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中环领先半导体材料有限公司

作品数：563 被引量：0H指数：0
相关机构：天津中环领先材料技术有限公司内蒙古中环领先半导体材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学金属学及工艺更多>>

合作机构

文献类型

  • 553篇专利
  • 7篇标准
  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 31篇电子电信
  • 14篇自动化与计算...
  • 7篇文化科学
  • 6篇金属学及工艺
  • 5篇经济管理
  • 5篇化学工程
  • 5篇建筑科学
  • 5篇交通运输工程
  • 4篇轻工技术与工...
  • 4篇环境科学与工...
  • 4篇医药卫生
  • 3篇机械工程
  • 3篇水利工程
  • 2篇电气工程
  • 1篇天文地球
  • 1篇矿业工程
  • 1篇冶金工程

主题

  • 198篇硅片
  • 82篇抛光
  • 69篇单晶
  • 68篇晶圆
  • 58篇半导体
  • 55篇硅片表面
  • 52篇圆片
  • 39篇晶圆片
  • 30篇片盒
  • 30篇组件
  • 26篇抛光液
  • 23篇减薄
  • 22篇体硅
  • 22篇半导体硅
  • 21篇半导体硅片
  • 20篇单晶炉
  • 19篇抛光片
  • 17篇自动化
  • 16篇外延片
  • 14篇抛光垫

机构

  • 563篇中环领先半导...
  • 241篇天津中环领先...
  • 39篇内蒙古中环领...
  • 5篇山东有研半导...
  • 5篇浙江金瑞泓科...
  • 4篇有色金属技术...
  • 3篇浙江海纳半导...
  • 2篇麦斯克电子材...
  • 2篇浙江中晶科技...
  • 1篇北京大学
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国电子科技...
  • 1篇中国科学院上...
  • 1篇河北普兴电子...
  • 1篇江苏中能硅业...
  • 1篇青海黄河上游...
  • 1篇新特能源股份...
  • 1篇有研国晶辉新...
  • 1篇赛晶亚太半导...
  • 1篇浙江众晶电子...

作者

  • 1篇贺东江

传媒

  • 1篇经济技术协作...
  • 1篇财富生活

年份

  • 1篇2025
  • 48篇2024
  • 180篇2023
  • 138篇2022
  • 143篇2021
  • 53篇2020
共 563 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种用于强酸回收系统的过滤器
本实用新型提供一种用于强酸回收系统的过滤器，其包括过滤组件一，包括滤壳一及其内部的过滤填料；过滤组件二，包括滤壳二及其内部的滤芯和分流板，所述分流板将所述滤壳二分隔为进液腔和出液腔，所述进液腔连接所述过滤组件一的出液端，...
张牧翔东士博刘建伟谭永麟孙晨光王彦君
一种大直径硅片包装袋储存和抽取结构
本实用新型公开了一种大直径硅片包装袋储存和抽取结构，包括主体框架，所述主体框架的底部固定安装有支撑架，所述主体框架的内部等距安装有按压组件。本实用新型通过深入到锯齿之间的包装袋本体裸露位置，接着主体框架通过上下调整，使吸...
张宏杰杨立山刘建伟武卫
改善半导体晶圆在磨片工序裂片率的工艺
本发明改善半导体晶圆在磨片工序裂片率的工艺，包括：1)改善压力变化曲线，将加压模式调整为缓压，使压力上升时间延长，减少硅片压力骤增带来的硅片应力损伤；2)改变粗研的压力，加大研磨去除量，并压实硅片；减少研磨用时，同步改善...
雍琪浩刘建伟袁祥龙刘姣龙刘洋庞陞强李晓宝吴超平徐发生王俊伟蒋文斌陈龙飞王彦君孙晨光
一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置
本发明创造提供了一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，包括电控柜、滑台以及片篮底座，所述滑台以及片篮底座设置在电控柜内，所述电控柜还设有总控模块；所述电控柜内部设有托板，所述片篮底座设置在托板上，所述片篮...
戴超齐风李伦孙晨光王彦君
文献传递
一种大尺寸硅片碱腐清洗装置及清洗工艺
本发明提供一种大尺寸硅片碱腐清洗装置，包括依次设置的预清洗单元、碱洗单元、酸洗单元和干燥单元，在所述碱洗单元至少包括一个碱液槽，所述干燥单元至少包括烘干槽。本发明还提出一种大尺寸硅片碱腐清洗工艺。本发明可去除硅片表面由减...
刘姣龙武卫孙晨光刘建伟由佰玲刘园谢艳杨春雪刘秒常雪岩裴坤羽祝斌王彦君吕莹徐荣清
文献传递
籽晶夹
本实用新型公开了一种籽晶夹，籽晶夹包括：重锤；连接套，连接套连接于重锤的下端，连接套具有在上下方向上贯穿连接套的盛放腔，籽晶的上端适于位于盛放腔内，连接套的径向内侧具有与盛放腔间隔开的吹扫通道，吹扫通道在上下方向上贯穿连...
陈俊宏
一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺
本发明公开了一种大幅降低大尺寸砂浆线成本的砂浆循环工艺，其工艺方法包括以下步骤：S1、首先启动AP17#隔膜泵从废砂浆缓冲罐内抽取一定量的废砂浆至T1#废砂浆调和罐，开启AP11#离心泵抽取S2#水箱内的压滤液，将调和后...
周骁航黄春峰吴伟
文献传递
一种晶片边缘抛光机边抛液自动供液和PH自动调整系统
本实用新型公开了一种晶片边缘抛光机边抛液自动供液和PH自动调整系统，包括PLC控制器、计量泵和PH计，所述于PLC控制器电性连通供液阀，所述供液阀插入边抛液储存箱内部，所述边抛液储存箱内接入PH计，所述PH计受控于PLC...
黄盛军菅明辉高晟淇王维师孙晨光王彦君
文献传递
一种半导体材料、制备方法和半导体器件
本申请公开了一种半导体材料、制备方法和半导体器件，包括：层叠设置的第一衬底、第一氧化层和顶硅层；第一氧化层位于衬底上，顶硅层位于第一氧化层远离第一衬底的一侧；其中，第一氧化层具有沿第一方向的平均厚度H<Sub>1</Su...
马乾志孙晨光王彦君姚祖英马坤张雨杭张奇魏启旺罗朝阳谷海云
一种大尺寸晶圆片片篮盖体
本实用新型提供一种大尺寸晶圆片片篮盖体，用于盖合片篮，盖体内嵌于所述片篮且与所述片篮分开设置；所述盖体靠近所述片篮一侧设有与所述体槽组相对应的盖槽组；晶圆片与所述盖槽组接触并被置于所述片篮放置。本实用新型承载装置，尤其适...
裴坤羽武卫刘建伟由佰玲刘园孙晨光王彦君祝斌刘姣龙常雪岩杨春雪谢艳袁祥龙张宏杰刘秒吕莹徐荣清
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