刘小强
- 作品数：7 被引量：25H指数：2
- 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺机械工程理学更多>>
- 具有纳米结构的超润滑非晶碳薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种具有纳米结构的超润滑非晶碳薄膜的制备方法。采用射频磁控溅射物理气相沉积技术制备的薄膜，在高真空环境下具有超润滑性能的硅、铝共掺杂的含氢非晶碳薄膜，该种薄膜具有纳米网络状及类富勒烯复合的纳米结构，具有极为优...
- 郝俊英刘小强
- 文献传递
- 硅-铝共掺杂类聚合物非晶碳薄膜光谱研究
- 通过射频磁控溅射在单晶硅表面沉积了Si-Al共掺杂的,由聚合物网状与类富勒烯共同构成的双重纳米结构类聚合物非晶碳薄膜(PL-C∶H).利用拉曼及红外光谱对薄膜进行了化学键结构方面的表征.拉曼光谱结果表明：薄膜具有较强的荧...
- 刘小强郝俊英刘维民林修洲
- 中频磁控溅射制备a-C∶H(Al,W)薄膜及其性能研究被引量：2
- 2013年
- 采用中频磁控溅射技术，以w、Al复合靶（面积比为1：1）为靶材，在氩气和甲烷混合气体中于iq（100）型单晶硅表面沉积了一系列Al、w共掺杂含氢非晶碳[a-c：H（Al，w）]薄膜．分析了不同甲烷流量对薄膜成分、结构和表面形貌的影响，并表征了薄膜的力学性能和摩擦磨损行为．结果表明：随着甲烷流量的增加，薄膜中C含量呈上升趋势，而w和Al含量均呈现递减趋势，过高流量的CH。会导致金属靶材中毒．薄膜中的sp^2C和sp^3c含量受w、Al以及H注入效应的共同影响．所制备的薄膜表面均较为平滑，表面粗糙度（RMS）在0．39～0．48nm范围内．薄膜的纳米硬度（日）在9．98-11．37GPa之间，弹性模量（E）介于71～93．36GPa之间，弹性恢复系数均在70％以上．当薄膜中w和Al的原子百分含量分别为3．74％和2．37％时，H／E值和H^3／E^3值分别为0．141和0．198，且此时薄膜在大气环境下表现出较好的减摩抗磨性能．薄膜具有适度的sp^3C／sp^2c比值、优异的弹性形变性能、摩擦过程中对偶球表面形成连续而致密的转移层等因素是薄膜具有良好摩擦学性能的重要原因．
- 龚秋雨郝俊英刘小强刘维民
- 关键词：中频磁控溅射A-C
- 超低摩擦硅铝二元掺杂非晶碳薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种利用射频磁控溅射物理气相沉积技术来制备硅铝二元掺杂非晶碳薄膜的方法。超低摩擦硅铝二元掺杂非晶碳薄膜具有9-15GPa的纳米硬度，优异的摩擦学性能，最低摩擦系数达到0.0083，持续处于超低摩擦系数的往复次...
- 郝俊英刘小强
- 文献传递
- 固体-油脂复合润滑Ⅱ:类金刚石(DLC)薄膜在几种空间用油脂润滑下的摩擦学性能被引量：17
- 2010年
- 本文主要探讨了类金刚石（Diamond-like carbon,简称DLC）薄膜在几种空间常用的液体润滑剂如甲基氯苯基硅油（114#润滑油）、氟丙基氯苯基硅油（115#润滑油）、聚α-烯烃[PAO（201）润滑油]、全氟聚醚（Z-25润滑油）以及对应润滑脂KK-4、KK-5、KK-P（201）和601EF润滑下的摩擦学性能.结果表明：DLC薄膜与试验选用的油脂复合后表现出良好的协同效应.与DLC薄膜相比,其减摩性能得到不同程度的改善,摩擦系数降低2~6倍;其耐磨寿命提高了10多倍,起到了明显的延寿作用.
- 郝俊英王鹏刘小强刘维民
- 关键词：DLC薄膜边界润滑
- 直流磁控溅射制备TiAlCN薄膜及其性能研究被引量：7
- 2013年
- 采用直流磁控溅射技术制备TiAlCN薄膜,研究了直流电流对TiAlCN薄膜的薄膜成分、微观结构、机械性能和摩擦性能的影响.研究表明:随着直流电流的增加,薄膜中C元素含量逐渐降低;薄膜中无定形碳含量减少,而(Ti,Al)CxN1-x晶粒增加.另外,在低于3.0 A直流电流范围内薄膜的表面粗糙度无明显变化,而当直流电流高于3.0 A时,薄膜的表面粗糙度随直流电流的增加而显著上升.随着直流电流的增大,薄膜的硬度先增加后降低,而薄膜的摩擦系数则先降低后升高.在直流电流为3.5 A时,薄膜的硬度和摩擦系数分别约为22.2 GPa和0.16.
- 郑建云郝俊英刘小强龚秋雨刘维民
- 关键词：直流磁控溅射微观结构
- 超低摩擦硅铝二元掺杂非晶碳薄膜的制备方法
- 本发明公开了一种利用射频磁控溅射物理气相沉积技术来制备硅铝二元掺杂非晶碳薄膜的方法。超低摩擦硅铝二元掺杂非晶碳薄膜具有9-15GPa的纳米硬度，优异的摩擦学性能，最低摩擦系数达到0.0083，持续处于超低摩擦系数的往复次...
- 郝俊英刘小强
- 文献传递
