汪继亮
- 作品数:4 被引量:0H指数:0
- 供职机构:西安交通大学更多>>
- 发文基金:教育部科学技术研究重点项目国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程更多>>
- 硅基微器件计算机辅助工艺规划方法
- 本发明公开了一种以硅基微器件的体微加工和表面微加工为研究对象的计算机辅助工艺规划方法,将微器件三维几何结构按加工层进行分解,每一层由层主特征和若干辅助特征组成,建立了完整的微器件三维和二维表面制造特征,该制造特征与硅基微...
- 江平宇汪继亮刘崢
- 文献传递
- 微器件工艺设计方法的研究
- 当前大多数MEMS-CAD系统通过创建掩膜和工艺来生成微器件三维图形,基于已有的微器件结构自动生成工艺的系统很少,而且这些系统多数是基于二维的微器件模型.该文以硅基微器件的体微加工和表面微加工为研究对象,提出了一种支持M...
- 汪继亮
- 关键词:微机电系统CAD
- 文献传递
- 硅基微器件计算机辅助工艺规划方法
- 本发明公开了一种以硅基微器件的体微加工和表面微加工为研究对象的计算机辅助工艺规划方法,将微器件三维几何结构按加工层进行分解,每一层由层主特征和若干辅助特征组成,建立了完整的微器件三维和二维表面制造特征,该制造特征与硅基微...
- 江平宇汪继亮刘崢
- 文献传递
- 微器件制造特征信息描述与输入方法的研究
- 2003年
- 以硅基加工为研究对象,提出了一种基于特征的多层次体面相结合的微器件信息描述模型与相应的输入方法.该方法将微器件的三维几何结构按加工层进行分解,每一层由层主特征和若干辅助特征组成,建立了完整的微器件三维和二维表面制造特征,并与硅基微加工方法相联系,反映了微加工工艺的约束条件,且具有确切的加工形状.同时,将微器件信息描述为总体-加工层-特征-属性4级模式,在制造特征输入过程中,形成特征索引树及特征之间的关系,因此很好地表达了微器件的几何信息和工艺信息,为随后确定微器件的加工方法和工艺顺序提供了信息基础.
- 汪继亮江平宇
- 关键词:微机电系统微器件信息描述计算机辅助工艺设计信息输入