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谢中建

作品数：18 被引量：3H指数：1
供职机构：西北工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：自动化与计算机技术文化科学电子电信交通运输工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 16篇专利
  • 2篇期刊文章

领域

  • 3篇自动化与计算...
  • 2篇文化科学
  • 1篇电子电信
  • 1篇交通运输工程

主题

  • 9篇陀螺
  • 7篇电阻
  • 4篇微机电系统
  • 4篇微机电系统技...
  • 4篇机电系统
  • 4篇角速度
  • 4篇惯性测量
  • 4篇感器
  • 4篇传感
  • 4篇传感器
  • 4篇电系统
  • 3篇制导
  • 3篇趣味
  • 3篇热敏电阻
  • 3篇微机械陀螺
  • 3篇微型传感器
  • 3篇颈部
  • 3篇颈椎
  • 3篇保健
  • 3篇保健系统

机构

  • 18篇西北工业大学

作者

  • 18篇谢中建
  • 15篇常洪龙
  • 9篇杨勇
  • 8篇苑伟政
  • 8篇谢建兵
  • 6篇袁广民
  • 4篇付乾炎
  • 4篇李小卿
  • 4篇吕湘连
  • 3篇朱霄波
  • 3篇何洋
  • 3篇杨海博
  • 3篇高滋
  • 3篇尹恒许
  • 2篇丁继亮
  • 2篇周平伟
  • 2篇郝永存
  • 1篇赵海涛
  • 1篇赵小利

传媒

  • 2篇传感技术学报

年份

  • 2篇2015
  • 3篇2013
  • 9篇2012
  • 2篇2011
  • 2篇2010
共 18 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于反射式斜向莫尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法
本发明公开了一种基于反射式斜向摩尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法，属于光学检测领域。该机构由结构层和基底构成。结构层上的敏感移动梳齿和基底上的敏感固定梳齿构成一组测量光栅对，在光源照射下，产生几何干涉，形成莫尔条纹...
苑伟政谢中建常洪龙付乾炎吕湘连
Notching效应在MEMS风速仪制造工艺中的应用被引量：1
2013年
深反应离子刻蚀(DRIE)工艺在目前的硅微机械高深宽比结构加工中应用十分广泛。在SOI硅片DRIE刻蚀过程中,存在着一些被认为对刻蚀速率和结构轮廓不利的效应,如横向刻蚀(Notching)效应。通过在结构旁布置牺牲结构-硅岛,利用Notching效应加工出以悬空硅作为敏感单元的风速仪,其响应时间常数和电阻温度系数TCR(Temperature Coefficient of Resistant)分别为1.08μs和4 738×10-6/℃。正如所描述的,对于特定的微机械应用,Notching效应可以转变为一种加工优势,提高了微加工过程中的变化性。
常洪龙周平伟谢建兵杨勇谢中建袁广民
关键词：深反应离子刻蚀
一种基于反射式斜向莫尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法
本发明公开了一种基于反射式斜向摩尔条纹位移检测的微机械陀螺及其实现方法，属于光学检测领域。该机构由结构层和基底构成。结构层上的敏感移动梳齿和基底上的敏感固定梳齿构成一组测量光栅对，在光源照射下，产生几何干涉，形成莫尔条纹...
苑伟政谢中建常洪龙付乾炎吕湘连
文献传递
一种新型MEMS离心式陀螺
本发明公开了一种新型的MEMS离心式陀螺技术，属于惯性测量领域。该陀螺的四个质量块环形均布在中心锚点7四周，且各质量块和中心锚点7均通过弹性梁6连接；相邻的各质量块之间通过两根平行的弧形解耦梁7相连；各质量块4各布有一组...
苑伟政谢中建李小卿谢建兵常洪龙
文献传递
一种悬空热敏薄膜电阻的加工方法
本发明公开了一种悬空热敏薄膜电阻的加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法以普通硅片作为基片，生长底层SiO<Sub>2</Sub>膜或Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>膜；溅射热敏元件薄膜和金属电连...
常洪龙杨勇谢中建郝永存谢建兵袁广民
文献传递
一种新型MEMS射流转子陀螺
本发明公开了一种新型MEMS射流转子陀螺，属于惯性测量领域。本发明采用围绕检测腔环形一周的合成射流器交替喷出气体，使检测腔内产生气流转子。气流转子具有传统转子所具有的定轴性和进动性，当外界有角速度或加速度输入时，气流转子...
常洪龙谢中建李小卿杨勇丁继亮苑伟政
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基于间断性腐蚀法的铂热敏传感器的研制被引量：2
2012年
针对铂湿法刻蚀工艺,提出了间断性腐蚀法,并与边腐蚀边搅拌法和静止法进行了对比,结果显示该方法腐蚀铂曲线光滑、效果好。之后,以普通硅片作为衬底材料,二氧化硅作为隔热层,采用上述微机电(MEMS)工艺加工制作了铂热敏传感器。经热敏性能测试,其电阻温度系数在20℃～80℃时为1571.2×10-6/℃;同一批次电阻阻值均匀性为0.35%;非线性度为0.57%;热时间常数为1.1μs;在0.5 h的稳定性测试中其变化幅值为0.005Ω,即精度为0.01%。该热敏传感器制作工艺简单,性能优异,可用于温度敏感、气体传感等热敏传感。
杨勇常洪龙谢中建周平伟
关键词：MEMS传感器电阻温度系数
一种镍热敏薄膜电阻加工方法
本发明公开了一种镍热敏薄膜电阻加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法以普通硅片作为基片，在硅片的抛光面生长底层SiO<Sub>2</Sub>膜或Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>膜，而后依次溅射镍膜...
常洪龙杨勇谢中建孙冀川谢建兵袁广民
文献传递
一种新型MEMS离心式陀螺
本发明公开了一种新型的MEMS离心式陀螺技术，属于惯性测量领域。该陀螺的四个质量块环形均布在中心锚点7四周，且各质量块和中心锚点7均通过弹性梁6连接；相邻的各质量块之间通过两根平行的弧形解耦梁7相连；各质量块4各布有一组...
苑伟政谢中建李小卿谢建兵常洪龙
一种悬空热敏薄膜电阻的加工方法
本发明公开了一种悬空热敏薄膜电阻的加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法以普通硅片作为基片，生长底层SiO<Sub>2</Sub>膜或Si<Sub>3</Sub>N<Sub>4</Sub>膜；溅射热敏元件薄膜和金属电连...
常洪龙杨勇谢中建郝永存谢建兵袁广民
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