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滕腾
作品数:
6
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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发文基金:
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
孙浩
中国科学院上海微系统与信息技术...
齐鸣
中国科学院上海微系统与信息技术...
艾立鹍
中国科学院上海微系统与信息技术...
徐安怀
中国科学院上海微系统与信息技术...
孙晓玮
中国科学院上海微系统与信息技术...
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作者
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滕腾
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齐鸣
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一种基于电谐振的太赫兹双频带超材料
本发明涉及一种基于电谐振的太赫兹双频带超材料,包括衬底和金属层单元,所述金属层单元上设有电磁谐振单元;所述电磁谐振单元包括两个开口谐振环和一个闭合环;所述闭合环位于两个开口谐振环之间;所述金属层单元以周期性阵列的方式铺设...
贺连星
孙晓玮
郭万易
李彪
滕腾
孙浩
张祁莲
一种基于电谐振的太赫兹双频带超材料
本发明涉及一种基于电谐振的太赫兹双频带超材料,包括衬底和金属层单元,所述金属层单元上设有电磁谐振单元;所述电磁谐振单元包括两个开口谐振环和一个闭合环;所述闭合环位于两个开口谐振环之间;所述金属层单元以周期性阵列的方式铺设...
贺连星
孙晓玮
郭万易
李彪
滕腾
孙浩
张祁莲
文献传递
双异质结双极晶体管结构
本发明提供一种双异质结双极晶体管结构,其依序包括:包含磷与铟的化合物构成的集电区层、基区层、及包含磷与铟的化合物半导体构成的发射区层,其中,所述基区层的材料包含多种都由铟、镓、砷及锑所组成的化合物,且每一种化合物包含的铟...
孙浩
孙晓玮
艾立鹍
滕腾
王伟
李凌云
钱蓉
徐安怀
齐鸣
文献传递
GSMBE生长的带有渐变基区的InP/InGaAs/InP DHBT
利用气态源分子束外延生长了带有两种带有不同渐变基区结构的InP/InGaAs/InP双异质结双极晶体管。组分渐变基区结构中,Ga组分从集电区一端的47%逐渐增加到发射区一端的55%。掺杂渐变基区结构中,Bc的掺杂浓度从集...
滕腾
艾立鹍
孙浩
徐安怀
朱福英
齐鸣
关键词:
磷化铟
双异质结双极晶体管
文献传递
InP基HEMT结构材料气态源分子束外延生长研究
InP基高电子迁移率晶体管——High Electron Mobility Transistor(HEMT)以其优越的电气性能,在高速、高频领域里具有重要应用前景.本工作所用生长系统为V90型GSMBE系统。衬底是“ep...
周书星
滕腾
艾立鹍
徐安怀
齐鸣
关键词:
高电子迁移率晶体管
分子束外延生长
文献传递
用于InP基DHBT制备的GaAs_(0.51)Sb_(0.49)湿法腐蚀研究(英文)
2011年
介绍了采用基于柠檬酸、硫酸和磷酸的腐蚀溶液对气态分子束外延生长的InP衬底上GaAs0.51Sb0.49湿法腐蚀研究工作。对不同体积比的腐蚀溶液的腐蚀速率和表面粗糙度进行了研究。和硫酸及磷酸基腐蚀液相比,柠檬酸/双氧水腐蚀液的腐蚀速率较慢但具有很好的表面粗糙度。作为验证,采用最优体积比5:1的柠檬酸/双氧水腐蚀溶液,工艺制备出InP/GaAsSbDHBT器件。
孙浩
齐鸣
艾立鹍
徐安怀
滕腾
朱福英
关键词:
湿法腐蚀
磷化铟
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