中北大学微米纳米技术研究中心 作品数:42 被引量:84 H指数:4 相关作者: 张庆伟 王伟 安震 王辉 更多>> 相关机构: 太原工业学院电子工程系 清华大学机械工程学院精密测试技术及仪器国家重点实验室 清华大学机械工程学院 更多>> 发文基金: 国家自然科学基金 山西省自然科学基金 国防科技重点实验室基金 更多>> 相关领域: 理学 自动化与计算机技术 机械工程 一般工业技术 更多>>
吸收条件下光子晶体介观压光效应的研究 被引量:1 2013年 在考虑材料吸收的情况下利用传输矩阵的方法研究光子晶体介观压光效应。研究表明:当在光子晶体的轴向方向施加应力产生应变时,光子晶体缺陷模将向左(波长小的方向)移动;缺陷模透射峰的峰值和半高宽不随应变的变化而变化;当消光系数和有效弹光系数增大时,介观压光系数的绝对值将会减小,即缺陷模透射率对应力的变化越来越不敏感。这为高灵敏应力传感器的设计提供了理论参考。 牛永宾 李俊漾 许丽萍 温廷敦 李红梅关键词:光子晶体 缺陷模 介观压阻型微压力传感器设计 被引量:3 2009年 运用共振隧穿双势垒(DBRT)结构中的一种压阻效应原理—介观压阻效应,用GaAs/AlAs/InGaAs DBRT结构薄膜作为敏感元件,设计了一个周边固支平膜片结构的压力传感器。并对介观压阻和普通压阻灵敏度的量级作出了比较,验证了介观压阻效应原理,可以提高压力传感器的灵敏度,为制造基于介观压阻效应的新型超敏感型传感器提供了一定的理论依据。 王伟 温廷敦关键词:传感器 共振隧穿 介观压阻效应 灵敏度 高量程加速度传感器的结构优化与仿真分析 被引量:4 2021年 在传统双边四梁结构的基础上,优化设计了一种高量程加速度传感器结构,量程为10000 g n。理论上对其进行了应力分析,验证了结构的合理性,并通过有限元建模对传感器进行了静态结构分析,模态分析和抗过载能力分析。在恒压源供电条件下,传感器的固有频率大于50 kHz,灵敏度理论值为18.88μV/g n,抗过载能力为20000 g n。与传统结构相比,极大地提高了高量程加速度传感器的性能。 韩文曼 郭涛关键词:加速度传感器 有限元分析 固有频率 灵敏度 基于惯性原理的微流控芯片粒子连续分选 被引量:1 2021年 根据惯性微流控粒子分选原理,设计并制备了基于收缩-扩张结构的微流控芯片,用以实现不同直径粒子的连续分离,并利用COMSOL软件对通道结构进行了流体速度仿真分析,发现当流体通过收缩通道时,流体速度迅速增大。采用微电子机械系统(MEMS)技术制备了微流控芯片:芯片由聚二甲基硅氧烷(PDMS)通道和玻璃基底两部分组成,利用惯性力和Dean力作用,从而实现粒子有效分选。实验过程中,采用两种不同直径的聚苯乙烯微球作为实验样本,分别在150和300μL/min的高体积流量下将两种粒子的混合溶液注入通道,进行了多次实验,实验结果显示直径5μm的聚苯乙烯微球的分选效率达到93.8%,证明该结构分选效果好、分离效率高。 李晓红 张斌珍 段俊萍关键词:微流控芯片 惯性力 细胞分选 单轴应力对一维镜像光子晶体光子局域态透射峰的影响 被引量:10 2013年 利用传输矩阵法研究了镜像异质三周期一维光子晶体中的光子局域态随单轴应力发生变化的特性.对于镜像异质三周期光子晶体,由于其镜像结构,破坏了光子晶体的有序性,产生了一个缺陷态,使其在较宽的光子禁带中心有一个光子局域态透射峰.研究表明:当对镜像异质三周期光子晶体施加单轴应力时,其中的光子局域态透射峰会随着应力的改变而发生剧烈的变化.