余才佳
- 作品数：9 被引量：18H指数：3
- 供职机构：西安飞行自动控制研究所更多>>
- 发文基金：国际科技合作与交流专项项目国家高技术研究发展计划中国人民解放军总装备部预研基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术交通运输工程电子电信自动化与计算机技术更多>>
- MEMS系统级的跨平台建模技术研究
- 本文研究了MEMS系统级的跨平台建模技术.采用标准建模语言VHDL-AMS,制定了一套面向MEMS设计的通用建模规范;定义了多端口组件模型由端口、行为模型、参数以及示意图构成的一般形式,给出了组件端口的联接准则;然后在此...
- 余才佳
- 关键词：微机电系统系统级设计加速度计仿真平台
- 文献传递
- 微机电系统引领航空技术新变革被引量：2
- 2012年
- 微机电系统(MEMS)被认为是21世纪的一项"使能"技术,对航空工业的技术革新将产生重大影响。本文介绍了MEMS在航空领域的典型应用,包括微惯性测量系统、微型飞行器、微流控和灵巧蒙皮、集成光电器件、发动机智能控制等,并探讨了未来MEMS的发展趋势。
- 陆志东余才佳
- 关键词：微机电系统微型飞行器集成光电器件
- 闭环硅微加速度计非线性补偿（英文）被引量：4
- 2016年
- 为了降低闭环硅微加速度计的非线性,分析了其主要误差源并提出了相应的补偿方法。首先,分析了闭环状态下检测质量块偏离几何中心位置所造成的非线性问题,并确定了电路零位是主要误差源;其次,利用闭环反馈控制进行了非线性的优化分析;最后,提出了非线性补偿的工程调试方法。离心试验结果表明,采用该调试方法可将加速度计的非线性减小一个数量级以上。该结果验证了非线性误差分析和补偿方法的有效性,且适用于同批次加工的其它加速度计。
- 肖鹏刘林王小斌孙俊杰余才佳
- 关键词：加速度计反馈控制非线性补偿
- 真空封装硅微陀螺品质因数的标定被引量：5
- 2014年
- 建立了真空封装陀螺的无激励欠阻尼二阶系统模型,用于测量真空封装硅微陀螺的品质因数。对该模型进行理论推导,提出了一种时延常数测试方法。该方法首先利用锁相环路,驱动陀螺实现闭环谐振,获得较大的初始振幅。然后关断激励信号,通过放大电路和解调电路,记录硅微陀螺振荡幅值的衰减过程;用计算机通过Matlab GUI实时采集并拟合振幅衰减曲线,获得时间常数。最后,通过时间常数解算获得真空封装硅微陀螺的品质因数。对真空封装硅微陀螺品质因数的实验测试结果表明:该方法实测数据与理论分析模型的拟合度为99.999%,测试重复性为4.03%,优于传统的扫频测试法的重复性。对比时延常数法与锁相放大器扫频测试法的测试数据显示:时延常数法具有更高的测量精度和更高的测试效率。该方法可以推广到其它高真空封装MEMS器件的品质因数测量。
- 王玉朝滕霖孙香政王刚郭志想余才佳
- 关键词：真空封装品质因数扫频法
- MEMS谐振器刚度非线性特性及其表征被引量：3
- 2015年
- 为了准确表征微电子机械系统(MEMS)谐振器在大振幅运动时的行为特性,建立了刚度非线性MEMS谐振器集总参数模型,并创建了一整套MEMS谐振器非线性特性的表征方法和测试系统。搭建了基于锁相环和自动增益控制的MEMS谐振器闭环工作电路,分析了不同驱动振幅下,MEMS谐振器的工作状态。推导建立了工作振幅、工作频率与MEMS谐振器刚度非线性之间的数量关系。最后,基于衰减模式和稳定振荡模式两种工作形态,实际测量了MEMS谐振器的无阻尼自然谐振频率和刚度非线性。结果显示:无阻尼自然谐振频率和刚度非线性系数的测量重复性分别为18.6×10-6和1.50%。针对实测的MEMS谐振器无激励振幅自衰减曲线,分别用理想二阶系统谐振器模型和刚度非线性谐振器模型进行残差分析。结果显示后者的残差要比前者的残差小9.5%,表明刚度非线性MEMS谐振器模型更接近真实情况,也验证了该刚度非线性特性表征方法的准确性。基于该方法,测量了MEMS谐振器刚度非线性系数和无阻尼自然谐振频率的温度特性,得到的无阻尼自然谐振频率的温度系数为-0.487Hz/℃,线性拟合度达99.964%。
