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上海集成电路研发中心

作品数：3,252 被引量：103H指数：5
相关作者：康晓旭李琛李铭胡少坚赵宇航更多>>
相关机构：成都微光集电科技有限公司上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司上海华虹(集团)有限公司更多>>
发文基金：国家自然科学基金上海市青年科技启明星计划国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术文化科学电气工程更多>>

合作机构

文献类型

  • 3,152篇专利
  • 82篇期刊文章
  • 11篇科技成果
  • 6篇会议论文

领域

  • 439篇电子电信
  • 410篇自动化与计算...
  • 51篇文化科学
  • 26篇电气工程
  • 20篇一般工业技术
  • 18篇金属学及工艺
  • 15篇交通运输工程
  • 14篇经济管理
  • 9篇机械工程
  • 8篇化学工程
  • 7篇建筑科学
  • 7篇理学
  • 4篇矿业工程
  • 4篇轻工技术与工...
  • 4篇医药卫生
  • 2篇农业科学
  • 2篇兵器科学与技...
  • 1篇水利工程
  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇军事

主题

  • 544篇图像
  • 505篇电路
  • 484篇传感器
  • 472篇传感
  • 469篇感器
  • 353篇半导体
  • 340篇刻蚀
  • 285篇图像传感器
  • 258篇衬底
  • 223篇互连
  • 222篇光刻
  • 194篇集成电路
  • 192篇信号
  • 177篇像素
  • 168篇晶体管
  • 162篇红外
  • 160篇硅片
  • 148篇介质层
  • 147篇芯片
  • 140篇金属

机构

  • 3,251篇上海集成电路...
  • 627篇成都微光集电...
  • 316篇上海集成电路...
  • 165篇上海华虹(集...
  • 65篇华东师范大学
  • 20篇上海交通大学
  • 18篇清华大学
  • 10篇上海先综检测...
  • 7篇复旦大学
  • 7篇中国科学院
  • 5篇东京大学
  • 5篇上海华力微电...
  • 4篇上海微电子装...
  • 2篇北京大学
  • 2篇同济大学
  • 2篇中国科学院微...
  • 2篇上海华虹宏力...
  • 1篇东北林业大学
  • 1篇东华大学
  • 1篇上海材料研究...

作者

  • 430篇康晓旭
  • 282篇李琛
  • 169篇李铭
  • 145篇赵宇航
  • 141篇胡少坚
  • 136篇陈寿面
  • 118篇周伟
  • 99篇段杰斌
  • 93篇任铮
  • 91篇温建新
  • 89篇曾绍海
  • 81篇郭奥
  • 80篇左青云
  • 73篇王勇
  • 64篇朱骏
  • 61篇叶红波
  • 54篇王全
  • 50篇钟旻
  • 49篇林宏
  • 48篇袁超

传媒

  • 19篇集成电路应用
  • 12篇Journa...
  • 10篇半导体技术
  • 5篇电子器件
  • 5篇中国集成电路
  • 3篇电子技术（上...
  • 3篇复旦学报（自...
  • 3篇微电子学
  • 2篇计算机工程与...
  • 2篇自动化技术与...
  • 2篇第六届中国国...
  • 2篇第十六届全国...
  • 1篇电子测试
  • 1篇物理学报
  • 1篇激光与光电子...
  • 1篇应用激光
  • 1篇微电子学与计...
  • 1篇西安交通大学...
  • 1篇水土保持通报
  • 1篇表面技术

