多组一维复合修正路径；步骤2：在离子束一维修形设备与待修正光学元件的镜面之...; 黄秋实王占山黄瀚丹蒋励张众

极紫外光源用大口径Mo/Si多层膜厚度控制与热稳定性研究: 2024年; Mo/Si多层膜是13.5 nm极紫外波段理想的反射镜膜系,它与极紫外光源的结合使得极紫外光刻成为了目前最先进的制造手段之一。极紫外光源的实际应用对Mo/Si多层膜提出了高反射率、高热稳定性、抗辐照损伤、大口径等诸多要求。针对极紫外光源用Mo/Si多层膜面临的膜厚梯度控制和高温环境问题,利用掩模板辅助法对大口径曲面基底上不同位置处的多层膜膜厚进行修正;选择C作为扩散阻隔层材料,对磁控溅射法制备的Mo/Si、Mo/Si/C和Mo/C/Si/C三种多层膜在300℃高温应用环境下的热稳定性展开了研究。研究结果表明:通过掩模板辅助的方式能够将300 mm口径曲面基底上不同位置处的Mo/Si多层膜膜厚控制在预期厚度的±0.45%以内,基底上不同位置处Mo/Si多层膜的膜层结构和表面粗糙度基本相同;引入C扩散阻隔层后,经过300℃退火,Mo/Si多层膜的反射率损失从9.0%减少为1.8%,说明C的引入能够有效减少高温对多层膜微结构的破坏和对光学性能的影响,提高了多层膜的热稳定性。; 刘翔月张哲蒋励宋洪萱姚殿祥黄思怡徐文杰霍同林周洪军齐润泽黄秋实张众王占山; 关键词：激光光学 MO/SI多层膜磁控溅射热稳定性

一种侧壁倾斜式X射线层状多层膜光栅结构: 本发明涉及一种侧壁倾斜式X射线层状多层膜光栅结构，包括周期分布的多层膜堆，多层膜堆中心位置与每个光栅周期的中心位置重合，多层膜堆占宽比从顶部到底部单调增大，所述占宽比指多层膜堆任意高度位置上的横向宽度与光栅周期的比值，周...; 黄秋实王占山蒋励张众

Mo/Si多层膜表面保护层设计: 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,研究Mo/Si多层膜表面保护层设计。通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高。计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个...; 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕; 关键词：薄膜光学多层膜反射率; 文献传递

一种圆锥-双曲嵌套式X射线天文望远镜结构的设计方法: 本发明涉及一种圆锥‑双曲嵌套式X射线天文望远镜结构的设计方法，该设计方法包括以下几个步骤：(1)通过Matlab软件计算Wolter‑I型天文望远镜每一组主镜和副镜的镜片位置，该结果即为所述圆锥‑双曲嵌套式X射线天文望远...; 王占山陈晟昊马爽蒋励; 文献传递

Mo/Si多层膜表面保护层设计被引量：3: 2009年; 为提高Mo/Si多层膜的稳定性与使用寿命,通过分析多层膜驻波电场的分布,对表面保护层及多层膜最上层材料的厚度进行优化设计,使优化后的反射率最高.计算表明,一定厚度的表面保护层总对应一个最优的最上层材料厚度.在13.36nm波长,膜对数为50的Mo/Si多层膜10度入射的理论反射率为74.47%;当添加厚度为2.3nm的Ru作为表面保护层,对应多层膜最上层Si的优化厚度为3.93nm,其理论反射率为75.20%.设计结果表明,通过优化设计表面保护层,可以提高多层膜稳定性,改善多层膜性能.; 徐达朱京涛张众王风丽王晓强王洪昌蒋励佘仕凤王占山秦树基陈玲燕; 关键词：薄膜光学多层膜反射率

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蒋励