王舟
- 作品数:16 被引量:9H指数:1
- 供职机构:中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金:中国博士后科学基金国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:一般工业技术金属学及工艺机械工程理学更多>>
- 载荷对含氮类金刚石薄膜摩擦学行为的影响
- 用甲烷和氮气作为前驱气体,利用等离子体增强化学气相沉积技术在n-型硅(100)晶面上沉积了含氮类金刚石薄膜。用XPS,Raman对薄膜的成分和组成进行了表征。XPS结果显示薄膜的氮含量为6.5 at%,Raman结果显示...
- 王舟王成兵王琦张俊彦
- 文献传递
- 采用直流脉冲等离子体化学气相沉积制备的含氢非晶碳膜的应力释放行为
- 采用直流脉冲等离子化学气相沉积技术在Si(100)衬底上制备含氢非晶碳膜,制备的薄膜采用拉曼谱对结构表征,采用扫描电镜对应力释放花纹进行表征。除了众所周知的正弦型和花状等应力释放花纹,两种不同的花状花纹被观察到,一种是环...
- 王琦王舟张俊彦贺德衍
- 关键词:化学气相沉积含氢非晶碳膜拉曼谱
- 文献传递
- 含富勒烯纳米结构碳膜的制备和真空退火对薄膜结构的影响
- 实验中采用直流脉冲等离子体化学气相沉积设备在 Si(100)衬底上制备了含氢非晶碳膜, 结构上,根据以前的研究发现[Q.Wang et al.,Appl.Phys.Lett.91,141902(2007)],这种方式沉积...
- 王琦王舟张俊彦
- 文献传递
- 在不锈钢上制备薄膜的方法
- 本发明公开了一种低摩擦高承载长寿命不锈钢/类金刚石/有机薄膜复合结构涂层制备方法。本发明采用磁控溅射气相沉积技术,先在不锈钢基底上沉积一层Ti过渡层,再沉积类金刚石碳薄膜,然后用有机分子(十八烯)对其表面进行修饰。该方法...
- 张俊彦王舟宋仕永张斌
- 文献传递
- 在不锈钢上制备薄膜的方法
- 本发明公开了一种低摩擦高承载长寿命不锈钢/类金刚石/有机薄膜复合结构涂层制备方法。本发明采用磁控溅射气相沉积技术,先在不锈钢基底上沉积一层Ti过渡层,再沉积类金刚石碳薄膜,然后用有机分子(十八烯)对其表面进行修饰。该方法...
- 张俊彦王舟宋仕永张斌
- 载荷对类富勒烯基氢化非晶碳薄膜摩擦磨损性能的影响被引量:1
- 2012年
- 系统研究了载荷对类富勒烯基氢化非晶碳薄膜(fullerene-like hydrogenated amorphous carbon film,FL–C:H)摩擦磨损性能的影响。研究结果表明,随着载荷的增加,FL–C:H薄膜的摩擦因数和磨损率都不断减小。利用Hertz弹性接触理论计算了薄膜摩擦过程中实际接触面积的变化。随着载荷的增加,实际接触面积增大,但是接触面积的增速比载荷的增速慢,即接触面积和载荷的比值随着载荷的增大而减少,这是FL–C:H薄膜摩擦因数降低的一个主要原因。此外,摩擦界面处低剪切力氢化碳转移膜的形成是FL–C:H薄膜具有低摩擦的另一个主要原因。
- 王成兵王舟张俊彦
- 关键词:磨损摩擦化学
- 磁控溅射制备类金刚石薄膜的内应力研究
- 采用磁控溅射方法在硅基底上生长了类金刚石薄膜,所制得的薄膜和基底结合力良好。薄膜的结构用 Raman 和 XPS 进行表征,结果表明薄膜具有典型的类金刚石薄膜的特征。其内应力用常用的 stonely 方法进行了测量。结果...
- 王舟王成兵王琦张俊彦
- 文献传递
- 不同基底偏压对非晶碳薄膜摩擦学性能的影响
- 本文在不同的基低偏压下,采用直流溅射石墨靶的方法制备了非晶碳薄膜。结果显示,随着基底偏压的升高,薄膜中的sp2石墨片状结构含量增加,同时变得更加有序;当基低偏压进一步升高时,薄膜中的sp2相呈下降趋势。摩擦学测试表明,随...
- 王舟王琦张俊彦
- 关键词:摩擦学性能
- 文献传递
- 不同基底偏压对非晶碳薄膜摩擦学性能的影响
- 本文在不同的基低偏压下,采用直流溅射石墨靶的方法制备了非晶碳薄膜。结果显示,随着基底偏压的升高,薄膜中的sp石墨片状结构含量增加,同时变得更加有序;当基低偏压进一步升高时,薄膜中的sp相呈下降趋势。摩擦学测试表明,随着基...
- 王舟王琦张俊彦
- 关键词:溅射
- 文献传递
- 掺氮类金刚石薄膜的摩擦学行为研究
- 本文用脉冲等离子体增强化学气相沉积方法,以甲烷和氮气作反应气源,在n-型硅(100)表面上沉积含氮的类金刚石薄膜。薄膜的组成和结构用X光子能谱和红外光谱进行了表征。薄膜的摩擦学特性在UMT往复摩擦机上进行了评价。结果表明...
- 王舟王成兵王琦张俊彦
- 关键词:类金刚石薄膜摩擦学行为化学气相沉积氮含量
- 文献传递