- 王玉朝余才佳田蕊滕霖
- 关键词：锁相环自动增益控制
- 振子框架式微机械陀螺设计优化
- 2005年
- 采用多端口组件网络方法对振子框架式微机械陀螺(CGMG)进行设计,分析了主要结构尺寸对其固有频率的影响。根据陀螺驱动模态频率和检测模态的频率匹配,优化了陀螺的结构尺寸。结果表明,该方法可以实现MEMS整体行为的快速仿真,并能分析局部尺寸参数对系统性能的影响。
- 余才佳霍鹏飞马炳和苑伟政姜澄宇
- 关键词：微机电系统微机械陀螺多端口组件网络硬件描述语言
- 大量程闭环MEMS加速度计非线性分析与优化法被引量：4
- 2016年
- 为研究大量程翘翘板摆式闭环MEMS加速度计系统的输出非线性,分别从质量块受力不平衡所产生的平动效应以及电路零位引起质量块闭环平衡位置偏差两个主要误差源入手,建立了两种误差引起加速度计非线性的数学模型,并采用ANSYS和Simulink软件对传感器结构及系统进行了仿真验证,确定了该模型的正确性及非线性的优化方法。最后,按照以上分析进行了样机制作和离心测试。试验结果表明,通过减小翘翘板摆式结构质量块的平动效应,可将±150g量程加速度计的非线性由5.4979′10-2减小至5.320′10^(-3),在此基础上通过减小质量块闭环平衡位置偏差,可进一步将加速度计的非线性减小至2.772′10^(-3)。
- 肖鹏孙国良刘林王小斌孙俊杰余才佳
- 关键词：大量程MEMS加速度计非线性
- 翘翘板摆式MEMS加速度计振动整流误差被引量：1
- 2017年
- MEMS加速度计凭借其体积小、成本低、可靠性高及可批量生产等优势,已经在战术级精度的武器领域得到了广泛应用。但是,在振动环境下的输出误差(振动整流误差)成为其向导航级精度发展的主要指标瓶颈。为了减小MEMS加速度计的振动整流误差,对传感器芯片结构不对称性和电路零位误差引起的力矩器结构非线性进行了理论分析,然后按照振动法测非线性的方式对上述误差源引起的系统级误差模型进行了仿真试验验证,确定了各误差源与加速度计非线性系数间的影响关系。最后,对主要误差源(电路零位)优化前后的MEMS加速度计振动整流误差和非线性系数进行了测试对比,结果表明:优化后,在50~1500 Hz频率范围内MEMS加速度计二阶非线性的最大值可由1E-4g/g^2降至5E-6g/g^2。
- 肖鹏孙国良刘林王小斌孙俊杰余才佳
- 关键词：MEMS加速度计
- 缓冲质子源LiNbO_3波导折射率计算及实验被引量：1
- 2017年
- 为实现铌酸锂退火质子交换(APE)波导折射率分布的准确计算,选择含苯甲酸锂的苯甲酸缓冲液作为质子交换质子源,高温退火制作了波导样本。针对该工艺过程建立退火质子交换波导模型,包括非线性扩散模块和光学数值仿真模块,分别计算APE波导折射率及其模式有效折射率。以测得的样本波导模式有效折射率和计算的有效折射率差的均方根构建评价函数(FOM),结合遗传算法提取该工艺条件下质子扩散参数,实现了不同交换深度和退火时间波导折射率分布及其光学特性的一体化计算。实验表明:FOM小于0.001,计算折射率分布同IWKB方法测得结果吻合较好,最大偏差约0.002。
- 王健余才佳纪引虎熊恒闫鑫
- 关键词：集成光学退火质子交换铌酸锂波导折射率分布
