周昌鹤
- 作品数：30 被引量：29H指数：3
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学金属学及工艺化学工程更多>>
- 一种基于缩颈型坩埚的无坩埚壁接触式单晶生长方法
- 本发明公开了一种基于缩颈型坩埚的无坩埚壁接触式单晶生长方法，适用于晶体密度大于熔体密度的材料的大直径高质量单晶体生长。本发明利用碲锌镉（CdZnTe）熔体凝固时体积缩小的物理性质，设计了一种中部有缩颈的坩埚，并使晶体在坩...
- 孙士文何力杨建荣周昌鹤虞慧娴徐超盛锋锋
- 文献传递
- 采用红外透射显微镜测量碲锌镉材料非晶相缺陷的面密度
- 根据非晶相缺陷在红外透射显微镜中的几何成像原理,当缺陷图像的灰度一定时,其离焦距离与缺陷尺寸的比值只与显微镜的数值孔径相关。因此,只要测量出特定灰度范围内的缺陷数量,即可求出碲锌镉晶体材料中位于焦面附近的缺陷面密度。实验...
- 周昌鹤孙士文虞慧娴周梅华杨建荣
- 关键词：碲锌镉面密度
- 文献传递
- 红外探测器用碲锌镉晶体材料的合成技术研究
- 碲锌镉晶体是研制碲镉汞红外焦平面探测器所需的衬底材料,其制备技术由源材料合成、晶体生长、衬底加工和测试评价四个部分组成。本文针对合成工艺中的放热过程和合成料化学计量比的控制方法进行了研究。实验使用可视监控系统观测了碲锌镉...
- 徐超周昌鹤孙士文虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲锌镉衬底红外
- 文献传递
- 50mm×50mm高性能HgCdTe液相外延材料的批生产技术被引量：11
- 2017年
- 采用富碲垂直液相外延技术实现了50 mm×50 mm×3高性能碲镉汞外延材料的制备.外延工艺的样品架采用了三角柱体结构,并设计了防衬底背面粘液的样品夹具.为保证大面积材料的均匀性,工艺中加强了对母液温度均匀性和组分均匀性的控制,50 mm×50 mm外延材料的组分均方差达到了0.000 4,厚度均方差达到了0.4μm.在批量生产技术中,加强了对单轮次生长环境的均匀性和生长轮次之间生长条件一致性的控制,同一轮次生长的3片材料之间的组分偏差小于0.000 4,厚度偏差小于0.1μm,不同生长轮次之间材料的组分之间的波动在±0.002左右,厚度之间的波动在±2μm左右.工艺中对碲锌镉衬底的Zn组分、缺陷尺寸和缺陷密度也加强了控制,以控制大面积外延材料的缺陷,晶体双晶衍射半峰宽(FWHM)小于30弧秒,外延材料的位错密度小于1×105cm^(-2),表面缺陷密度小于5 cm^(-2).外延材料经过热处理后,汞空位型的P型Hg0.78Cd0.22Te外延材料77 K温度下的载流子浓度被控制在8~20×1015cm-3,空穴迁移率大于600 cm2/Vs.材料整体性能和批生产能力已能满足大规模碲镉汞红外焦平面探测器的研制需求.
- 孙权志孙瑞赟魏彦锋孙士文周昌鹤徐超虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲镉汞液相外延大尺寸高性能
- 红外探测器用碲锌镉晶体材料的合成技术研究
- 碲锌镉晶体是研制碲镉汞红外焦平面探测器所需的衬底材料，其制备技术由源材料合成、晶体生长、衬底加工和测试评价四个部分组成。本文针对合成工艺中的放热过程和合成料化学计量比的控制方法进行了研究。实验使用可视监控系统观测了碲锌镉...
- 徐超周昌鹤孙士文虞慧娴杨建荣
- 关键词：碲锌镉衬底红外
- 一种碲锌镉单晶的生长方法及装置
- 本发明公开了一种碲锌镉单晶的生长方法及装置，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)将碲锌镉多晶锭放入热解氮化硼坩埚，所述碲锌镉多晶锭是通过预设温度梯度合成方法获得，且具有在生长方向呈现[111]晶向团簇晶粒；(2)将热...
- 徐超李尚书周昌鹤
- 一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置
- 本专利公开了一种利用温度梯度合成碲锌镉多晶的合成装置。本合成装置包括加热氧化铝炉膛，内衬炉膛，控温系统，反应器皿，且可以进行两段独立或联合升降温。所述方法通过改变高温区和低温区的温场分布来实现温度梯度的调控，通过改变晶料...
- 徐超周昌鹤孙士文虞慧娴张大众张诚杨建荣
- 文献传递
- 碲锌镉晶体合成过程中的放热控制和反应机理研究被引量：1
- 2021年
- 碲锌镉(Cadmium Zinc Telluride,CZT)是碲镉汞(Mercury Cadmium Telluride,MCT)红外焦平面器件的重要衬底材料,其合成过程存在强烈的放热现象。因此控制放热是CZT多晶材料合成工艺平稳进行的基本条件。通过改变初始旋转倾角可有效调控合成反应的放热强度和放热速率:大倾角有利于获得缓慢且稳定的工艺过程。基于实验结果和热力学计算分析可知,合成反应经过镉--碲的液--固相反应和液--液相反应两个阶段完成。同时实验结果表明,反应的放热量大小决定了在高温下是否会发生第二次反应。最后对二次反应发生的相关机理进行了分析。
- 李尚书周昌鹤徐超
- 关键词：碲锌镉
- 一种碲锌镉晶体表面沉淀物腐蚀坑的识别方法
- 本发明公开了一种碲锌镉晶体表面沉淀物腐蚀坑的识别方法。包括晶体表面预处理、晶体表面清洗、配制腐蚀液并腐蚀晶体表面和观察识别晶体缺陷4个步骤，其特征在于：在观察识别晶体缺陷的步骤中使用常规光学显微镜对碲锌镉晶片表面的腐蚀坑...
- 盛锋锋杨建荣孙士文周昌鹤虞慧娴徐超
- 文献传递
- 一种缩颈型晶体坩埚
- 本专利公开了一种基于缩颈型晶体坩埚，它适用于晶体密度大于熔体密度的材料的大直径高质量单晶体生长。该坩埚利用碲锌镉（CdZnTe）熔体凝固时体积缩小的物理性质，设计了一种中部有缩颈的坩埚，并使晶体在坩埚内自上向下生长，当熔...
- 孙士文何力杨建荣周昌鹤虞慧娴徐超盛锋锋
- 文献传递
