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国家自然科学基金(90301006)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：邵会波章国明更多>>
相关机构：首都师范大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇纳米
  • 1篇纳米结构制备
  • 1篇纳米压印
  • 1篇纳米压印技术
  • 1篇PHASE_...
  • 1篇RMO
  • 1篇STM
  • 1篇TCNQ
  • 1篇DBA
  • 1篇QUASI-...

机构

  • 1篇首都师范大学

作者

  • 1篇章国明
  • 1篇邵会波

传媒

  • 1篇纳米科技

年份

  • 1篇2005
  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
热压印刻蚀技术被引量：1
2005年
纳米压印技术是一种高分辨率、廉价、高效的纳米结构制备技术。它既继承了传统光刻技术所具有的并行性，又同时拥有传统光刻技术不易达到的纳米结构制备能力，这为今后纳米结构的广泛应用提供了良好的条件。文章介绍了纳米热压印技术中核心工艺流程，包括：模板的制备、抗粘层的制备、压印过程中温度与压力的影响、反应离子刻蚀，并且给出了利用纳米热压印技术制备的光栅结构，最后展望了纳米压印技术的前景。
章国明邵会波
关键词：纳米压印技术纳米结构制备
STRUCTURE, PHYSICAL AND THERMOCHEMICAL HOLE BURNING PROPERTIES OF A NEW QUASI-ONE-DIMENSIONAL ORGANIC SEMICONDUCTOR, DBA（TCNQ）2
＜正＞ The synthesis, structural characterization, electric transport, specific heat, magnetic properties and the...
H.L.PENG
关键词：STM
文献传递
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共1页<1>
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