刘天柱
- 作品数：4 被引量：29H指数：2
- 供职机构：南京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信更多>>
- 压电薄膜制备与特性研究
- 多年来对压电铁电薄膜的研究一直很受人们重视。无机压电铁电材料具有压电效应、热释电效应、线性或二次电光效应等多种效应。无机压电铁电薄膜有其独特的优点，如易于制作极薄的微波超声换能器，与半导体材料集成，制作压电铁电/半导体集...
- 刘天柱
- 文献传递
- 利用光差分技术检测激光激发声表面波定征薄膜材料被引量：24
- 2003年
- 利用激光激发声表面波及改进的光差分检测技术,研究沉积在基片表面的薄膜样品的特性和参量。根据实验获得的声色散曲线和基片已知参数,结合层状媒质中声表面波传播理论,拟合得到薄膜材料的弹性模量、密度和厚度等物理量。结合扫描电子显微镜和X光衍射结果分析,并与文献值比较,表明所采用的技术是定征薄膜材料的弹性模量和力学参量的有效方法。
- 徐晓东张淑仪张飞飞刘天柱K.Wasa
- 关键词：激光激发声表面波弹性模量厚度
- ZnO薄膜的粉靶溅射沉积被引量：5
- 2003年
- 氧化锌是一种重要的压电与光电材料,用粉靶代替常规的固体陶瓷靶溅射沉积ZnO薄膜,对基底的加热温度、溅射气压和氧气的混合比率等沉积条件对氧化锌薄膜特性的影响进行了研究,主要对沉积在玻璃基片上的ZnO薄膜进行了X-射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)以及台阶仪的测量和分析比较,用粉靶溅射的ZnO薄膜具有很好的C轴长相和很窄的衍射峰半宽(0.2°～0.27°)。因为ZnO膜在C轴方向有很强的压电性,从而也说明了用粉靶溅射的ZnO薄膜具有很好的压电特性。分析和测量结果显示用粉靶溅射ZnO薄膜的最佳条件是:(1)基片加热温度为300～400℃。(2)氧气的混合含量为0.5～0.8.(3)溅射气压为1～2 Pa。得出了利用粉靶溅射制备的ZnO薄膜与用陶瓷靶制备同样具有很好的性能。
- 刘天柱Kiyotaka Wasa张淑仪水修基陈培狄宋凤麒王广厚
- 关键词：氧化锌薄膜ZNO薄膜加热温度溅射气压压电性
- 薄膜材料中表面声波的光外差法检测
- 本文利用激光照射于沉积在基片表面的薄膜上激光器表面声波,并利用外差光检测器探测表面声波位移.利用实验获得的色散曲线和已知基片参数,根据层次媒质中瑞利波传播理论,推算薄膜材料的厚度、弹性模量、密度等材料信息.
- 徐晓东张飞飞张淑仪刘天柱水修基
- 关键词：表面声波
- 文献传递
