国家教育部博士点基金(20050213035)
- 作品数：5 被引量：13H指数：2
- 相关作者：赵维谦邱丽荣冯政德沙定国陈珊珊更多>>
- 相关机构：北京理工大学哈尔滨工业大学南阳理工学院更多>>
- 发文基金：国家教育部博士点基金国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学电子电信更多>>
- 具有高空间分辨力的位相型光瞳滤波式差动共焦测量法
- 2006年
- 提出一种新的改善光触针类测量传感器空间分辨力的位相型差动共焦测量方法.该方法通过具有横向超分辨能力的位相型光瞳滤波器最大程度地改善共焦测量系统的横向分辨力,通过差动共焦测量法改善共焦测量系统的轴向分辨力,最终提高共焦测量系统空间分辨能力.理论分析和实验表明,当入射激光束波长λ=632.8 nm、测量物镜数值孔径NA=0.85、uM=4时,该方法的横向分辨力优于0.2μm,轴向分辨力优于2 nm.该方法可用于表面微观轮廓及微小尺度的超精密测量.
- 邱丽荣赵维谦沙定国
- 关键词：计量学超分辨共焦光瞳滤波器
- 一种整小数结合式激光外差信号处理方法被引量：2
- 2008年
- 为解决在纳米级分辨力激光外差干涉测量中,由于倍频计数限制引起的在大量程条件下测量分辨力难以提高的难题,提出一种新颖的基于锁相环倍频和相位解调技术相结合的整数、小数结合计数式检测方法。该方法采用数字电路式对顶、错位脉冲消除预处理法得到外差信号的整数相位,再采用高分辨力的鉴相方法获得小数相位,并实现整数、小数相位的正确结合。实验和分析结果表明:采用该方法的激光外差干涉测量系统,动态测量分辨力达到10 nm,与HP5528在1.2m的测量范围内比对测量结果的差值小于0.09μm,静态测量相位分辨力为0.011°,对应的静态测量分辨力优于0.1 nm。应用提出的测量方法,为大范围高分辨力的动态位移测量提供一种有效的技术途径,同时,提高了激光外差干涉系统的测量分辨力。
- 刘丹丹赵维谦岳华
- 关键词：外差干涉锁相环鉴相
- 具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量法被引量：1
- 2007年
- 提出一种新的具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量方法。该方法通过整形环形光式共焦测量法和锐化爱里斑主瓣,改善系统横向分辨力;通过差动共焦测量法改善系统的轴向分辨力,最终达到提高系统空间分辨能力的目的。理论分析和实验表明:整形环形光内孔归一化半径ε越大,横向分辨力改善越明显,量程扩展范围越宽;当入射光波长=λ632.8 nm,物镜数值孔径取NA=0.85,=ε0.5时,该系统的横向分辨力优于0.2μm,轴向分辨力优于2 nm。该方法为光触针测量系统空间分辨力的提高提供了1种新的方法,可广泛应用于超精密三维微细结构工件的超精密测量。
- 冯政德赵维谦邱丽荣
- 关键词：共焦显微镜
- 用于非连续曲面轮廓测量的激光差动像散传感器
- 2008年
- 针对目前工程领域中亟待解决的三维曲面轮廓的精密测量问题，研制了具有纳米级轴向分辨力的光瞳滤波式激光偏振光差动像散传感器（PLDAP）。该传感器基于像散检测原理，利用位于两柱面镜焦前、焦后等距放置的两探测器上的光斑形状信号差动相减和光强归一化处理得到聚焦误差信号，对被测表面进行高精度双极性绝对测量，可用于大倾角表面的测量。PLDAP中，偏振差动光路布置光强归一化技术的采用，有效抑制了环境光波动、光源波动、物体表面光学特性以及光学器件间多次反射对测量结果的影响，显著提高了像散检测技术的抗干扰能力。实验表明：当测量物镜采用数值孔径NA=0．65时，PLDAP测量范围达±10μm，分辨力优于5nm，可测倾角20°，稳定性优于2％。该传感器为非连续表面轮廓的跟踪、瞄准测量提供一种新的技术途径。
- 邱丽荣郭俊杰赵维谦沙定国
- 关键词：计量学三维轮廓测量光瞳滤波器
- 图像复原式整形环形光横向超分辨共焦显微测量新方法被引量：10
- 2006年
- 提出一种新的图像复原式整形环形光横向超分辨共焦显微测量法.该方法首先利用二元光学器件,将高斯照明光束整形为环形光束,用于初步改善共焦显微镜的横向分辨力,然后利用基于最大似然估计法(maximumlikelihoodestimate,MLE)的单幅图像超分辨复原技术,重建测量图像的高频信息,来进一步改善共焦显微镜的横向分辨力.实验表明,当λ=632.8nm,N.A.=0.85时,该方法能使共焦显微镜获得优于0.1μm的横向分辨力.利用该方法建立的横向超分辨共焦显微系统除了具有显著的超分辨效果外,还具有低成本的优点,因而该方法为共焦显微系统横向分辨力的改善提供了一种新的技术途径.
- 赵维谦陈珊珊冯政德
- 关键词：超分辨最大似然估计
