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湖南大学材料科学与工程学院材料测试研究中心
作品数:
21
被引量:87
H指数:6
相关作者:
王秀琼
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中南工业大学粉末冶金研究所
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发文基金:
湖南省自然科学基金
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化学工程
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7篇
金刚石薄膜
6篇
金刚石
6篇
刚石
3篇
金刚石膜
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陶瓷
2篇
涂层
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热丝
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显微结构
2篇
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薄膜生长
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机构
21篇
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4篇
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电子工业部
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湖南省冶金材...
作者
10篇
李绍禄
7篇
周灵平
7篇
赵立华
7篇
杨巧勤
5篇
靳九成
4篇
赵南方
3篇
李学谦
2篇
李德意
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人工晶体学报
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微细加工技术
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佛山陶瓷
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''99全国...
年份
1篇
2000
4篇
1999
7篇
1998
4篇
1997
1篇
1996
2篇
1995
1篇
1991
1篇
1990
共
21
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工程陶瓷材料的应用
被引量:5
1998年
本文综合介绍了工程陶瓷材料在机械和化工工业中的应用。
李德意
唐绍裘
关键词:
工程陶瓷
热丝CVD法金刚石膜生长速度研究
1995年
本文使用热丝CVD法着重研究了基底表面的处理、工作气压、碳化物的含量、基底温度、灯丝温度以及基底与灯丝间距离等对金刚石膜生长速度所产生的影响,并在以上研究的基础上采取措施,优化工艺参数。
杨巧勤
赵立华
李绍禄
苏玉长
陈本敬
王秀琼
杜海清
关键词:
金刚石膜
晶体生长
金刚石涂层超精加工车刀的研制
被引量:10
1995年
使用热丝CVD法研究了金刚石涂层生长速度、晶粒大小和结合强度与生长工艺参数的关系.在此研究基础上,选择氮化硅材料作为刀具基底材料,并优化生长工艺参数,使热丝CVD法生长金刚石膜的速度提高到20μm/h,膜层平均晶粒度<1μm,划痕临界载荷达到了50N.然后进行内应力消除及机械研磨、抛光,这样制成的超精加工刀具用来加工铝合金部件.被加工件的表面不平度<0.1μm,光洁度达到了12,加工光洁度与寿命达到了单晶金刚石刀具的水平.
杨巧勤
赵立华
李绍禄
杜海清
关键词:
金刚石涂层
超精加工
车刀
CVD法
锑铜合金中锑脱溶相的表征
被引量:1
1999年
采用电解腐蚀方法显示出含微量锑的铜合金中的锑脱溶相,通过SEM和EDAX表征,结果表明,锑脱溶相呈球状、粒状或条块状,粒径1~5μm,脱溶相中含稀土元素.锑以脱溶相形式析出并呈弥散均匀分布是锑铜合金具有良好综合性能的关键.
周灵平
李绍禄
梁振亚
刘淳
关键词:
扫描电镜
能谱
用IAC技术制备DLC膜的性能研究
该文简单介绍利用离子束辅助镀膜(IAC)设备沉积类金属刚石碳(DLC)膜的工艺,并对沉积的DLC膜的硬度、电阻率、结合力等乾地测试分析研究,以便为DLC膜的开发应用提供工艺依据。
朱启良
林美娟
过骐千
王锦辉
周灵平
关键词:
类金刚石碳膜
文献传递
热丝CVD法金刚石薄膜宏观内应力分析
被引量:6
1998年
研究了热丝CVD法金刚石薄膜本征内应力随甲烷的体积分数(04%~12%)、生长温度(800℃~1000℃)等生长工艺参数的变化关系。在所研究的工艺参数范围内,金刚石薄膜的本征内应力为拉应力。拉应力值随着碳源浓度的升高近乎呈线性减小;在生长温度为900℃时最小,升高或降低生长温度都会增大。这一变化关系可用薄膜中非金刚石碳含量和晶粒度大小对内应力值的影响进行解释。
赵南方
杨巧勤
赵立华
赵立华
李德意
关键词:
金刚石薄膜
内应力
金刚石薄膜涂层刀具基底材料的选择
被引量:10
1997年
金刚石薄膜涂层刀具的应用取决于基底材料的选择。讨论了基底材料的特征:①基底应是一种常用刀具材料,且其切削条件能为金刚石所适应;②成本较低;③沉积金刚石膜具有良好的粘着性。比较分析了Si_3N_4陶瓷和硬质合金作为基底材料的优缺点及其发展趋势。
周灵平
靳九成
李绍禄
关键词:
金刚石
涂层
刀具
热丝CVD法高速生长金刚石膜研究
被引量:4
1996年
使用热丝CVD法研究了碳源种类、氧气含量、灯丝温度、基底与灯丝间距离及异常辉光放电等对金刚石膜生长速度的影响,在此研究的基础上,优化工艺参数,使热丝CVD法生长金刚石膜的速度提高到20μm/h。
赵立华
杨巧勤
李绍禄
苏玉长
陈本敬
杜海清
关键词:
化学气相沉积
金刚石膜
工艺参数对金刚石薄膜显微结构与性能的影响
1998年
着重研究了甲烷浓度、基体温度等工艺参数对热丝CVD法金刚石薄膜显微结构与性能的影响。基体温度(低于1050℃)越高,甲烷浓度越低,膜中非金刚石碳的含量就越低,金刚石的晶形就越完整,晶粒也越大,因而金刚石薄膜的电阻率、初始氧化温度就越高。金刚石薄膜电阻率随温度升高而线性下降,电阻温度系数达2×1010Ω·cm/’℃。
杨巧勤
赵南方
赵立华
肖汉宁
关键词:
金刚石薄膜
显微结构
工艺参数
薄膜生长
金刚石薄膜显微结构研究
被引量:1
1998年
采用多种现代分析方法研究了热丝CVD法高速生长的金刚石薄膜的显微结构。XRD和Raman光谱结果表明薄膜由金刚石组成,金刚石薄膜的晶格参数与天然金刚石一致,没有非金刚石碳与其它杂相存在。AES与SIMS结果表明金刚石膜中只含有极微量的O、Na、N等杂质。SIMS分析结果还表明同位素C13在金刚石膜生长过程中富集。SEM结果表明基片表面状况影响金刚石薄膜的形核密度,而工作气压则影响金刚石薄膜晶形的完整性,适当气压下生长的金刚石薄膜致密且晶形完整、清晰。
赵南方
杨巧勤
赵立华
肖汉宁
关键词:
金刚石薄膜
显微结构
薄膜生长
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