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湖南菲尔姆真空设备有限公司

作品数：22 被引量：0H指数：0
相关机构：湖南天羿领航科技有限公司更多>>
相关领域：一般工业技术金属学及工艺自动化与计算机技术更多>>

合作机构

文献类型

  • 22篇中文专利

领域

  • 4篇一般工业技术
  • 3篇金属学及工艺
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 10篇镀膜
  • 10篇镀膜机
  • 9篇真空镀膜
  • 5篇真空镀膜机
  • 5篇卧式
  • 5篇硅片
  • 3篇压强
  • 3篇真空计
  • 3篇真空室
  • 3篇立式
  • 3篇控制仪
  • 3篇溅射
  • 3篇轨道车
  • 3篇传动
  • 2篇电极
  • 2篇电源控制
  • 2篇电源控制系统
  • 2篇镀件
  • 2篇真空镀膜设备
  • 2篇上下料机构

机构

  • 22篇湖南菲尔姆真...
  • 8篇湖南天羿领航...

年份

  • 8篇2020
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 1篇2016
  • 1篇2014
共 22 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种高精度恒压强闭环控制仪的电控系统
本实用新型公开了一种高精度恒压强闭环控制仪的电控系统，包括：微处理器、用于监测闭环控制仪真空压强的真空计、设置在真空充气阀内的阀控单元、用于监测真空充气阀充气流量的流量计、模拟运放单元和数字转换单元，所述真空计、流量计皆...
李纲张旭罗立珍杨靖
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一种抗油烟沾附的氮化铬不锈钢复合材料及其制备方法
本发明公开了一种抗油烟沾附的氮化铬不锈钢复合材料及其制备方法，包括，不锈钢基体，所述不锈钢基体上覆盖有氮化铬薄膜，其制备方法为：复合材料通过抛光、喷砂、酸腐蚀处理，然后在氩气环境下，利用离子源离化氩气获得氩离子，使氩离子...
李纲华冬辉罗立珍郑启发
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一种卧式真空镀膜机
本实用新型公开了一种卧式真空镀膜机，包括卧式真空镀膜室和两个工件上下料机构，所述卧式真空镀膜室的两侧设置有可开闭的上下料口，两个所述工件上下料机构对应所述上下料口设置并可交替地将工件送入所述卧式真空镀膜室。本实用新型中的...
罗立珍李纲郑启发华冬辉
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一种带加强筋的烤烟片机网板
本实用新型公开了一种带加强筋的烤烟片机网板，包括：网板主体和与网板主体固定连接的若干加强筋，网板主体侧边设置有与烤烟片机的传动装置配合的连接部，网板主体上均匀分布有若干通孔。本实用新型通过在烤烟片机的网板主体上设置多个加...
任先杰李纲郑启发
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发电用太阳能高温集热管镀膜方法及卧式镀膜机
一种发电用太阳能高温集热管卧式镀膜机，包括圆柱形卧式上开门结构的真空室1、靶安装管件2、工件架3、固定齿盘4、支承轮5和旋转驱动机构，靶安装管件2通过左、右法兰7安装在真空室1内的左、右侧板11上，其上安装有平面磁控靶2...
李云辉李云松华冬辉
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一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机
本实用新型公开了一种便于拆装靶隔板的立式镀膜机，其设置有真空镀膜室，所述真空镀膜室内挂载有隔板。本实用新型中的隔板通过挂载的方式实现安装，仅通过螺栓安装的方式而言，更容易对正、完成安装，可以提高拆装效率，进而提高生产效率...
华冬辉
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一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极
本实用新型公开了一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极，包括：电极接头、水冷电极、进水接头、出水接头和分水管，电极接头的一端与水冷电极相连，分水管包括贯穿水冷电极和电极接头的第一内分水管、第二内分水管、延伸出水冷...
李纲张旭隆祖亿罗立珍
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一种转盘结构及立式镀膜机
本实用新型公开了一种转盘结构及立式镀膜机，该立式镀膜机设置有该转盘结构，该转盘结构包括底板、传动组件、固定齿圈、公转盘和自转座组件，固定齿圈相对于底板固定设置并位于底板的上方，传动组件安装于底板上，且传动组件的上端穿过固...
华冬辉
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一种立式硅片磁控溅射镀膜机
本发明公开了一种立式硅片磁控溅射镀膜机，包括：真空室、设置在真空室内用于悬挂和移动硅片的传动装置，以及用于抽真空的真空抽气系统、用于供电和控制工作状态的电源控制系统；所述真空室包括互相密封连接的清洗室和溅射室，清洗室内设...
李纲周通之隆组义罗立珍
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一种高精度恒压强闭环控制仪
本发明公开了一种高精度恒压强闭环控制仪，包括闭环控制仪本体和真空电控系统，闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱、真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒；真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏...
李纲张旭杨靖罗立珍
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