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王俊
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
南京航空航天大学
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发文基金:
江苏省自然科学基金
中央级公益性科研院所基本科研业务费专项
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相关领域:
金属学及工艺
化学工程
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合作作者
朱永伟
南京航空航天大学
李军
南京航空航天大学
叶剑锋
南京航空航天大学
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朱永伟
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1篇
金刚石与磨料...
年份
1篇
2010
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固结磨料抛光垫的凸起图案对其加工性能的影响
被引量:5
2010年
抛光垫是化学机械抛光中的重要组成部分,其磨损均匀性能是影响加工后工件平面度的重要因素。本文比较了具有优化凸起图案的固结磨料抛光垫、凸起均布的固结磨料抛光垫和聚氨酯抛光垫的研磨抛光性能,结果表明:利用优化凸起图案的固结磨料抛光垫加工,可以得到更加优异且稳定的表面质量,材料去除效率远高于聚氨脂抛光垫游离磨料的加工方式。
叶剑锋
朱永伟
王俊
钱阮富
李军
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