北京北仪创新真空技术有限责任公司
- 作品数：108 被引量：93H指数：4
- 相关作者：董欣刘敏强陈素君杨静安其更多>>
- 相关机构：沈阳真空技术研究所清华大学西南交通大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金国家科技支撑计划上海市引进技术的吸收与创新计划项目更多>>
- 相关领域：一般工业技术艺术机械工程电子电信更多>>
- 真空室内差动式基片升降机构
- 本实用新型公开了一种真空室内差动式基片升降机构，包括波纹管组件，波纹管组件的上部固定在真空室的上法兰上，波纹管组件的下端连接有基片架，波纹管组件的上部与下部之间设有导向柱；波纹管组件的轴心部位设有差动螺杆，差动螺杆的上部...
- 刘洁雅
- 文献传递
- 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分：总体要求
- GB/T4034的本部分规定了三种体积流率测量方法，并分别规定了测量真空泵基础压力、压缩比和临界前级压力的方法。测量体积流率的第一种方法（流量法）是一种基础方法：向真空泵内注入稳定流量的气体，同时测量泵的入口压力。在实际...
- 钟云会罗根松杨华飞高逊懿许涛徐法俭黄志婷周法顺陈海垚言继春王功发林乐忠张胜姜云锋侯荣华王红雪赵伟胜赵计春钱天景陈修明雷春栋王玲玲
- 基于可靠性分析的真空镀膜机控制系统研究被引量：1
- 2009年
- 通过对真空镀膜机的故障树分析,找出影响整个系统的薄弱环节,为控制系统可靠性设计提供参考。结合镀膜工艺流程,对控制系统软、硬件进行了论证分析和相应的设计,实现了以PLC为核心的真空镀膜机控制系统。该控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能,最终生产实践证实了该系统的可行性和可靠性,满足了工艺要求。
- 丁雪成吴丽颖冯震宇张鸿年
- 关键词：真空镀膜机可靠性故障树分析法PLC
- 真空镀膜用“U”形真空室
- 本实用新型提供了一种新型真空镀膜用“U”形真空室，所述“U”形真空室包括一底板以及位于底板两侧的侧板，其特征在于：所述真空室底板及侧板之间为无缝“U”形结构。本实用新型具有结构简单、节省材料、安全性能高的特点。
- 张迎春刘洁雅李佳袁青春
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- 聚酯振膜镀膜用磁控溅射设备
- 2011年
- 本文介绍了一种在PET材料上镀制Ni膜的磁控溅射镀膜设备的结构及特点,解决了PET材料无法在高温环境中镀膜的问题。具有操作方便、成本低、生产效率高、膜层质量好及膜层制备可重复性好等特点。在实际生产中取得了良好的效果,有广阔的应用前景。
- 安其
- 关键词：PET磁控溅射
- 真空技术.复合分子泵
- 本标准规定了复合分子泵的型式和基本参数，技术要求，测试方法，检验规则，标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵、变频电源的复合分子泵（以下简称泵）。
- 关键词：分子分子泵真空真空技术
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- 分子泵钣金定片
- 本实用新型公开了一种分子泵钣金定片，该定片为不锈钢钣金整体冲压结构，包括圆环状支撑框架，圆环状支撑框架上设有多个叶片，叶片可以为扭转式结构或斜口式结构。结构简单，支撑框架和叶片可以采用冲压模具生产，制造工艺简单、成本低、...
- 董欣郁晋军于天化
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- 用于真空镀膜设备的真空阀
- 本实用新型公开一种用于真空镀膜设备的真空阀，属真空镀膜设备的控制阀领域。该真空阀包括：阀体、气缸和阀盖；阀体内为中空结构，阀体上设有真空容器连接口、低真空泵连接口和高真空泵连接口，真空容器连接口经阀体内与低真空泵连接口、...
- 王燕侯荣华
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- 新型真空室门结构
- 本实用新型提供一种多旋转轴真空室门结构，包括门体和真空室门框，所述门体和门框的结合处设置有连续的密封件，其特征在于：所述门结构还包括一个或一组摆臂装置，所述门体和门框分别通过两个或两组旋转结构与所述摆臂装置相连接，所述两...
- 张迎春刘洁雅袁青春李佳
- 文献传递
- 钛合金机械手的制造工艺分析
- 2013年
- 钛合金是一种难加工材料,文中以钛合金机械手为例,对其结构工艺性进行分析,制定了一套经济合理的机械加工工艺,并详细阐述了机械手的加工工艺过程,使该零件顺利产成。
- 马先磊
- 关键词：钛合金机械手
