哈尔滨工业大学电气工程及自动化学院超精密光电仪器工程研究所
- 作品数：216 被引量：1,248H指数：20
- 相关作者：敖磊金鹏刘伯晗马洪文单明广更多>>
- 相关机构：哈尔滨工程大学信息与通信工程学院哈尔滨理工大学机械动力工程学院北京工业大学机械工程与应用电子技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划中国博士后科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术理学更多>>
- 激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化(英文)被引量：4
- 2008年
- 提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法。在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系。基于该优化方法的对接区域长度由θ唯一确定,且当θ较小时,其仅为斜线段光强控制方法确定的对接长度的2倍。实验结果与理论分析吻合,表明该优化方法进一步增加了对接区域曝光量分布的有效过渡长度,减缓了曝光量在路径方向上的变化速率,从而在保证直写效率的同时提高了线条对接质量。
- 金占雷谭久彬张山王雷吕云飞
- 关键词：激光直写参数优化
- 激光CCD自准直仪圆目标中心抗噪声精确定位方法被引量：10
- 2006年
- 为满足高精度计量和方位瞄准跟踪系统的发展对激光CCD自准直仪测量精度的要求,提出一种基于正交傅里叶-梅林矩的激光CCD自准直仪圆目标中心抗噪声精确定位方法。首先利用正交傅里叶-梅林矩(OFMM)的幅值旋转不变性和更低径向矩阶数在充分提取图像边缘细节信息的同时抑制图像噪声的影响,通过对图像边缘旋转后垂直方向上不同阶次的正交傅里叶-梅林矩之间关系的分析将圆目标轮廓定位至亚像素级,然后采用最小二乘拟合方法实现圆目标中心的精确定位。结果表明,该方法稳定性好,定位精度高且抗干扰能力强,改进后的激光CCD自准直仪的测量分辨力提高了10倍,测量精度由2″提高到±0.18″,可有效满足在小角度测量和瞄准等领域的高精度测量需要。
- 敖磊谭久彬崔继文康文静
- 关键词：激光技术亚像素边缘定位最小二乘拟合
- 旋转抛物面聚光器焦面能流分布的有限元分析被引量：24
- 2007年
- 提出一种计算太阳能聚光器聚光焦斑能流密度分布的新方法。在考虑太阳形状、聚光器表面形状误差、跟踪误差、接收器位置误差、漫反射及接收器遮挡作用等各项光学误差和影响因素的基础上,结合旋转抛物面聚光器的光学特性,采用有限元法对焦面能流密度分布进行计算,并与文献中的结果进行比较,证明了该方法的正确性和可行性。同时又对半球形接收器和圆柱形接收器进行了实例计算,结果表明该方法不受聚光器或接收器面型的限制,算法简单,通用性也较强,从而为系统的优化设计和能流密度的测量奠定基础。
- 刘颖戴景民郎治国辛春锁
- 关键词：太阳能有限元法聚光器接收器
- 激光外差干涉快速超精密测量模型研究被引量：12
- 2005年
- 为了精确地描述激光外差干涉在快速超精密测量中的位移测量,建立了激光外差干涉快速超精密测量模型。传统外差干涉测量模型采用舍去高阶误差的方法,便于分析与快速计算,但在快速纳米精度测量中,高阶误差已经影响到测量精度,根据多普勒频移公式,通过分析激光外差干涉的测量原理,在已有的激光干涉测量模型上增加了v2/c的积分项,相当于将传统测量模型进行了高阶误差补偿。通过理论分析可知,当最高测量速度为1m/s,运行位移为3m时,该测量模型能够减小约18nm的测量误差,解决了传统测量模型存在的残余误差累计问题,从而为激光外差干涉在快速超精密测量领域的应用提供了一种理论依据。
- 钟志谭久彬马洪文孙文法
- 关键词：光学测量激光外差干涉多普勒频移
- 薄片式挠弹性器件漫反射激光三角法频率测量被引量：2
- 2004年
- 分析比较了薄片式挠弹性器件自振频率测量的不同方法,进而提出了应用漫反射激光三角法实现对薄片式挠弹性器件进行非接触瞬态激励测量。该方法利用漫反射激光三角法测量摆动部分位移,避免了测量过程中位移与转动的干涉。测量采用瞬态激励效应来避免传统采用共振法测量频率时引入的外界干扰;根据测量信号特点,采用了最大似然法对测量模型求解。实际结果表明,标准测试状态下,瞬态激励法的测量精度比常规静态测量法提高约50倍,达到0.006Hz。
