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王翠芝

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院测控与信息技术系更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇输出数据
  • 1篇漂移
  • 1篇漂移补偿
  • 1篇微传感器
  • 1篇力传感器
  • 1篇硅微传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇王翠芝
  • 1篇周浩敏

传媒

  • 1篇第十六届全国...

年份

  • 1篇2006
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排序方式：
硅谐振式压力微传感器输出特性的实验研究
硅谐振式压力微传感器是二十一世纪的一项关键技术.具有易于与计算机接口,便于微细加工和集成等优点.但是传感器结构受到工艺条件的制约,其性能受各种因素影响较大,输出数据漂移问题仍然存在,在目前条件下,需要研究采取一些相关的技...
王翠芝周浩敏
关键词：硅微传感器压力传感器输出数据漂移补偿
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