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株式会社瑞萨东日本半导体
株式会社瑞萨东日本半导体
作品数:
14
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相关机构:
日立制作所
株式会社瑞萨科技
秋田电子系统株式会社
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合作机构
日立制作所
株式会社瑞萨科技
秋田电子系统株式会社
尔必达存储器株式会社
日本电气株式会社
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中文专利
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半导体
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绝缘膜
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等离子体
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机构
14篇
株式会社瑞萨...
6篇
日立制作所
4篇
株式会社瑞萨...
3篇
秋田电子系统...
2篇
日本电气株式...
2篇
尔必达存储器...
1篇
株式会社日立...
年份
1篇
2011
2篇
2009
2篇
2008
1篇
2007
1篇
2006
4篇
2005
3篇
2004
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半导体装置及其制造方法以及半导体制造装置
提供一种半导体装置及其制造方法以及半导体制造装置。在该制造方法中,用捕捉筒将在散料送料器的散料供给部中以纵列状态排列成一列供给的电子零件中的开头的电子零件真空吸附保持着,输送到模块衬底上,然后通过重流,使预先被覆在上述模...
京極敏彦
神津正
望月清春
石津昭夫
小林义彦
佐藤勧
菊池荣
丸山昌志
神代岩道
文献传递
半导体集成电路器件的制造方法
本发明的目的是提供一种通过自动地探测室中的清洗终点能够提高生产量、降低清洗气体的成本以及延长工艺套件的寿命的半导体集成电路器件的制造方法。将在等离子气体发生器中转变为等离子体的清洗气体引入室,以除去室的内壁或电极上方淀积...
小泽毅
佐藤康幸
文献传递
半导体器件的制造方法
本发明提供一种半导体器件的制造方法,目的在于防止半导体晶片的背面清洗工艺中的静电破坏或干燥不良,提高半导体器件的可靠性。在半导体晶片(1)的背面(1b)朝上的状态下,使半导体晶片(1)旋转。从喷嘴(35)向半导体晶片(1...
佐藤一夫
藤木直人
文献传递
半导体器件、噪声减小方法以及屏蔽盖
在存储模块中,参考电势连接构图置于高频信号线和/或从信号线的引线端延伸的延伸线上,以及用于覆盖半导体存储芯片的屏蔽盖置于衬底上,并且通过金属盖接触部件将参考电势连接构图连接到屏蔽盖。
今里雅治
中村淳
渡边敬行
常田健祐
片桐光昭
清水浩也
永田达也
文献传递
一种半导体器件集合
在半导体封装体的凸点形成方法中,将半导体芯片安装到柔性基板上。使用导电性糊剂将导电性球暂时固定在与设置在上述柔性基板上的半导体芯片进行电连接的连接端子上。将暂时固定了上述导电性球的上述柔性基板卷绕到卷轴上。其次,从卷轴抽...
井上康介
米田达也
铃木高道
木本良辅
铃木顺一
文献传递
激光模块和使用它的光头、光学信息记录再现装置
本发明涉及装载半导体激光芯片和反射面的激光模块,为高精度确定半导体激光芯片的位置,同时缩短生产时间、实现小型化和低成本,使在硅基板上设置的反射面上具有台阶,通过将这些反射面作为出射激光的反射面和激光芯片的位置确定面,可高...
有川康之
橘进
重松和男
田口英夫
中村滋
友部哲哉
文献传递
内装半导体元件的印刷布线板及其制造方法
本发明提供不受封装材料填充不够或填充过多所产生的恶劣影响、与上层的布线基板的密封性好的内装半导体元件的印刷布线板。内装半导体元件的印刷布线板,用绝缘膜覆盖内装的半导体元件的至少下表面、上表面或侧面,同时在该半导体元件的侧...
吉野裕
白井孝浩
上远野臣司
川本峰雄
榎本实
后藤正克
荒木诚
户田直树
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内装半导体元件的印刷布线板及其制造方法
本发明提供不受封装材料填充不够或填充过多所产生的恶劣影响、与上层的布线基板的密封性好的内装半导体元件的印刷布线板。内装半导体元件的印刷布线板,用绝缘膜覆盖内装的半导体元件的至少下表面、上表面或侧面,同时在该半导体元件的侧...
吉野裕
白井孝浩
上远野臣司
川本峰雄
榎本实
后藤正克
荒木诚
户田直树
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半导体器件、噪声减小方法以及屏蔽盖
在存储模块中,参考电势连接构图置于高频信号线和/或从信号线的引线端延伸的延伸线上,以及用于覆盖半导体存储芯片的屏蔽盖置于衬底上,并且通过金属盖接触部件将参考电势连接构图连接到屏蔽盖。
今里雅治
中村淳
渡边敬行
常田健祐
片桐光昭
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半导体集成电路器件的制造方法
本发明的目的是提供一种通过自动地探测室中的清洗终点能够提高生产量、降低清洗气体的成本以及延长工艺套件的寿命的半导体集成电路器件的制造方法。将在等离子气体发生器中转变为等离子体的清洗气体引入室,以除去室的内壁或电极上方淀积...
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