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王俊

作品数:1 被引量:5H指数:1
供职机构:南京航空航天大学更多>>
发文基金:江苏省自然科学基金中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
相关领域:金属学及工艺化学工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇金属学及工艺

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇王俊
  • 1篇叶剑锋
  • 1篇李军
  • 1篇朱永伟

传媒

  • 1篇金刚石与磨料...

年份

  • 1篇2010
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
固结磨料抛光垫的凸起图案对其加工性能的影响被引量:5
2010年
抛光垫是化学机械抛光中的重要组成部分,其磨损均匀性能是影响加工后工件平面度的重要因素。本文比较了具有优化凸起图案的固结磨料抛光垫、凸起均布的固结磨料抛光垫和聚氨酯抛光垫的研磨抛光性能,结果表明:利用优化凸起图案的固结磨料抛光垫加工,可以得到更加优异且稳定的表面质量,材料去除效率远高于聚氨脂抛光垫游离磨料的加工方式。
叶剑锋朱永伟王俊钱阮富李军
共1页<1>
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