教育部“新世纪优秀人才支持计划”(NCET-05-0348)
- 作品数：2 被引量：11H指数：1
- 相关作者：赵维谦冯政德陈珊珊邱丽荣更多>>
- 相关机构：哈尔滨工业大学北京理工大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信更多>>
- 具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量法被引量：1
- 2007年
- 提出一种新的具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量方法。该方法通过整形环形光式共焦测量法和锐化爱里斑主瓣,改善系统横向分辨力;通过差动共焦测量法改善系统的轴向分辨力,最终达到提高系统空间分辨能力的目的。理论分析和实验表明:整形环形光内孔归一化半径ε越大,横向分辨力改善越明显,量程扩展范围越宽;当入射光波长=λ632.8 nm,物镜数值孔径取NA=0.85,=ε0.5时,该系统的横向分辨力优于0.2μm,轴向分辨力优于2 nm。该方法为光触针测量系统空间分辨力的提高提供了1种新的方法,可广泛应用于超精密三维微细结构工件的超精密测量。
- 冯政德赵维谦邱丽荣
- 关键词：共焦显微镜
- 图像复原式整形环形光横向超分辨共焦显微测量新方法被引量：10
- 2006年
- 提出一种新的图像复原式整形环形光横向超分辨共焦显微测量法.该方法首先利用二元光学器件,将高斯照明光束整形为环形光束,用于初步改善共焦显微镜的横向分辨力,然后利用基于最大似然估计法(maximumlikelihoodestimate,MLE)的单幅图像超分辨复原技术,重建测量图像的高频信息,来进一步改善共焦显微镜的横向分辨力.实验表明,当λ=632.8nm,N.A.=0.85时,该方法能使共焦显微镜获得优于0.1μm的横向分辨力.利用该方法建立的横向超分辨共焦显微系统除了具有显著的超分辨效果外,还具有低成本的优点,因而该方法为共焦显微系统横向分辨力的改善提供了一种新的技术途径.
- 赵维谦陈珊珊冯政德
- 关键词：超分辨最大似然估计
