黄磊
- 作品数：10 被引量：6H指数：2
- 供职机构：昆明冶研新材料股份有限公司更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 一种用于氢化炉的加热装置及氢化炉
- 本实用新型提供一种用于氢化炉的加热装置，包括：底盘；多个加热器；多个电极，通过绝缘体贯穿底盘且多个电极沿底盘圆周方向分N环布置，多个电极被分为三组，每组中的多个电极被分为多对，每对电极的电极头部通过一个加热器相连，且每组...
- 赵桂洁顾国宝杨丞杰王世松何书玉李鸿祥陈忠苑付金林刘柯周文韬黄磊张新红
- 文献传递
- 清洗设备
- 本发明提出了清洗设备，该清洗设备包括：转动轴、喷淋装置、毛刷、驱动器以及用于盛放清洗溶液的溶液容器。其中，喷淋装置设在转动轴上且与溶液容器连通；毛刷设在转动轴上；驱动器与转动轴相连以驱动转动轴旋转。利用该清洗设备可以有效...
- 顾国宝王世松杨丞杰李鸿祥付金林刘柯蔡永明宋张佐黄磊廖福余
- 文献传递
- 直拉硅单晶制备中来自于石英坩埚的受主杂质污染定量分析被引量：2
- 2016年
- 半导体硅单晶制备中一般要求掺入一定量的杂质以控制其电阻率。但是,由于坩埚受熔体侵蚀引入杂质污染,影响硅棒的实际电阻率,降低产品合格率。特别对于连续拉晶过程中,长时间的熔体侵蚀造成硅棒尾部杂质含量急剧升高。讨论了由于石英坩埚中受主杂质污染对硅单晶棒电学性能的影响,并对杂质渗入量进行了定量分析。结果表明,随着晶体生长时间的延长,石英坩埚的Ba涂层被破坏,杂质的渗入速率快速增加。试验中杂质总渗入量超过700μg。
- 李昆史冰川董俊黄磊亢若谷邱建备
- 关键词：硅单晶电阻率
- 清洗设备
- 本发明提出了清洗设备，该清洗设备包括：转动轴、喷淋装置、毛刷、驱动器以及用于盛放清洗溶液的溶液容器。其中，喷淋装置设在转动轴上且与溶液容器连通；毛刷设在转动轴上；驱动器与转动轴相连以驱动转动轴旋转。利用该清洗设备可以有效...
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- 文献传递
- 多晶硅直拉棒切割制备硅芯工艺研究及应用
- 李昆亢若谷马启坤王云坤史冰川和金生黄磊罗以顺吕维基
- 主要技术内容：硅芯是生产多晶硅时还原炉内作为电阻加热和沉积核心的细硅棒。国内外主流的硅芯制备工艺主要是区熔拉制法，该工艺存在原料棒要求高、产品尺寸精度差、生产率较低等问题。该项目在业内独创采用了直拉棒切割制备硅芯工艺。该...
- 关键词：
- 关键词：多晶硅
- 清洗设备
- 本实用新型提出了清洗设备，该清洗设备包括：转动轴、喷淋装置、毛刷、驱动器以及用于盛放清洗溶液的溶液容器。其中，喷淋装置设在转动轴上且与溶液容器连通；毛刷设在转动轴上；驱动器与转动轴相连以驱动转动轴旋转。利用该清洗设备可以...
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- 文献传递
- 硅芯制备技术及对沉积多晶硅棒杂质的影响被引量：4
- 2016年
- 本文介绍了改良西门子法多晶硅生产中的硅芯制备技术,包括区熔法硅芯制备技术和切割法硅芯制备技术。简要介绍了两种硅芯制备技术的工艺流程,并对两种不同技术路线制备硅芯过程中的杂质分凝、挥发及坩埚污染进行了比较。根据分析结果,采用区熔硅芯能在一定程度上降低硅芯对硅棒的杂质贡献。
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- 用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备及加工方法
- 本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割...
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- 用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备及加工方法
- 本发明涉及的一种用于制作化学气相反应沉积生长多晶硅的硅芯专用金刚石外圆切割机及其加工方法。属新能源及新材料技术领域。本发明将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割...
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- 用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备
- 本实用新型涉及的一种<B>用于制作化学气相沉积生长多晶硅的硅芯专用切割设备</B>。属新能源及新材料技术领域。本实用新型将多晶硅棒料安装固定在金刚石外圆切割机中，同时对多根多晶硅棒料进行切割制取硅芯，先将多晶硅棒料切割成...
- 李昆亢若谷马启坤王云坤史冰川和金生吕维基罗以顺段鑫黄磊
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