当外部微弱的机械应力施加到光子晶体上时,对光子晶体形成一个拉伸应变,拉伸应变引起光子晶体结构的变化,进而大幅度影响光子局域态透射峰的透射率.结果表明:透射峰的透射率明显受单轴应力的影响.这些特性可为用此结构的光子晶体设计超高灵敏度压力传感器提供理论参考. 李乾利 温廷敦 许丽萍 王志斌关键词:光子晶体 传输矩阵 基于UWB的无线触发系统的设计与实现 2021年 为了获取炮弹落地前后的动作信息,同时为了克服手动预触发高速摄像机的不稳定性及存在的延时和记录完整性问题,以及内触发丢失信息的缺点,设计了基于UWB模块的无线触发系统;该系统以FPGA作为UWB模块的核心控制器,射频芯片DW1000为UWB模块核心,在炮弹与地面站分别放置UWB模块作为标签,通过TOA测距算法精确计算出两点距离,当小于给定距离时给出触发信号,实现高速摄像机的提前触发;对测距系统进行静态误差测量与靶场试验,静态误差在20~40 cm,靶场试验时给定距离300 m,测试结果分别为291.34 m,288.48 m,293.27 m;实验结果表明,该触发系统可以完成预触发,满足炮弹记录实验的预触发需求。 赵宽 马游春 马游春 赵阳关键词:UWB 测距算法 FPGA 硅微型加速度传感器技术 被引量:12 2007年 介绍了硅微加速度计的基本原理以及国内外最新发展的几种硅微加速度计的结构形式,包括压阻式、电容式、隧道式等,分析了这些传感器的基本特点,总结出它们在传感器性能方面存在的一些问题,提出了一些解决关键问题的措施,并对目前两种新的微机理:共振隧穿和介观压阻效应的原理和应用前景进行了论述。 吴瑞 温廷敦关键词:加速度计 压阻 隧道效应 共振隧穿 介观压阻效应 介观压阻型硅微压力传感器仿真分析 被引量:2 2009年 为了突破传统机电转换局限,提高压力传感器灵敏度,提出以介观压阻效应[1]为工作原理制作高灵敏度的硅微压力传感器,设计了一种圆形的平膜片结构,建立其三维实体有限元模型,通过理论分析与仿真计算,得出该结构的尺寸对其灵敏度、固有频率、谐振频率及模态振型的影响规律,为此类压力传感器结构的优化设计提供参考。 王伟 温廷敦关键词:介观压阻效应 压力传感器 有限元 轴向应变对双势垒结构共振隧穿的影响 2010年 首先介绍了共振隧穿理论和一种新效应——介观压阻效应,对AlxGa1-xAs/GaAl/AlxGa1-xAs共振隧穿双势垒结构的轴向施加压应变作了分析,然后计算了轴向应变对垒宽和垒高的影响,对透射系数和隧穿电流用Matlab作了仿真.发现压应变可以使隧穿电流线性增加,偏压不同电流增加的速率也不同,为设计共振隧穿器件提供了理论依据. 张庆伟 温廷敦关键词:共振隧穿 介观压阻效应 基于镜像异质三周期光子晶体的陀螺仪研究 被引量:2 2014年 对镜像异质三周期光子晶体的研究理论表明,在实际应用范围内,透射率与光子晶体所受的轴向应力呈简单的线性关系。微机械陀螺仪在工作时会产生Coriolis力,其与整个系统的输入角速度有正比关系。在陀螺仪检测梁的根部,用镜像异质三周期光子晶体作为敏感元件,只需检测出其透射率,即可知道陀螺仪所受Coriolis力的大小,继而求出系统的角速度。ANSYS软件仿真结果表明,当透射光强改变万分之一时,该结构可以感知6.5 mgn的Coriolis加速度的变化,测量量程可达55 gn。 彭鹏 温廷敦 许丽萍 汤帅关键词:光子晶体 微机械陀螺 CORIOLIS力 透射率 电磁驱动