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张洪泽

作品数：6 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇中文专利

主题

  • 2篇整流罩
  • 2篇射频
  • 2篇射频加热
  • 2篇石墨
  • 2篇水冷壁
  • 2篇气体流量
  • 2篇自动化
  • 2篇自动化控制
  • 2篇自动化控制系...
  • 2篇自动检查
  • 2篇外延片
  • 2篇温度分布
  • 2篇耐热
  • 2篇耐热材料
  • 2篇控制模块
  • 2篇控制系统
  • 2篇隔热
  • 2篇CVD
  • 2篇CVD设备
  • 2篇MOCVD

机构

  • 6篇中国科学院

作者

  • 6篇张洪泽
  • 6篇王劼
  • 6篇张立国
  • 6篇范亚明

年份

  • 3篇2016
  • 2篇2014
  • 1篇2013
共 6 条 记 录，以下是 1-6
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排序方式：
晶体生长炉
本发明公开了一种晶体生长炉，包括反应室和加热装置，所述的反应室包括第一热壁和第二热壁，所述的第一热壁和第二热壁可拆卸连接，且所述的第一热壁和第二热壁围成晶体的反应空间，所述的第二热壁的材质为石墨，所述的加热装置配合第二热...
王劼张立国范亚明张洪泽
文献传递
一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室
本发明公开了一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室，包括：具有双层管状结构的水冷壁，该水冷壁的内管腔中设有反应室，而内、外管之间至少与该反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔；设于该反应室内的加热基座，且该加热基座上分布...
王劼张立国范亚明张洪泽
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晶体生长炉
本发明公开了一种晶体生长炉，包括反应室和加热装置，所述的反应室包括第一热壁和第二热壁，所述的第一热壁和第二热壁可拆卸连接，且所述的第一热壁和第二热壁围成晶体的反应空间，所述的第二热壁的材质为石墨，所述的加热装置配合第二热...
王劼张立国范亚明张洪泽
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一种MOCVD自动化控制系统
本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统，包括执行模块和控制模块，该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块，该控制模块可通过PID算法控制执行模块，该控制模块的扫描...
王劼张立国范亚明张洪泽
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一种MOCVD自动化控制系统
本发明公开了一种MOCVD自动化控制系统，包括执行模块和控制模块，该执行模块包括分别用于控制反应室内温度、压力、气体流量的温度控制模块、压力控制模块、流量控制模块，该控制模块可通过PID算法控制执行模块，该控制模块的扫描...
王劼张立国范亚明张洪泽
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一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室
本发明公开了一种使用射频加热的桶式CVD设备反应室，包括：具有双层管状结构的水冷壁，该水冷壁的内管腔中设有反应室，而内、外管之间至少与该反应室相应的区域内分布有冷却介质容置腔；设于该反应室内的加热基座，且该加热基座上分布...
王劼张立国范亚明张洪泽
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