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曾荣耀

作品数：5 被引量：2H指数：1
供职机构：中山大学物理科学与工程技术学院光电材料与技术国家重点实验室更多>>
发文基金：广东省教育部产学研结合项目更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 3篇机械工程

主题

  • 3篇微机电系统
  • 3篇机电系统
  • 3篇电系统
  • 2篇电压放大
  • 2篇电压放大器
  • 2篇原子尺度
  • 2篇扫描隧道显微...
  • 2篇扫描头
  • 2篇相位
  • 2篇相位检测
  • 2篇相位检测器
  • 2篇机械特性
  • 2篇放大器
  • 2篇测量方法
  • 1篇原子力显微镜
  • 1篇扫描探针显微...
  • 1篇湿法刻蚀
  • 1篇刻蚀
  • 1篇MEMS技术

机构

  • 5篇中山大学
  • 2篇广州大学

作者

  • 5篇曾荣耀
  • 4篇丁喜冬
  • 2篇张进修
  • 2篇傅刚
  • 1篇陈环
  • 1篇郑显义
  • 1篇刘志宇

传媒

  • 2篇半导体技术

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2010
  • 1篇2009
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于扫描探针显微镜的微区机械特性测量技术研究
随着纳米技术的迅速发展，扫描探针显微镜(SPM)相关技术及其应用已经成为纳米科技的一个重要发展方向。扫描探针显微镜不但可用于微观形貌观察，还可以得到材料的电学、磁学和机械特性等微观信息。为此，发展出了一系列的扫描探针显微...
曾荣耀
关键词：扫描探针显微镜微机电系统
文献传递
基于原子力显微镜的微桥机械特性测量
2012年
研究了基于原子力显微镜(AFM)的微桥机械特性的测量方法。通过微机电系统(MEMS)技术制备了可用静电力驱动进行机械振动的金属微桥。利用一套改进的商用AFM实验装置对测量方法进行了优化,并对微桥的共振频率进行了测量,所得实验结果与理论估算和仿真计算的结果基本一致。基于AFM的微桥机械特性的测量具有精度高和容易实现的特点,可作为测量平台扩展用于薄膜材料或微量液体的内耗、粘弹等性质的表征。
郑显义陈环傅刚曾荣耀丁喜冬
关键词：原子力显微镜微机电系统机械特性
基于MEMS技术的微桥制备与共振频率测量被引量：2
2010年
基于扫描探针显微镜(SPM)微机械性能测试的需求,设计了一种可用电容力驱动微桥面振动的新型微桥。通过实验选材和单晶Si的刻蚀研究,提出了一种新的正面刻蚀成桥方法,获得了一种基于湿法刻蚀的低成本、易加工的实用微桥加工技术。利用SEM和AFM观察了微桥,证实微桥已制备成功且微桥桥面形貌比较平整。最后用改进的扫描隧道显微镜(STM)测量了微桥振动的频率响应,测得的共振频率与理论估算值基本一致。
曾荣耀丁喜冬刘志宇傅刚
关键词：微机电系统湿法刻蚀
一种振动样品的扫描隧道显微镜及其测量方法
本发明提供了一种振动样品的扫描隧道显微镜及其测量方法，包括扫描头(1)、前置放大器(2)、扫描隧道显微镜控制器(4)，所述扫描头(1)设有探针(1-1)，前置放大器(2)设置有电流/电压转换器(2-1)、低通电压放大器(...
丁喜冬张进修曾荣耀
文献传递
一种振动样品的扫描隧道显微镜及其测量方法
本发明提供了一种振动样品的扫描隧道显微镜及其测量方法，包括扫描头(1)、前置放大器(2)、扫描隧道显微镜控制器(4)，所述扫描头(1)设有探针(1－1)，前置放大器(2)设置有电流/电压转换器(2－1)、低通电压放大器(...
丁喜冬张进修曾荣耀
文献传递
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