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刘松民

作品数:23 被引量:13H指数:2
供职机构:南京大学更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信化学工程医药卫生理学更多>>

文献类型

  • 17篇专利
  • 4篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇会议论文

领域

  • 6篇电子电信
  • 3篇化学工程
  • 2篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇文化科学
  • 1篇理学

主题

  • 6篇金刚石薄膜
  • 5篇掺杂
  • 4篇化学气相
  • 4篇化学气相沉积
  • 4篇ZNO
  • 3篇气体管道
  • 3篇热丝
  • 3篇碲化锌
  • 3篇纳米
  • 3篇纳米线
  • 3篇金刚石
  • 3篇刚石
  • 3篇CVD设备
  • 3篇MOCVD
  • 3篇MP
  • 2篇导电薄膜
  • 2篇等离子体化学...
  • 2篇电池
  • 2篇电极
  • 2篇氧化锌

机构

  • 21篇南京大学
  • 2篇江苏省光电信...

作者

  • 23篇刘松民
  • 22篇顾书林
  • 22篇朱顺明
  • 22篇叶建东
  • 15篇汤琨
  • 7篇张荣
  • 7篇郑有炓
  • 5篇杨凯
  • 4篇刘伟
  • 3篇李靖
  • 3篇施毅
  • 2篇谢自力
  • 2篇胡立群
  • 2篇周昕
  • 2篇汤坤
  • 1篇秦锋
  • 1篇任芳芳
  • 1篇聂奎营

传媒

  • 4篇Journa...
  • 1篇第十四届全国...

年份

  • 3篇2024
  • 5篇2023
  • 2篇2022
  • 1篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2016
  • 2篇2007
  • 2篇2006
  • 1篇2005
  • 1篇2004
23 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种热丝模组及化学气相沉积设备
本申请提供一种热丝模组及化学气相沉积设备,属于热丝化学气相沉积领域。本申请的热丝模组,包括第一热丝阵列、第二热丝阵列、第一支撑结构及第二支撑结构;第一支撑结构包括多个第一固定柱,多个第一固定柱沿第二方向间隔排布,第二支撑...
顾书林朱顺明刘松民汤琨叶建东谢自力张荣
一种化学气相沉积设备和成膜方法
一种化学气相沉积设备,包括气体输入结构和反应室,所述气体输入结构包括气体分配器以及下方的出气套筒,所述气体分配器为开设有一个入口和多个均匀分布的出口相连通的容器,所述每个出口均为出气套筒的结构,出气套筒包括由内向外依次同...
顾书林刘松民朱顺明叶建东汤琨郑有炓
文献传递
ZnO-MOCVD水平反应室几何结构的模拟研究
本文采用基于计算流体力学(CFD)的数值计算方法,对自制的生长ZnO的MOCVD(金属有机物化学气相淀积)反应室内的流场进行了三维数值模拟和分析.数值模拟采用有限体积差分方法对系统的控制方程进行离散.通过解决流体的能量,...
刘松民顾书林朱顺明叶建东刘伟张荣郑有炓
关键词:ZNOMOCVD数值模拟计算流体力学
文献传递
一种应用于小型MOCVD系统的高温加热装置
一种应用于小型MOCVD系统的高温加热装置,包括加热元件、电炉盘和电极连接线,加热元件上面设有盖板,电炉盘底部预留若干孔洞,连接加热元件的电极连接线有陶瓷管加以保护;加热装置外部由不锈钢外罩所封闭,电炉盘下方有隔热板,隔...
朱顺明刘松民顾书林叶建东汤琨
文献传递
一种热丝架构及化学气相沉积设备
本申请提供一种热丝架构及化学气相沉积设备,属于热丝化学气相沉积领域。本申请提供的一种热丝架构,包括热丝、第一支撑结构及第二支撑结构;第一支撑结构与第二支撑结构沿第一方向间隔设置;第一支撑结构包括多个第一固定柱,多个第一固...
顾书林朱顺明刘松民汤琨叶建东谢自力张荣
一种有效实现金刚石中硅掺杂的设备与方法
一种有效实现金刚石中硅掺杂的设备,采用MPCVD系统,包括气体控制模块、微波模块和包括反应腔室的反应沉积模块;所述的反应沉积模块,包括石英窗、反应腔室、样品台和样品托,微波通过石英窗进入反应腔室,样品托置于样品台上在反应...
顾书林杨凯刘松民汤琨朱顺明叶建东段晶晶滕妍黄颖蒙赵伟康
一种实现高效磷掺杂金刚石薄膜的装置与制备方法
一种实现高效磷掺杂金刚石薄膜制备的装置,包括反应室和气体输入系统,反应室内设有用于掺杂生长的样品托和金刚石衬底,所述样品托呈倾斜状,且所述样品托上设有容纳所述金刚石衬底的凹槽,所述气体输入系统包括第一管路和第二管路,所述...
顾书林滕妍刘松民汤琨朱顺明叶建东杨凯段晶晶黄颖蒙赵伟康
一种微波等离子体化学气相沉积系统制备六方氮化硼薄膜的方法
一种微波等离子体化学气相沉积系统制备六方氮化硼薄膜的方法,基于微波等离子体化学气相沉积系统,1)衬底选择及清洗;2)将衬底放置于反应室钼托中,置于微波等离子体化学气相沉积系统,抽真空至7.5×10<Sup>‑4</Sup...
顾书林段晶晶滕妍赵伟康刘松民黄颖蒙杨凯朱顺明汤琨叶建东
Fabrication and Emission Properties of a n-ZnO/p-GaN Heterojunction Light-Emitting Diode被引量:1
2006年
We report the fabrication and characterization of light-emitting diodes based on n-ZnO/p-GaN heterojunctions. The n-type ZnO epilayer is deposited by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) on a MOCVD grown Mg-doped p-GaN layer to form a p-n heterojunction. During the etching process, the relation between the etching depth and the etching time is linear in a HF and NH4 CI solution of a certain ratio. The etching rates of the SiO2 and ZnO are well controlled,which are essential for device fabrication. The current-voltage relationship of this heterojunction shows a diode-like rectifying behavior. In contrast to previous reports,electroluminescence (EL) emissions are observed by the naked eye at room temperature from the n-ZnO/p-GaN heterojunction under forward-and reverse-bias. The origins of these EL emissions are discussed in comparison with the pho- toluminescence spectra.
周昕顾书林朱顺明叶建东刘伟刘松民胡立群郑有炓张荣施毅
一种可实现有效掺杂的MPCVD设备
一种可实现有效掺杂的MPCVD设备,包括反应室和气体输入结构,所述气体输入结构包括两路反应气体管道,第一路管道连接的分配器将气体均匀输运道到反应室中,气体出口位于反应室顶部附近,将反应气体均匀地输运到反应室中,该气体分配...
顾书林刘松民朱顺明叶建东汤琨
共3页<123>
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