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秦岭

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团第二十四研究所更多>>
相关领域：化学工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 3篇电镀
  • 3篇电化学
  • 3篇电化学技术
  • 3篇微电子
  • 2篇电化学腐蚀
  • 2篇电子工业
  • 2篇微电子工业
  • 2篇化学镀
  • 2篇化学腐蚀
  • 1篇电镀工艺
  • 1篇金属
  • 1篇封装
  • 1篇封装技术

机构

  • 3篇中国电子科技...

作者

  • 3篇秦岭
  • 3篇罗驰

传媒

  • 2篇电镀与精饰
  • 1篇2012中国...

年份

  • 3篇2012
共 3 条 记 录，以下是 1-3
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排序方式：
电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅱ)(续完)
2012年
综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜制备工艺不具备的优势。
罗驰秦岭
关键词：电镀化学镀电化学腐蚀微电子
电化学技术在微电子工业中的应用(Ⅰ)(待续)
2012年
综述了电镀、化学镀及电化学腐蚀等电化学技术在集成电路与混合集成电路加工、传统与先进封装、微电子机械系统制作等一些微细加工领域的应用。通过综述可以看出,电化学制备金属薄膜这种传统的工艺在新的应用领域里体现出其它一些薄膜制备工艺不具备的优势。
罗驰秦岭
关键词：电镀化学镀电化学腐蚀微电子
电化学技术在微电子中的应用
电化学制备金属薄膜工艺在微电子领域的应用越来越广泛，体现出其他一些薄膜制备工艺不具备的优势。本文从电镀在半导体集成电路工艺、混合集成电路工艺制作、封装等微电子领域中的应用进行了论述。
罗驰秦岭
关键词：电化学技术微电子电镀工艺封装技术
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