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四川洪芯微科技有限公司
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60
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相关机构:
电子科技大学
四川蓝彩电子科技有限公司
四川绿然电子科技有限公司
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相关领域:
自动化与计算机技术
电气工程
金属学及工艺
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电子科技大学
四川蓝彩电子科技有限公司
四川绿然电子科技有限公司
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四川矽芯微科...
1篇
四川晶辉半导...
1篇
广东成利泰科...
作者
3篇
赵建明
年份
5篇
2023
7篇
2022
13篇
2021
3篇
2020
11篇
2019
5篇
2018
7篇
2017
7篇
2016
2篇
2015
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一种晶圆正面涂源装置
一种晶圆正面涂源装置,包括支撑架、转动机构、顶升机构、防护罩,矫正机构及刮涂机构;转动机构,其设于支撑架上,包括转动构件和固定构件,转动构件用于驱动固定构件进行转动,固定构件用于晶圆的放置固定;顶升机构设于转动机构上;防...
李学良
马晓洁
敬毅
谢雷
罗艳
文献传递
一种芯片用晶圆盘磨圆装置
一种芯片用晶圆盘磨圆装置,包括:控制柜,包括柜体,柜体设有下端设有一对调节组件,调节组件用于柜体下端的支撑以及平衡度的调节;转移组件,设于控制柜的一端,包括横移机构,横移机构设有前推机构,前推机构设有升降机构,升降机构设...
李健儿
李学良
冯永
马晓洁
唐毅
敬毅
谢雷
文献传递
高可靠性玻璃钝化半导体设备
一种高可靠性半导体设备,在终止于表面的PN结设有硅酸盐,如PbO‑(氧化铅‑)或ZnO‑(氧化锌‑)铝硅酸盐玻璃钝化层。为了减弱半导体设备在高反向偏置和高温应力条件下的暂时的电特性的退化,所述玻璃钝化层包含掺杂Cs的玻璃...
李学良
西里奥·艾·珀里亚科夫
一种晶圆片沟槽腐蚀装置
一种晶圆片沟槽腐蚀装置,设于两个传送带之间,包括:工作台、转移机构、夹持机构、推动机构。工作台两端设有用于放置晶圆架的凹部,还设有位于两个凹部之间的腐蚀池和清洗池;转移机构包括两个沿工作台长度方向设置且对称布置的轨道和转...
郭凯
冯田田
唐毅
敬毅
谢雷
芯片晶粒挑选装置
本实用新型公开了一种芯片晶粒挑选装置,包括机架、用于传输晶圆用的传送带以及用于挑选带有磁粉墨点的晶粒的筛选机构,所述筛选机构包括设置于传送带一侧的转轴,所述转轴上连接有驱动装置,所述转轴上端设置有多个支撑板,每个所述支撑...
李学良
刘宁
马晓洁
王利益
唐毅
蒋红全
敬毅
罗艳
刘杭
文献传递
一种半导体晶圆表面处理装置
一种半导体晶圆表面处理装置,包括:主框架、输送机构以及表面处理机构。输送机构用于输送晶圆,包括一对输送轨道和调节机构,调节机构用于调节输送轨道的间距。表面处理机构包括承载部件和执行部件。承载部件设于输送机构下方,承载部件...
李健儿
李学良
冯永
马晓洁
唐毅
敬毅
谢雷
文献传递
芯片晶粒挑选装置及其工作方法
本发明公开了一种芯片晶粒挑选装置,包括机架、用于传输晶圆用的传送带以及用于挑选带有磁粉墨点的晶粒的筛选机构,所述筛选机构包括设置于传送带一侧的转轴,所述转轴上连接有驱动装置,所述转轴上端设置有多个支撑板,每个所述支撑板上...
李学良
刘宁
马晓洁
王利益
唐毅
蒋红全
敬毅
罗艳
刘杭
文献传递
一种台面二极管
本实用新型半导体技术领域,尤其涉及一种台面二极管,包括具有主沟槽的台面结构、覆盖在所述主沟槽的表面的钝化层,所述台面结构的PN结至少部分裸露于所述主沟槽的表面;其特征在于:所述台面结构还包括副沟槽,所述副沟槽设于所述主沟...
冯春阳
李学良
马晓洁
戴建定
唐毅
文献传递
一种玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机
本实用新型提供了一种玻璃钝化类晶圆片的自动擦粉机,半导体元件制造设备技术领域,包括用于传送晶圆片的自动传输系统、自动擦粉系统、物料回收系统、真空及排风系统;自动擦粉系统设置在自动传输系统的部分传输路径上,晶圆片在传输过程...
李健儿
李学良
马晓洁
唐毅
谢雷
敬毅
文献传递
一种芯片晶粒分离装置
本申请提供一种芯片晶粒分离装置,其特征在于,包括:底座及压环。底座顶面具有圆柱孔,圆柱孔底部橡胶罩,橡胶罩的底面与圆柱孔的底面之间呈密封连接,且橡胶罩内部连通有管道,用于向橡胶罩内部加压或减压,当橡胶罩内部加压之后,橡胶...
郭凯
冯田田
唐毅
敬毅
谢雷
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