江苏鑫华半导体材料科技有限公司
- 作品数：92 被引量：33H指数：4
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- 一种用于生产硅烷的隔壁塔
- 本实用新型公开了一种用于生产硅烷的隔壁塔，塔身自上而下依次为上塔区1、中塔区2和下塔区3，塔身一侧为进料侧，塔身另一侧为出料侧；所述中塔区包含靠近进料侧的中塔板区和靠近侧线出料侧的中填料区，所述以中塔板区和中填料区以隔壁...
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- 制热-冷冻-重锤联用硅块破碎装置和方法
- 本发明公开了一种制热‑冷冻‑重锤联用硅块破碎装置和方法。该破碎装置包括：传动装置；加热区、缓冲区、冷冻区和重锤区，加热区、缓冲区、冷冻区和重锤区沿传动装置的长度方向依次布置，加热区内设有加热设备和进料口，冷冻区内设有冷冻...
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- 电子级多晶硅棒热破碎方法
- 本发明提出了一种电子级多晶硅棒热破碎方法，包括(1)采用第一传送单元将待加热的多晶硅棒传送至加热仓内，通过所述加热仓内的加热元件对所述多晶硅棒进行加热，加热过程中所述加热仓内充满保护气体；(2)采用所述第一传送单元将加热...
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- 一种三氯硅烷的检测前处理方法及检测方法
- 本发明涉及检测系统技术领域，尤其涉及一种三氯硅烷的检测前处理方法，常温下，将液态的三氯硅烷喷洒入对氢气进行存储的第一空间内；对第一空间进行压缩，第一空间内的气体向第二空间内流动，且流动过程中保持对第一空间的持续增压状态；...
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- 一种硅棒U形弯的切割分离装置
- 本实用新型公开了一种硅棒U形弯的切割分离装置，包括切割装置、用于旋转切割装置的旋转装置、切割装置移动导轨；所述切割装置连接在所述旋转装置上，所述切割装置在牵引力带动下在所述切割装置移动导轨上运动；所述切割装置包括切割传输...
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- 电子级多晶硅行业对FAE能力需求的研究
- 2021年
- 电子级多晶硅行业在半导体行业中有其特殊性,产品是集成电路用主要原材料,对材料的稳定性要求极高,但是国内外合格供方较少,尤其是国内企业在产品应用端经验不足,而FA E在产品推广及客户交流中起到重要作用,但对FAE人才的能力需求研究较少,本文通过分析电子级多晶硅行业特点及FAE能力需求,提出特定FAE的能力需求,并给出人才来源和内部建设的方案。
- 神干
- 关键词：FAE
- 电子级多晶硅清洗方法
- 本发明公开了电子级多晶硅清洗方法。该电子级多晶硅清洗方法包括：利用第一至第八清洗液一次对硅块进行清洗处理。第一清洗液为NaOH溶液或KOH溶液；第二清洗液为HNO<Sub>3</Sub>、HF、水的混合液；第三清洗液为H...
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- 文献传递
- 多晶硅还原炉倒棒原因分析被引量：2
- 2016年
- 分析了多晶硅还原炉倒棒的危害,并对多晶硅还原炉倒棒的原因进行了探究,最后给出了预防多晶硅还原炉倒棒的有效措施,为预防多晶硅还原炉倒棒提供了一些参考。
- 于伟华王彬田新张春伟
- 关键词：多晶硅还原炉
- 多晶硅还原炉
- 本实用新型公开了多晶硅还原炉。该多晶硅还原炉包括：炉体；以及炉顶，所述炉顶设在所述炉体的顶部，所述炉顶的内表面设有热反射涂覆层。该多晶硅还原炉的炉顶内表面设有热反射涂覆层，由此，可以有效地将热量反射至硅棒顶部，从而提高硅...
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- 电子级多晶硅CVD炉内破碎方法和装置
- 本发明公开了电子级多晶硅CVD炉内破碎方法和装置，所述方法包括：(1)在CVD炉内的硅棒生长完成后，关闭原料进口和尾气出口，向炉内吹扫保护气体，以便对所述硅棒降温；(2)当所述硅棒的温度降至600‑800℃时，加速向炉内...
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