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杭州左蓝微电子技术有限公司
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132
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中国电子科技集团第二十六研究所
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2020
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2019
12篇
2018
12篇
2017
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薄膜体声波谐振器的制备方法
本发明公开了薄膜体声波谐振器的制备方法,属于微电子制造技术领域,制备方法具体包括以下步骤:S100提供基板,在基板的加工面上刻蚀出凹腔;S200在基板的加工面上依次覆盖保护层和牺牲层;S300在保护层和牺牲层上刻蚀出凹槽...
张树民
其他发明人请求不公开姓名
滤波器
本实用新型提供一种滤波器,该滤波器包括级联的若干个谐振器,其中,各谐振器均包括:基板,该基板的承载面上设置有第一凹槽;设置在承载面上的支撑层;压电堆叠结构,该结构设置在支撑层背离第一凹槽的一侧并与第一凹槽对应;其中,支撑...
张树民
王国浩
汪泉
陈海龙
郑根林
其他发明人请求不公开姓名
文献传递
一种叉指换能器
本发明提供一种叉指换能器,包括:压电基板;设置在压电基板上的第一汇流电极;设置在压电基板上的第二汇流电极,且与所述第一汇流电极相对间隔设置;呈周期设置的多个第一叉指电极,该叉指电极自第一汇流电极向第二汇流电极的方向延伸;...
张树民
王国浩
汪泉
其他发明人请求不公开姓名
一种基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器
本实用新型提供了一种基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器,所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构;在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组,各组反射层组...
张树民
王国浩
刘建生
汪泉
文献传递
可抑制横向模式的声表面波谐振器及其制造方法
本发明公开了可抑制横向模式的声表面波谐振器,包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器,所述叉指换能器的中心区域和两侧汇流区域之间的至少部分区域分别覆盖有第一温度补偿层,所述叉指换能器在两侧的所述第一温度补偿层外...
郑根林
张树民
文献传递
一种TC-SAW谐振器
本发明公开了一种TC‑SAW谐振器,包括:压电基板,压电基板包括沿第一方向依次排布的第一间隔区、覆盖区和第二间隔区;电极层,设置在压电基板表面,电极层包括第一汇流条、第二汇流条、与第一汇流条连接的多个第一电极条、以及与第...
请求不公布姓名
薄膜体声波谐振器、滤波器及其制备方法
本发明提供一种薄膜体声波谐振器、滤波器及其制备方法,属于电子制造技术领域,其可至少部分解决现有的谐振滤波器在功率承受能力上存在一定的限制——当输入功率增大时,器件散热受限,导致器件温度升高,引起器件频率出现漂移以及产生非...
张树民
王国浩
汪泉
陈海龙
郑根林
其他发明人请求不公开姓名
一种适用射频前端模组载波聚合电路
本发明公开了一种适用射频前端模组载波聚合电路,解决了现有技术的不足,包括射频开关和若干个声表面滤波器,射频开关的输出端和声表面滤波器输入端之间设置有LC电路,LC电路中的电感L并联在射频开关与声表面滤波器之间,LC电路中...
张树民
王国浩
吴延浪
王晓龙
声表面波器件
本发明提出一种声表面波器件,所述声表面波器件包括基底、第一压电薄膜、第二压电薄膜、第一叉指电极、第二叉指电极、多个第一反射器和多个第二反射器,所述基底具有上表面和下表面,所述第一压电薄膜设在所述上表面上,所述第二压电薄膜...
张树民
文献传递
声表面波谐振器及其制造方法
本发明公开了声表面波谐振器,包括压电基板以及位于所述压电基板表面上的叉指换能器,所述压电基板上具有凹陷部并设有用于填充所述凹陷部的减速层,所述减速层与所述叉指换能器的电极接触以降低在接触位置所在区域的声速;所述接触位置在...
郑根林
张树民
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