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祝明伟
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南京大学
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陈延峰
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李志炜
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葛海雄
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2010
1篇
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基于纳米压印技术的自支撑透射金属光栅及制备方法
本发明涉及一种基于纳米压印技术制备的,用于深紫外线、软X射线和物质粒子衍射的高密度、自支撑透射金属光栅,金属光栅的线密度>2000条/毫米,光栅无衬底支撑,光栅金属线条间是镂空的,金属线条由足够强度、较大周期(1~40微...
袁长胜
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基于纳米压印技术的自支撑透射金属光栅制备方法
本发明涉及一种基于纳米压印技术制备的,用于深紫外线、软X射线和物质粒子衍射的高密度、自支撑透射金属光栅,金属光栅的线密度>2000条/毫米,光栅无衬底支撑,光栅金属线条间是镂空的,金属线条由足够强度、较大周期(1~40微...
袁长胜
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李志炜
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祝明伟
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