- 马洪文谭久彬杨文国尹静
- 关键词：频率测量
- 基于纯相位液晶空间光调制器的共焦三维扫描方法研究被引量：3
- 2014年
- 针对传统的机械式共焦扫描方法由于受机械特性或驱动技术的限制难以满足材料内部物理过程检测、缓慢化学反应可视化和活体细胞成像等应用领域的需求,深入研究了基于纯相位液晶空间光调制器(LCSLM)的聚焦光斑三维位置控制技术,利用LCSLM对入射光进行相位与振幅的同时调制,设计了无机械运动部件的三维共焦扫描系统,实现了显微物镜聚焦光斑的三维扫描。研究结果表明,利用LCSLM能够实现最大横向偏转角度为0.021rad,光束偏转的绝对误差|θerror|<3.30×10-8 rad≈1.89×10-6,且能够实现轴向[-55.6mm,55.6mm]的扫描范围。
- 邹丽敏庞明姝周梦姣王宝凯谭久彬
- 基于导通角调节的双足式尺蠖电机驱动被引量：2
- 2020年
- 为了解决尺蠖电机难以兼顾高速和高精度的问题,提出一种基于导通角调节的驱动方法,对V形双足式尺蠖电机的机电耦合模型、驱动方法和运动机理等进行了研究。根据设计的V形双足式尺蠖电机结构建立其机电耦合模型,基于导通角调节确定尺蠖电机驱动方法。分析V形双足式尺蠖电机运动机理,并搭建实验平台进行实验验证。实验结果表明:在一定允许误差的范围内,实验结果与理论推导相符,验证了驱动方法的合理性与可行性。引入导通角,最小步距由500 nm降低到330 nm,降低了34%;通过同时调节频率f和导通角α,可使电机具备0.5 mm/s的最大驱动速度和330 nm的最小步距的能力。引入变量导通角α,成功实现了电机步距和驱动速度的独立调节。
- 赵勃史维佳王丙泉亓雪谭久彬
- 深空大规模天线阵布局优化方法研究被引量：7
- 2010年
- 由大量廉价的小型反射面天线组成阵列对航天器进行跟踪通信是未来深空测控网发展的一条新思路。提出一种改进的遗传算法对大规模小天线阵列地理布局进行优化,提高天线阵列的测控性能。首先分析了布局优化的约束条件,然后以最小化旁瓣电平为目标,建立了优化模型。分析了Kogan梯度算法和常规遗传算法的局限性,最后给出了改进遗传算法的优化流程。仿真结果表明,改进的遗传算法不但具有高的优化效率,还可应用于阵列布局的多目标优化。
- 史学书王元钦
- 关键词：深空通信天线阵
- 基于实时监测的激光外差干涉仪闲区误差自动补偿被引量：1
- 2008年
- 针对目前激光外差干涉实时测量中,由于现场工作环境的限制,无法对闲区误差进行实时自动补偿的问题,提出了一种基于实时测量闲区值和折射率值的闲区误差补偿方法。该补偿方法以激光测距仪为主体,结合偏振片、偏振旋转器对闲区长度值进行测量,利用空气折射率测量仪获得测量过程中的空气折射率数值,并根据终端修正原则,取每次测量开始和结束时的折射率数值与清零时的闲区值对干涉测量结果进行修正。可有效降低实时测量中由折射率变化所引起的闲区误差对测量结果的影响,实验表明,本方法在折射率变化2.7×10-6,闲区值为100 mm的情况下,对HP5528干涉系统进行补偿后使零点漂移最大值从300 nm减小到30 nm。
- 杨宏兴谭久彬胡鹏程付海金
- 关键词：外差干涉折射率
- 基于特征谱信号抑制的气膜刚度测量技术被引量：2
- 2008年
- 针对动压轴承气膜刚度测量中转子形状误差、质量偏心、表面缺陷等具有周期性频谱特征的扰动信号抑制问题,提出基于特征谱信号抑制的气膜刚度测量技术。采用傅立叶分析的方法分析信号频谱,选取能量相对集中的与转速相关的扰动信号为抑制目标信号,通过对原始采样序列引入目标信号半周期的相位移动,产生与目标信号符号相反的虚拟采样序列,将虚拟采样序列与原始采样序列相加实现对特定频率扰动信号的抑制。基于这种信号处理方法,研制了基于激光三角激光位移传感器测量的自重法动压轴承气膜刚度测量仪。实验证明,由质心偏移测量误差引入的气膜刚度测量实验标准不确定度为5.5×10-3N/μm。
- 刘俭谭久彬赵晨光
- 关键词：动压轴承气膜刚度激光三角法谱分析
