李加东
- 作品数：73 被引量：35H指数：3
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>
- 拉线式微型扑翼飞行器性能测试装置
- 本实用新型公开了一种拉线式微型扑翼飞行器性能测试装置，包括：机架；第一滑轮和第二滑轮，分别安装于机架上；转动调节机构，安装于机架上且位于第一滑轮和第二滑轮之间；飞行器固定架，用于安装飞行器且位于转动调节机构下方；连接线，...
- 李加东李豪胡益民佟忠浩刘荣帅成琰
- 文献传递
- 仿生扑翼飞行器
- 本发明公开了一种仿生扑翼飞行器。该仿生扑翼飞行器包括机身、翼翅、扑动机构、伸缩机构、动力源。翼翅可转动地安装于机身的两侧，扑动机构安装于机身且与翼翅传动连接，扑动机构用于带动翼翅进行扑动，伸缩机构安装于机身且与翼翅传动连...
- 刘荣帅李加东胡益民郭亚飞王孟硕刘坤李人澍刘昕昊
- 用于多目标光谱仪的微镜阵列关键制作工艺技术研究
- 微镜是典型的微光机电系统器件之一，在显示器、医疗检查、光纤通信、空间光通信、航空航天、地理勘测等领域具有广阔的应用前景。本论文从满足微型多目标光谱仪对目标选择装置的需求及完善本所MEMS制作工艺体系、降低表面工艺制作成本...
- 李加东
- 同频异构的压电超声波换能器及其制备方法
- 本发明公开了一种同频异构的压电超声波换能器及其制备方法。所述同频异构的压电超声波换能器包括：形成于同一衬底上的用于发射超声波的第一PMUT单元及用于接收超声波的第二PMUT单元；其中，所述第一PMUT单元和所述第二PMU...
- 张玉超李加东苗斌周红宇王光华张士钦
- 基于ScAlN薄膜的高频PMUT阵列的设计与制造
- 2024年
- 高频压电微机械超声换能器(PMUT)应用于各种场景,如指纹识别、无损检测、医疗成像。在当前非侵入式血管成像应用中,存在换能器使用锆钛酸铅压电陶瓷(PZT)及局限于1-D PMUT阵列的问题。设计并制作了一种基于ScAlN材料压电薄膜的2D-PMUT阵列。为了进一步得到阵列最佳的输出性能,降低栅瓣影响,设计了间距为波长的1/2(300μm)的并联六边形阵列,增大了填充因子,降低了阻抗,提高了输出电流。采用SOI晶片作为PMUT的基本结构,设计了微机电系统(MEMS)工艺流程,并完成了晶片制作。通过扫描电子显微镜和聚焦离子束切割确定PMUT的形貌和结构尺寸,并且测得在水中的谐振频率为2.36 MHz。仿真与测试结果表明,测试误差为9.2%,位移灵敏度较好,有望满足非侵入式血管成像应用需求。
- 塔桂峰刘建河李加东李加东刘浩杰苗斌刘浩杰苗斌
- 关键词：有限元仿真
- 基于PZT薄膜的高频压电式微机械超声换能器的仿真与制备
- 2023年
- 压电式微机械超声换能器(PMUT)是当前生物医学超声成像领域的研究热点.锆钛酸铅(PbZrO_(3)-PbTiO_(3),PZT)压电薄膜是近年来微机械超声换能器使用的核心压电材料.基于PZT压电薄膜,使用有限元软件COMSOL Multiphysics创建了三维有限元仿真模型,并在(0,1)模态下研究了压电薄膜结构的几何参数,其谐振频率达到222.12 MHz,有效机电耦合系数(keff)为5.13%.采用光刻和刻蚀方法制备了PZT压电薄膜的PMUT单元原型器件.该器件的空腔结构完整,谐振频率在(0,1)模态下为25.87 MHz,仿真与测试结果相似,振动模态较纯,振动位移性能较好.研究结果表明:采用PZT压电薄膜的PMUT在高分辨率、高频医学超声成像中具有较好的应用前景.
- 刘亚琦陈明珠张巧珍赵祥永王巨杉唐艳学王飞飞王书豪汪尧进苗斌李加东
- 关键词：高频
- 基于MEMS超声换能器的超声内窥镜及其制备方法
- 本发明提供一种基于MEMS超声换能器的超声内窥镜及其制备方法，超声内窥镜包括超声换能器，所述超声换能器包括多面体和微机械压电超声换能器阵列，所述微机械压电超声换能器阵列设置于所述多面体的侧壁上。本发明不仅可以在微机械压电...
- 苗斌李加东商文玲王丹芮王光华张玉超
- PMUT阵列超声换能器
- 本发明公开了一种PMUT阵列超声换能器，其包括：PCB衬底和多个相互独立的PMUT阵元，所述PCB衬底上设有多个阵列排布的贴片区域，所述PMUT阵元可拆卸地接合于所述贴片区域，且所述PMUT阵元与所述贴片区域一一对应。本...
- 商文玲李加东苗斌王丹芮姚术涛塔桂峰刘浩杰
- 结构应力耦合的微悬臂阵列被引量：1
- 2014年
- 微悬臂器件被广泛应用于力学显微镜和光力学研究中,实现微悬臂之间的耦合在高精密测量和量子声子网络构建方面具有重要的应用前景。不同于通过电、磁相互作用实现微纳共振器之间耦合的方法,设计并制备了通过结构应力实现耦合的微悬臂阵列。模拟和实验结果表明,这种结构应力耦合微悬臂阵列不仅可以获得较大的耦合强度和较高的力学性能,同时悬臂之间的耦合强度也容易控制。对于其它形式的微纳共振器,同样可以利用结构应力耦合这种方法来实现共振器之间耦合的阵列。
- 毛添华李加东付号丁江放曹更玉
- 关键词：有限元分析激光干涉测量
- 压电微机械超声换能器封装结构
- 本发明公开了一种压电微机械超声换能器封装结构，包括基板以及PMUT芯片。所述基板上凹设形成有凹陷区，所述凹陷区包括在所述基板厚度方向上呈阶梯状分布第一凹陷区以及第二凹陷区，所述凹陷区中部形成有在所述基板厚度方向贯穿所述基...
- 张士钦李加东苗斌胡益民商文玲王光华
