金丽
- 作品数：65 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中北大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金山西省青年科技研究基金山西省高等学校科技创新项目更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程交通运输工程更多>>
- 一种基于二维光栅和四象限探测器的两轴加速度计结构
- 本发明属于加速度计技术领域，具体涉及一种基于二维光栅和四象限探测器的两轴加速度计结构，包括上层结构、中层结构和下层结构，中层结构设置在上层结构与下层结构之间，上层结构的中部设置有二维光栅，中层结构的上设置有质量块，质量块...
- 张瑞李孟委亓杰金丽辛晨光
- 文献传递
- 一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺
- 一种基于隧道磁阻检测的单片集成三轴陀螺，主要结构由键合基板、支撑框架、敏感质量块、正交梁、驱动梁、检测梁、连接块、悬臂梁、驱动磁体、检测磁体、隧道磁阻元件、信号线组成；在键合基板凹槽上设置驱动磁体、隧道磁阻元件，隧道磁阻...
- 李孟委秦世洋张瑞金丽
- 文献传递
- 纳米光栅三轴MOEMS陀螺设计与仿真分析
- 2023年
- 设计了一种基于纳米光栅泰伯效应的三轴微光机电系统(MOEMS)陀螺,详细阐述了纳米光栅三轴MOEMS陀螺的工作原理,建立了陀螺结构模型并分析其灵敏度。仿真结果表明:x,y,z轴陀螺结构灵敏度分别为42.76,43.63,76.79 nm/((°)·s^(-1))。对双层光栅的衍射灵敏度仿真分析,得到双层光栅面内与离面模式下的衍射灵敏度分别为297.1,159.7 V/mm。最后,结合结构灵敏度与衍射灵敏度得到x,y,z轴陀螺的灵敏度大小分别为6.83,6.97,22.81 mV/((°)·s^(-1))。
- 罗戴钟金丽金丽
- 关键词：微陀螺单片集成
- 一种基于双层圆孔点阵二维光栅的可调谐光学角度编码器
- 本发明属于角度测量传感器技术领域，具体涉及一种基于双层圆孔点阵二维光栅的可调谐光学角度编码器，包括激光器、准直扩束器、上层圆孔点阵二维光栅、挡光环、下层圆孔点阵二维光栅、探测器，所述挡光环与下层圆孔点阵二维光栅通过螺纹连...
- 辛晨光马霄琛李孟委金丽杨志涌
- 泰曼-格林干涉型衍射光栅位移传感器被引量：3
- 2020年
- 利用波片进行同步相位延迟,将波片与偏振分光棱镜相结合获得四路相位差为90°的正弦信号,从而将衍射光栅位移传感器的量程范围提升到激光相干长度的二分之一。对两路相位差为180°的信号进行差分处理,可有效避免激光功率抖动、背景光干扰、运放温度漂移等因素带来的影响。最后利用细分插值电路对光路的输出信号构建反正切函数,实现了正弦函数的非线性模/数转换及2.54 nm的位移分辨率。这种具有高分辨率、大量程的位移传感器未来将进一步推动自动化机械设备、电子制造业以及工业智能领域的快速发展。
- 梁洲鑫李孟委张瑞金丽辛晨光解琨阳赵宏波
- 关键词：光栅分辨率
- 一种MEMS能量收集器
- 本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种MEMS能量收集器。本发明与背景技术相比具有明显的先进性，此能量收集器是采用MEMS工艺，以键合基板为载体，在外框上设置外框、敏感质量块和组合梁，并与外框...
- 李孟委武绍宽张瑞金丽
- 文献传递
- 一种基于二维单层光栅结构的多维角振动传感器
- 本发明属于角振动传感器技术领域，具体涉及一种基于二维单层光栅结构的多维角振动传感器，所述激光器、扩束器、分光棱镜、二维光栅和反射镜设置在同一光轴方向上，所述反射镜通过限位器与二维光栅连接，所述反射镜通过限位器限制位置，所...
- 辛晨光杨志涌李孟委金丽李晋华
- 一种基于四桥路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置
- 本发明属于微惯性导航仪器测量仪器仪表零部件的技术领域，具体涉及一种基于四路隧道磁阻元件的面内检测MEMS陀螺装置。所述面内检测MEMS陀螺装置包括至少一个键合基板、至少一个微陀螺结构、至少一个磁阻基板、及隧道磁阻器件；隧...
- 张瑞秦世洋李孟委金丽
- 文献传递
- 一种基于光学拍频检测的闪耀光栅MEMS陀螺
- 本发明属于MEMS陀螺技术领域，具体涉及一种基于光学拍频检测的闪耀光栅MEMS陀螺，所述第一分束镜的一个光路方向上设置有第一反射镜，所述第一分束镜的另一个光路方向上设置有环形器，所述环形器的一个光路方向上设置有准直透镜，...
- 金丽王策辛晨光李孟委
- 选择性阳极键合技术在光栅陀螺中的应用
- 2020年
- 阳极键合技术广泛应用在晶圆级MEMS器件制造和封装当中,对于有悬臂梁结构器件容易在键合时发生吸合.采用选择性阳极键合技术防止陀螺在键合中吸合失效.推导了陀螺梁与玻璃的静电吸合电压公式并建立吸合电压与硅结构-玻璃间隙关系模型.采用深硅制作陀螺结构,在玻璃基底溅射Al/Cr制作光栅,最后进行阳极键合.结果表明,键合界面没有缺陷,铬及其氧化物导电抗吸合性使得硅-玻璃阳极键合未发生静电吸合失效现象,对样品进行抗剪强度测试,得出平均键合强度为33.94 MPa,键合质量良好.
- 郝飞帆李孟委王俊强金丽金丽
- 关键词：MEMS陀螺阳极键合键合强度
