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何云爽
作品数:
2
被引量:2
H指数:1
供职机构:
东南大学微电子中心
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相关领域:
机械工程
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合作作者
刘新宁
东南大学微电子中心
刘岩海
东南大学微电子中心
丁辛芳
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功能材料与器...
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2001
1篇
2000
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一种用于FIA系统的微型泵
被引量:2
2001年
介绍了一种 FIA( Flow Injection Analysis-流动注入分析)系统中的部件-微型振膜泵。 该微型泵体采用无阀式的扩散管 /喷嘴结构,由电磁-机械方式驱动振膜的振动,用干电池作电源。 实验数据表明,该泵可在 0~ 1.5ml/min(液体)流量范围内工作稳定,并具有结构简单、流量易于控 制以及利于批量生产成本低廉等优点,有很好的应用前景。
丁辛芳
刘岩海
刘新宁
何云爽
关键词:
微型泵
MEMS
硅微型泵的研制
该文首先介绍了微机械加工的微型泵的研制过程,探讨了微型泵的多种结构,分析了阀门式和无阀式微型泵的结构和工作原理,对扩散管/喷嘴结构流体输运理论进行了必要的分析和理论推导,阐明了这种无阀式结构的可行性.其次在比较了微型泵的...
何云爽
关键词:
压电陶瓷
微型泵
正弦波
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