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袁泉

作品数：33 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 32篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 13篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 24篇谐振器
  • 13篇模态
  • 8篇射频
  • 6篇动态电阻
  • 6篇射频器件
  • 6篇谐振结构
  • 6篇锚点
  • 5篇电极
  • 5篇封装
  • 5篇RF-MEM...
  • 4篇弹性波
  • 4篇多边形
  • 4篇振动
  • 4篇频率可调
  • 4篇热弹性
  • 4篇可调
  • 4篇差分驱动
  • 3篇多频
  • 3篇多频带
  • 3篇圆片

机构

  • 33篇中国科学院
  • 1篇北京信息科技...
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 33篇袁泉
  • 33篇杨晋玲
  • 32篇杨富华
  • 6篇赵晖
  • 6篇骆伟
  • 1篇张晓青
  • 1篇赵继聪

传媒

  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 6篇2024
  • 3篇2023
  • 1篇2022
  • 11篇2021
  • 4篇2020
  • 1篇2019
  • 1篇2018
  • 3篇2016
  • 1篇2015
  • 2篇2013
共 33 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微纳射频器件及其制备方法
一种微纳射频器件及制备方法，方法包括：在SOI片上生长隔离层；图形化隔离层，以在SOI片上形成谐振单元、电极引线、信号屏蔽层及封装环；在谐振单元的侧壁生长微纳级间隔层；去除电极引线、信号屏蔽层及封装环表面的隔离层，在SO...
陈泽基杨晋玲袁泉刘文立杨富华
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阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器
本发明公开了一种阵列化的平面剪切模态射频微机电谐振器，包括：配置为工作在平面剪切模态下的谐振单元，该谐振单元的顶角处的振动幅度最大，且边缘处具有位移节点，与配置为工作在长度拉伸模态的耦合梁，共同组成阵列式谐振结构；支撑梁...
陈泽基阚枭王天昀袁泉杨晋玲杨富华
面内拉伸模态射频微机电谐振器
本公开提供了一种面内拉伸模态射频微机电谐振器，包括：谐振单元，工作于面内拉伸模态下；定义谐振单元由在面内拉伸模态下的谐振振动而产生位移量变化的边缘位置为振动部；支撑单元，包括支撑梁和基座；支撑梁包括形成复合结构的直梁和框...
刘文立杨晋玲袁泉 陈泽基杨富华
基于模态重分布的MEMS谐振器及其调节方法
本公开提供了一种基于模态重分布的MEMS谐振器，包括：衬底；支撑结构，一端固定在所述衬底上；谐振单元，设有调整装置，所述谐振单元与支撑结构的另一端相连；电极，与所述谐振单元电连接，所述电极设置在所述谐振单元的侧面、上表面...
贾倩倩杨晋玲袁泉陈泽基刘文立杨富华
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基于电化学腐蚀的MEMS谐振器频率修调方法
一种基于电化学腐蚀的MEMS谐振器频率修调方法，该方法包括将MEMS谐振器与金属电极相连后放入电解质溶液中，其中，金属电极与MEMS谐振器的谐振单元在电解质溶液中形成原电池，使谐振单元发生电化学腐蚀反应形成多孔结构，从而...
王天昀杨晋玲陈泽基贾倩倩袁泉杨富华
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基于体声波振动模态耦合的RF-MEMS谐振器
一种基于体声波振动模态耦合的RF‑MEMS谐振器，包括：工作在体声波振动模态下的环状谐振单元、工作在长度拉伸模态下，与谐振单元振动频率一致的耦合梁、可配置在单路和/或差分模式下的驱动/检测电极、电极与谐振单元之间的换能介...
王天昀陈泽基阚枭袁泉杨晋玲杨富华
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频率可调的MEMS滤波器
一种频率可调的MEMS滤波器，包括：多个谐振单元，该多个谐振单元通过振动位移节点处的支撑梁或者锚点支撑；多个耦合梁，该每一耦合梁的两端连接至相邻的谐振单元；多个电极，该多个电极位于谐振单元的周围，与谐振单元之间有一间隙。...
骆伟袁泉赵晖杨晋玲杨富华
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频率可调的MEMS谐振器
一种频率可调的MEMS谐振器，包括：一谐振单元，为圆盘形、圆环形或对称多边形结构，其中心为振动位移节点，该谐振单元由一位于位移节点处的支撑锚点支撑，该谐振单元的表面设有多个微结构；多个电极，其位于谐振单元的外围或上方，各...
骆伟赵晖袁泉杨晋玲杨富华
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多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用
一种多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用，该多梁结构组合的射频微机电系统谐振器包括机电转换梁单元，其为所述谐振器输入端和输出端的换能组件；能量传输梁，其为所述机电转换梁单元的连接结构；电极，其为施加驱动激励；介质层，...
陈泽基王天昀阚枭袁泉杨晋玲杨富华
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基于压阻检测的谐振器单元及系统
本公开提供一种基于压阻检测的谐振器单元，包括：谐振体；电极，设置于所述谐振体外围，通过机电转换介质层与所述谐振体相隔；多个压力敏感电阻，分别对称设置于所述谐振体边缘应力最大处的上表面；以及支撑梁，一端对应所述压力敏感电阻...
刘文立杨晋玲袁泉陈泽基杨富华
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