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林国树

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：西北工业大学机电学院西北工业大学CAD/CAM国家专业实验室更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇物理仿真
  • 1篇细胞
  • 1篇刻蚀
  • 1篇各向异性
  • 1篇仿真
  • 1篇硅

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇林国树
  • 1篇苑伟政
  • 1篇乔大勇
  • 1篇李晓莹

传媒

  • 1篇航空制造技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于细胞自动控制算法的硅各向异性湿法刻蚀物理仿真
2006年
应用细胞自动控制算法对硅湿法刻蚀进行物理仿真,按硅原子晶体结构构建细胞单元,以原子共价键连接状态和相邻细胞的状态来判断刻蚀中某个细胞是否去除或者保留,最后获得与理论分析相符的仿真结果。
林国树李晓莹乔大勇苑伟政
关键词：各向异性湿法刻蚀物理仿真
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共1页<1>
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