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国家自然科学基金(10735070A0504)

作品数：1 被引量：1H指数：1
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相关机构：北京大学山东大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇点阵
  • 1篇亚微米
  • 1篇圆孔
  • 1篇铌酸锂
  • 1篇微米
  • 1篇离子束
  • 1篇聚焦离子束
  • 1篇LINBO

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇山东大学

作者

  • 1篇徐雪峰
  • 1篇王宇钢
  • 1篇薛建明
  • 1篇王雪林
  • 1篇王克明
  • 1篇颜莎

传媒

  • 1篇北京大学学报...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
用聚焦离子束气体辅助刻蚀在LiNbO_3上制备亚微米圆孔点阵被引量：1
2009年
使用聚焦粒子束(FIB)在LiNbO3上刻蚀用于光子晶体的亚微米圆孔二维点阵,研究了刻蚀束流、刻蚀时间和填充率等刻蚀参数对刻蚀结果造成的影响。为获得更好的刻蚀效果,还采用了FIB的气体辅助刻蚀方法(gas-assisted etching,GAE)。研究发现,与直接刻蚀结果相比,GAE减小了反沉积效应,得到了更好的孔形。禁带模拟计算表明,与常规FIB刻蚀出的锥形圆孔相比,使用XeF2气体辅助刻蚀得到的这种侧壁更陡直的圆孔阵列构成的光子晶体禁带更趋近于理想光子晶体的禁带。
徐雪峰颜莎王克明王雪林薛建明王宇钢
关键词：聚焦离子束铌酸锂
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共1页<1>
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