何江波
- 作品数：8 被引量：23H指数：2
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- 考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究被引量：2
- 2016年
- 为了使微加速度计满足线性度指标,准确计算微加速度计的非线性误差是非常必要的。在考虑边缘和寄生电容的前提下,提出了计算微加速度计的非线性误差的方法。首先根据表芯结构的电容分布特点建立了其等效电路模型,并推导了微加速度计的输出电压与检测电容和寄生电容之间的关系式,其中检测电容包含了边缘电容;其次,基于有限元法,分别提出了计算微加速度计的寄生电容和检测电容的方法;最后建立了微加速度计的输出电压与输入加速度之间的关系式,并基于三次多项式拟合,推导出微加速度计的非线性误差的计算公式。通过对比分析非线性误差的理论计算结果与实验测量结果,提出的方法的正确性得到了验证。
- 何江波谢进何晓平杜连明周吴
- 关键词：微加速度计寄生电容有限元法
- 混沌振动筛机构的研究被引量：13
- 2011年
- 提出了一种欠驱动、冗余自由度为1的混沌振动筛机构设计方案。利用Largrange方法建立了机构的动力学模型,并用MATLAB中的Simulink进行数值仿真。仿真结果表明筛箱的运动是混沌的。
- 覃玉祝谢进陈永陈江瑜何江波
- 关键词：振动筛混沌仿真
- 具有不对称弹性梁的梳状微加速度计的结构变形分析被引量：1
- 2011年
- 通常情况,梳状微加速度计具有对称结构。但是加工工艺的缺陷可能导致梳状微加速度计的弹性梁不对称,引起结构发生扭转运动。对于双端固定梁式结构,分析了弹性梁的不对称性对结构等效刚度的影响。在假设弹性梁长度相等,但弯曲刚度不相等的前提下,推导出了结构的等效刚度计算公式,并将其推广到任意不对称情况。最后用有限元仿真实例验证了理论计算公式的正确性。所采用的分析方法可以运用于其他具有不对称弹性梁的MEMS结构的变形分析及其误差灵敏度分析中。
- 何江波谢进
- 关键词：微加速度计有限元分析
- 支撑梁有误差的力平衡式微加速度计性能研究
- 基于静电驱动与检测技术的力平衡式微加速度计具有线性度好、动态范围大、灵敏度高和可靠性强等优点。由于微加工工艺的不完善，微加速度计的实际参数与设计参数之间总是存在误差，比如支撑梁尺寸误差、梳齿间隙误差、检测质量块质心偏移等...
- 何江波
- 关键词：微加速度计机电耦合
- 文献传递
- 基于闭环灵敏度的微加速度计制造误差的评估被引量：2
- 2015年
- 微加速度计的制造误差对灵敏度、量程、线性度等指标均有重要影响,文中基于电测法和微加速度计的闭环灵敏度,提出了一种简便且准确的评估制造误差的方法。文中首先基于有限元法提取了梳齿电容与质量块位移之间的函数关系。其次,基于电容-位移函数以及闭环微加速度计必须满足的平衡条件,推导出了灵敏度的计算公式。最后,基于灵敏度公式与实测灵敏度值,反推得到微加速度计的制造误差。文中以两种不同几何尺寸的微加速度计为例,通过实验验证了文中所提出方法的正确性。
- 何江波谢进何晓平杜连明周吴
- 关键词：微加速度计电测法灵敏度
- 电容式微加速度计的刻度温漂的半解析模型被引量：1
- 2016年
- 针对电容式微加速度计的刻度温漂,根据微加速度计的检测原理及热变形的分析结果,建立了刻度温漂的半解析模型,并在此基础上分析了刻度温漂的主要影响因素。分析结果表明,刻度温漂由两部分组成,第一部分主要由单晶硅的弹性模量的温度系数决定,可以通过高掺杂降低;第二部分由微加速度计的热变形引起,它的大小与封装胶的弹性模量、梳齿的宽度、大电容间隙与小电容间隙的比值以及固定梳齿锚点的位置相关;第一部分和第二部分分别是正数和负数,因此相互补偿。基于MEMS体硅微加工工艺,制造了微加速度计的实验样品,刻度温漂的测量结果验证了理论分析结果的正确性。
- 何江波谢进何晓平杜连明周吴
- 关键词：电容式微加速度计封装效应MEMS
- 电容式微加速度计的热稳定性研究
- 电容式微加速度计是一种基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器，在物联网、移动通信、惯性导航等领域均有重要应用。电容式微加速度计的热稳定性是指电容式微加速度计的性能随温度变化而保持恒定的能力。零位温漂和刻度因子温漂是...
- 何江波
- 关键词：电容式微加速度计热稳定性
- 欠驱动平面五杆机构混沌运动的控制与反控制被引量：4
- 2013年
- 对于欠驱动连杆机构,混沌的控制和反控制研究是避免或利用其混沌运动的关键问题。在欠驱动平面五杆机构中加装一个线性弹簧,改变了机构的受力状况,从而实现了对机构混沌运动的控制与反控制。以弹簧安装位置为参数的分叉图显示,不同的弹簧安装位置可以使机构呈现出混沌运动、周期运动等多种运动形式,弹簧的安装位置可以通过螺旋机构进行调节,这样就形成了一种简单、有效的机构混沌运动控制和反控制的方法。机构运动的相图和最大Lyapunov指数验证了方法的有效性。
- 何江波谢进陈永张猛魏巍
- 关键词：混沌控制混沌反控制LYAPUNOV指数
