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陈志琪

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇平面反射镜
  • 2篇气体吸收
  • 2篇气体样品
  • 2篇吸收光谱
  • 2篇光反射
  • 2篇光谱
  • 2篇光学
  • 2篇光学窗口
  • 2篇反射镜
  • 1篇电子束
  • 1篇电子束曝光
  • 1篇曝光机
  • 1篇微米
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇陈志琪
  • 2篇殷伯华
  • 2篇闫存极
  • 2篇谢亮
  • 2篇鞠昱
  • 2篇韩立
  • 1篇唐晖
  • 1篇张今朝
  • 1篇潭敏
  • 1篇王启祥
  • 1篇王岩红
  • 1篇张福安
  • 1篇王理明
  • 1篇顾文琪
  • 1篇安秉谦
  • 1篇薛虹
  • 1篇卢维美

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2011
  • 1篇2000
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
一种用于吸收光谱测定的气体吸收池
一种用于吸收光谱测定的气体吸收池。该气体吸收池包括池体(1)、两个平面反射镜和气室。所述的气室位于两个平面反射镜之间，以多次反射光传输路径为主轴。池体(1)上覆盖平面盖板(4)。所述的气体吸收池的气室的内壁开有多个光学窗...
闫存极鞠昱韩立殷伯华陈志琪谢亮
0.1微米电子束曝光实验装置的研制
顾文琪张福安王理明薛虹潭敏唐晖陈志琪安秉谦张今朝王启祥卢维美王岩红
“0.1微米电子束曝光及实验装置的研制”是中国科学院“九五”应用研究与发展重大项目。该装置也是我国第一台自行研制的0.1微米电子束曝光机。微电子光刻设备是制造大规模集成电路的先导和基础。在众多的微电子设备中，以电子束...
关键词：
关键词：电子束曝光机光刻技术
一种用于吸收光谱测定的气体吸收池
一种用于吸收光谱测定的气体吸收池。该气体吸收池包括池体(1)、两个平面反射镜和气室。所述的气室位于两个平面反射镜之间，以多次反射光传输路径为主轴。池体(1)上覆盖平面盖板(4)。所述的气体吸收池的气室的内壁开有多个光学窗...
闫存极鞠昱韩立殷伯华陈志琪谢亮
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