年份

  • 154篇2024
  • 254篇2023
  • 227篇2022
  • 184篇2021
  • 302篇2020
  • 257篇2019
  • 358篇2018
  • 282篇2017
  • 184篇2016
  • 178篇2015
  • 169篇2014
  • 195篇2013
  • 81篇2012
  • 113篇2011
  • 63篇2010
  • 38篇2009
  • 55篇2008
  • 59篇2007
  • 37篇2006
  • 24篇2005
共 3,252 条 记 录，以下是 1-10
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微电子元件及其制备方法、电子设备
本申请提供微电子元件及其制备方法、电子设备，涉及集成电路技术领域。微电子元件包括基底、支撑柱、调节结构和微镜结构；支撑柱的一端设置于基底，另一端连接微镜结构；调节结构包括用于存储电荷且相对设置的第一电极和第二电极，第一电...
康晓旭陈寿面
一种基于机器学习的CDSEM图像虚拟测量方法
一种基于机器学习的CDSEM图像虚拟测量方法，其包括训练集和验证集的生成步骤、将光刻空间像图和CDSEM图像对齐步骤、采用神经网络模型，将所述光刻空间像图作为输入，与之对应的所述CDSEM图像作为目标输出，遍历所述训练集...
李立人时雪龙燕燕许博闻周涛
文献传递
一种提高CMOS图像传感器量子效率的光电二极管结构
本发明公开了一种提高CMOS图像传感器量子效率的光电二极管结构，位于轻掺杂衬底中，包括重置晶体管、传输晶体管、PN光电二极管、像素单元隔离区、阱区和环状硅区；所述传输晶体管的两端分别连接所述重置晶体管和PN光电二极管；所...
孙德明
文献传递
一种消除旁瓣图形的方法
本发明提供一种消除旁瓣图形的方法，包括：提供一个衬底，在衬底上依次形成目标材料层、硬掩膜层、第一底部抗反射层和第一光刻胶；经曝光和光刻，用第一掩膜版图形在硬掩膜层上定义出旁瓣图形区域；在硬掩膜层上依次涂布第二底部抗反射层...
胡红梅
文献传递
半导体硅片的清洗设备
本实用新型提供一种半导体硅片的清洗设备，包括主机械臂以及多个串联的工艺腔，其中，所述多个工艺腔围绕所述主机械臂呈“U”形排列。与现有技术相比，本实用新型所提供的半导体硅片的清洗设备，采用功能较为简单的主机械臂即可满足工艺...
张晨骋
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一种基于高斯过程回归的器件参数提取方法及装置
本发明公开了一种基于高斯过程回归的器件参数提取方法及装置，通过计算当前次迭代的参数控制范围和之前各次迭代的参数控制范围在选值范围坐标上投影形成的空间重叠区间，以及各空间重叠区间在选值范围坐标上的空间重叠次数，按空间重叠次...
张飞翔李琛余学儒陈保安杨何勇
激光退火设备
本发明提供了一种激光退火设备，包括用于承载硅片的承载部；还包括激光发射部以发出激光；还包括反射激光探测部和透射激光探测部，以接收反射激光和透射激光并生成激光能量信息；还包括控制部，所述控制部通信连接所述透射激光探测部、所...
康晓旭李铭何冬
文献传递
图像检测方法与装置
本申请提供一种图像检测方法与装置，涉及图像处理技术。该图像检测方法，可以预先根据每个像素点的边缘强度的大小，对光刻/刻蚀后的晶圆SEM图像中的每个像素点分组，再查找每组像素点对应的调节参数。由于高通滤波后的光刻/刻蚀后的...
傅豪李琛周涛王修翠余学儒
文献传递
一种小波重构加速电路
本发明公开了一种小波重构加速电路，包括m个重构单元，所述重构单元包括数据输入端口、数据选择信号输入端口、高通滤波参数输入端口、低通滤波参数输入端口、卷积数据输入端口和输出端口，第m个重构单元为起始重构单元，其对应的卷积数...
袁庆张远
文献传递
防串扰的红外探测器像元结构及其制备方法
本发明提供了一种防串扰的红外探测器像元结构及其制备方法，包括位于一硅衬底上，其具有红外探测结构，位于红外探测结构下方的硅衬底表面具有底部反射层，底部反射层的边缘具有凸起；底部反射层用来反射入射光，凸起用来反射进入到像元结...
康晓旭
文献传递
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