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彭争春

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：华中科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇镀覆
  • 4篇刻蚀
  • 4篇干法刻蚀
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇单晶硅片
  • 2篇自顶向下
  • 2篇蝴蝶
  • 2篇基底
  • 2篇基底结构
  • 2篇各向异性腐蚀
  • 2篇光刻
  • 2篇硅片
  • 2篇反应离子
  • 2篇壁虎

机构

  • 4篇华中科技大学

作者

  • 4篇史铁林
  • 4篇廖广兰
  • 4篇彭争春
  • 4篇高阳
  • 2篇王中林
  • 2篇汪威

年份

  • 2篇2012
  • 2篇2010
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
一种仿生微纳结构制备方法
本发明提供一种自顶向下与自底向上相结合的仿生微纳结构制备方法，具体通过以下步骤实现：首先采用自顶向下的方法制备出微尺度结构作为基底，主要包括镀膜生长、光刻、干法刻蚀等，然后在微尺度基底结构的顶部或者侧壁有选择地蒸发镀覆纳...
廖广兰王中林彭争春史铁林高阳
一种仿蝴蝶磷翅分级多层非对称微纳结构的制备方法
本发明提供一种仿蝴蝶磷翅分级多层非对称微纳结构的制备方法，具体通过以下步骤实现：选用<111>单晶硅片，采用镀膜生长、两步光刻、反应离子干法刻蚀，并结合感应耦合等离子深刻蚀，得到侧壁保留有足够深度波纹、且相邻...
廖广兰彭争春史铁林高阳汪威
一种仿生微纳结构制备方法
本发明提供一种自顶向下与自底向上相结合的仿生微纳结构制备方法，具体通过以下步骤实现：首先采用自顶向下的方法制备出微尺度结构作为基底，主要包括镀膜生长、光刻、干法刻蚀等，然后在微尺度基底结构的顶部或者侧壁有选择地蒸发镀覆纳...
廖广兰王中林彭争春史铁林高阳
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一种仿蝴蝶磷翅分级多层非对称微纳结构的制备方法
本发明提供一种仿蝴蝶磷翅分级多层非对称微纳结构的制备方法，具体通过以下步骤实现：选用<111>单晶硅片，采用镀膜生长、两步光刻、反应离子干法刻蚀，并结合感应耦合等离子深刻蚀，得到侧壁保留有足够深度波纹、且相邻...
廖广兰彭争春史铁林高阳汪威
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