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江苏省自然科学基金(BK2007012)
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
相关作者:
李赟
陈辰
李亮
姜文海
许晓军
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2009
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MOCVD生长AlGaN/GaN/Si(111)异质结材料
被引量:3
2009年
利用MOCVD在Si(111)衬底上生长了无裂纹的GaN外延薄膜和AlGaN/GaN异质结构。通过优化Si衬底的浸润处理时间、AlN层厚度等参数获得了无裂纹的GaN外延薄膜,研究了SiN缓冲层和插入层厚度对AlGaN/GaN异质结电学性质的影响,2DEG的迁移率和面密度分别达到1410cm2/V.s和1.16×1013cm-2。
李忠辉
李亮
董逊
李赟
张岚
许晓军
姜文海
陈辰
关键词:
高电子迁移率晶体管
二维电子气
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