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武伟
作品数:
84
被引量:14
H指数:2
供职机构:
北京工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
金属学及工艺
理学
电子电信
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合作作者
秦飞
北京工业大学机械工程与应用电子...
安彤
北京工业大学机械工程与应用电子...
刘程艳
北京工业大学
夏国峰
北京工业大学
朱文辉
北京工业大学
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纳米压痕法确定TSV-Cu的应力-应变关系
被引量:4
2014年
为得到硅通孔电镀填充铜(TSV-Cu)的力学性能,对TSV-Cu进行了Berkovich纳米压痕实验.基于Oliver-Pharr算法和连续刚度法确定TSV-Cu的弹性模量和硬度分别为155.47 GPa和2.47 GPa;采用有限元数值模拟对纳米压痕加载过程进行反演分析,通过对比最大模拟载荷与最大实验载荷,确定TSV-Cu的特征应力和特征应变;由量纲函数确定的应变强化指数为0.4892;将上述实验结果代入幂强化模型中,确定TSV-Cu的屈服强度为47.91 MPa.最终确定了TSV-Cu的幂函数型弹塑性应力-应变关系.
秦飞
项敏
武伟
关键词:
纳米压痕
弹性模量
屈服强度
一种先进四边扁平无引脚封装及制造方法
本发明公开了一种先进四边扁平无引脚封装及制造方法。本先进四边扁平无引脚封装包括芯片载体,引脚,金属材料层,IC芯片,绝缘填充材料,粘贴材料,金属导线和塑封材料。芯片载体具有凹槽结构和用于接地的引脚,多个引脚在封装件结构中...
秦飞
夏国峰
安彤
武伟
刘程艳
朱文辉
一种再布线热增强型AAQFN封装器件
本实用新型公开了一种再布线热增强型AAQFN封装器件。在再布线热增强型AAQFN封装器件中,IC芯片通过焊接材料倒装焊接在第一金属材料层上,通过将IC芯片背面裸露在外部环境中或者在IC芯片上方配置散热片以提升封装器件的散...
秦飞
夏国峰
安彤
刘程艳
武伟
朱文辉
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一种再布线FCQFN封装器件
本实用新型公开了一种再布线FCQFN封装器件。该器件包括:芯片载体配置于封装器件的中央部位;多个引脚配置于芯片载体四周,围绕芯片载体呈多圈排列;绝缘填充材料配置于芯片载体与引脚之间,以及引脚与引脚之间;第一金属材料层通过...
秦飞
夏国峰
安彤
刘程艳
武伟
朱文辉
文献传递
一种CMOS图像传感器封装结构及其制造方法
一种CMOS图像传感器封装结构及其制造方法,属传感器领域。光学交互区位于硅衬底正面第一表面的中央,在光学交互区的上方形成有金属互连层,微镜头阵列放置在金属互联层上方,金属互联层外侧有第一保护层;在第一表面制作未穿透硅衬底...
秦飞
武伟
安彤
刘程艳
陈思
夏国峰
朱文辉
文献传递
一种半导体封装中封装系统结构
本实用新型公开了一种半导体封装中封装系统结构。本半导体封装中封装系统结构包括引线框架、第一金属材料层、第二金属材料层、具有凸点的IC芯片、引线键合的IC芯片、绝缘填充材料、粘贴材料和塑封材料。引线框架包括芯片载体和多个围...
秦飞
夏国峰
安彤
刘程艳
武伟
朱文辉
文献传递
三维芯片集成技术中硅通孔(TSV)的力学行为与结构完整性研究
随着半导体技术的发展,传统的平面2D互连面临越来越严峻的挑战,新型三维3D集成逐渐成为关注的热点,而硅通孔(Through-Sclicon Via,TSV)技术由于具备更出色的电性能、更高的封装密度等诸多优点,被认为是3...
武伟
关键词:
纳米压痕
一种再布线QFN封装器件
本实用新型公开了一种再布线QFN封装器件。该器件包括:芯片载体配置于封装器件的中央部位;多个引脚配置于芯片载体四周,围绕芯片载体呈多圈排列;绝缘填充材料配置于芯片载体与引脚之间,以及引脚与引脚之间;IC芯片通过粘贴材料配...
秦飞
夏国峰
安彤
刘程艳
武伟
朱文辉
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晶圆级含硅通孔的半导体封装方法
本发明公开了一种晶圆级含硅通孔的半导体封装方法,属于半导体封装领域。封装方法主要包含以下步骤:1,在盖板正面上制作有空腔结构;2,将盖板正面通过键合机同晶圆正面进行键合;3,通过研磨机对晶圆背面进行研磨,并进行去应力等离...
秦飞
武伟
安彤
肖智轶
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一种面阵引脚排列四边扁平无引脚封装及制造方法
本发明公开了一种面阵引脚排列四边扁平无引脚封装及制造方法。本封装包括芯片载体,引脚,金属材料层,IC芯片,绝缘填充材料,粘贴材料,金属导线和塑封材料。芯片载体具有凹槽结构和用于接地的引脚,多个引脚在封装件结构中呈面阵排列...
秦飞
夏国峰
安彤
武伟
刘程艳
朱文辉
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