熊强
- 作品数：4 被引量：20H指数：2
- 供职机构：河北省信息产业厅更多>>
- 发文基金：国家重点基础研究发展计划天津市自然科学基金天津市科技发展战略研究计划项目更多>>
- 相关领域：电气工程理学更多>>
- ZnO∶Al绒面透明导电薄膜性能研究被引量：2
- 2008年
- 利用中频脉冲磁控溅射方法,以掺杂质量2%Al的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在一定浓度的稀盐酸中浸泡一定时间,使其形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了溅射功率、工作压力、腐蚀时间以及溶液浓度对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:低功率、低气压、腐蚀时间20 s、溶液浓度0.5%的条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在应用前景。
- 薛俊明黄宇熊强马铁华孙建赵颖耿新华
- 关键词：凝聚态物理学绒面溅射功率工作气压
- 中频脉冲磁控溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜被引量：7
- 2006年
- 采用中频磁控溅射工艺，以2％的Al掺杂的Zn（纯度99．99％）金属材料为靶材制备平面及绒面透明导电ZnO：Al（ZAO）薄膜，系统研究了衬底温度、工作气压和溅射功率等对平面ZAO结构和光电特性的影响，并对湿法腐蚀制备绒面ZAO薄膜进行了介绍。获得了适合太阳电池的高性能薄膜，其电阻率为4．6×10^-4Ω·cm，载流子浓度为4．9×10^20cm^-3，霍尔迁移率为56cm^2／V·s，可见光范围内（400～800nm）的平均透过率大于85％。
- 黄宇孙建薛俊明马铁华熊强赵颖耿新华
- 关键词：中频磁控溅射衬底温度
- ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析被引量：10
- 2007年
- 利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。
- 薛俊明黄宇熊强马铁华孙建赵颖耿新华
- 衬底温度对中频磁控溅射ZnO∶Al透明导电薄膜性能的影响被引量：2
- 2006年
- ZnO：Al（ZAO）薄膜的光学、电学以及结构特性与衬底温度有关，以掺杂质量2％Al的Zn（纯度99．99％）金属材料做靶，采用中频磁控溅射技术研究衬底温度对ZnO透明导电薄膜性能的影响，获得适合太阳电池的高效能薄膜，薄膜厚度700nm左右，其电阻率为4．6×10^-4Ω·cm，载流子浓度1．98×10^20cm^-3，霍尔迁移率61．9cm^2／（V·s），可见光范围内（波长400～800nm）的平均透过率大于85％．
- 黄宇熊强薛俊明马铁华孙建赵颖耿新华
- 关键词：凝聚态物理学中频磁控溅射衬底温度载流子浓度
